JPH04345320A - デジタル−アナログ変換器 - Google Patents
デジタル−アナログ変換器Info
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- JPH04345320A JPH04345320A JP11830791A JP11830791A JPH04345320A JP H04345320 A JPH04345320 A JP H04345320A JP 11830791 A JP11830791 A JP 11830791A JP 11830791 A JP11830791 A JP 11830791A JP H04345320 A JPH04345320 A JP H04345320A
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- digital signal
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はデジタル−アナログ変換
器に関するものである。
器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、音響映像等のさまざまな分野で信
号処理のデジタル化が進められているが、これらの信号
処理に、デジタル信号処理回路と、アナログ回路とのイ
ンターフェイスとなるデジタル−アナログ変換器とを一
つにした集積回路装置が広く使用されるようになった。
号処理のデジタル化が進められているが、これらの信号
処理に、デジタル信号処理回路と、アナログ回路とのイ
ンターフェイスとなるデジタル−アナログ変換器とを一
つにした集積回路装置が広く使用されるようになった。
【0003】こうした集積回路装置をプラスチック製パ
ッケージ等に入れ、その外部端子をプリント基板等には
んだづけするなどしたときの、プリント基板上の配線と
パッケージの外部端子との電気的接続を検査するための
方法について説明する。
ッケージ等に入れ、その外部端子をプリント基板等には
んだづけするなどしたときの、プリント基板上の配線と
パッケージの外部端子との電気的接続を検査するための
方法について説明する。
【0004】一般にプリント基板上の配線と集積回路装
置を封止したパッケージの外部端子との電気的接続を検
査するには、プリント基板上の配線に与えた信号が正し
く集積回路装置に取り込まれるかどうか、および、集積
回路装置から出力された信号が正しくプリント基板上に
現れるかどうかを調べればよい。
置を封止したパッケージの外部端子との電気的接続を検
査するには、プリント基板上の配線に与えた信号が正し
く集積回路装置に取り込まれるかどうか、および、集積
回路装置から出力された信号が正しくプリント基板上に
現れるかどうかを調べればよい。
【0005】図3は、入出力部にこうした検査を行なう
ための回路を内蔵させた集積回路装置の構成の一例を示
す。
ための回路を内蔵させた集積回路装置の構成の一例を示
す。
【0006】図において、11〜17は集積回路装置の
入出力端子で、この集積回路装置を封止したパッケージ
の外部端子に接続されている。20〜23はフリップフ
ロップ回路と呼ばれる記憶素子で、図中のD、Q、CK
は各フリップフロップ回路の入出力端子を表わし、入力
端子Dに与えられたデジタル信号はクロックパルス入力
端子CKに与えられたクロックパルス信号の立ち上がり
エッジで各フリップフロップ回路に取り込まれ、これが
出力端子Qに現れるとする。31〜33は信号選択回路
で、図中のA、B、S、Oは各信号選択回路の入出力端
子であり、選択信号入力端子Sに高電位が与えられると
、出力端子Oに入力信号端子Aに与えられている信号が
現れ、逆に選択信号入力端子Sに低電位が与えられると
、出力端子Oに入力信号端子Bに与えられている信号が
現れる。40は内部論理回路、50はデジタル−アナロ
グ変換器である。
入出力端子で、この集積回路装置を封止したパッケージ
の外部端子に接続されている。20〜23はフリップフ
ロップ回路と呼ばれる記憶素子で、図中のD、Q、CK
は各フリップフロップ回路の入出力端子を表わし、入力
端子Dに与えられたデジタル信号はクロックパルス入力
端子CKに与えられたクロックパルス信号の立ち上がり
エッジで各フリップフロップ回路に取り込まれ、これが
出力端子Qに現れるとする。31〜33は信号選択回路
で、図中のA、B、S、Oは各信号選択回路の入出力端
子であり、選択信号入力端子Sに高電位が与えられると
、出力端子Oに入力信号端子Aに与えられている信号が
現れ、逆に選択信号入力端子Sに低電位が与えられると
、出力端子Oに入力信号端子Bに与えられている信号が
現れる。40は内部論理回路、50はデジタル−アナロ
グ変換器である。
【0007】次に、図4のタイミング図を参照して、入
出力端子13〜16とプリント基板上の配線との接続を
検査する場合を考える。
出力端子13〜16とプリント基板上の配線との接続を
検査する場合を考える。
【0008】図4において、91は端子11に接続され
たプリント基板上の配線に与える信号波形、92は端子
12に接続されたプリント基板上の配線に与えるクロッ
クパルスの信号波形、93は端子13に接続されたプリ
ント基板上の配線に与える信号波形、94は端子14に
接続されたプリント基板上の配線に与える信号波形、9
5は端子15に接続されたプリント基板上の配線に現れ
る信号波形、96は端子16に接続されたプリント基板
上の配線に現れる信号波形である。
たプリント基板上の配線に与える信号波形、92は端子
12に接続されたプリント基板上の配線に与えるクロッ
クパルスの信号波形、93は端子13に接続されたプリ
ント基板上の配線に与える信号波形、94は端子14に
接続されたプリント基板上の配線に与える信号波形、9
5は端子15に接続されたプリント基板上の配線に現れ
る信号波形、96は端子16に接続されたプリント基板
上の配線に現れる信号波形である。
【0009】まず、端子11に低電位を与え、端子13
,14に対応するプリント基板上の配線に所望の電位(
図4の例では端子13に対応する配線に高電位、端子1
4に対応する配線に低電位)を与え、端子12にクロッ
クパルスを1個与えると、端子13,14とプリント基
板上の配線とが正しく電気的に接続されていれば、与え
た信号電位は集積回路装置内のフリップフロップ回路2
0,21にとりこまれる。次に、端子11を高電位にす
ると、信号選択回路31,32,33の働きによりフリ
ップフロップ回路20,21,22,23が直列に接続
され、端子12に適当な数だけクロックパルスを与える
と、端子13,14を通じて集積回路装置内に取り込ま
れた信号がフリップフロップ回路の接続順に従って端子
15,16に出力される。もし、端子15,16とプリ
ント基板上の配線とが正しく電気的に接続されていれば
、プリント基板上の対応する配線にも出力される。これ
を検出すれば、端子13,14,15,16とプリント
基板上の配線との電気的接続が検査されたことになる。
,14に対応するプリント基板上の配線に所望の電位(
図4の例では端子13に対応する配線に高電位、端子1
4に対応する配線に低電位)を与え、端子12にクロッ
クパルスを1個与えると、端子13,14とプリント基
板上の配線とが正しく電気的に接続されていれば、与え
た信号電位は集積回路装置内のフリップフロップ回路2
0,21にとりこまれる。次に、端子11を高電位にす
ると、信号選択回路31,32,33の働きによりフリ
ップフロップ回路20,21,22,23が直列に接続
され、端子12に適当な数だけクロックパルスを与える
と、端子13,14を通じて集積回路装置内に取り込ま
れた信号がフリップフロップ回路の接続順に従って端子
15,16に出力される。もし、端子15,16とプリ
ント基板上の配線とが正しく電気的に接続されていれば
、プリント基板上の対応する配線にも出力される。これ
を検出すれば、端子13,14,15,16とプリント
基板上の配線との電気的接続が検査されたことになる。
【0010】次に、端子17とプリント基板上の配線と
の接続の検査を考える。デジタル−アナログ変換器40
の出力はアナログ信号であるため、他の端子15,16
とは異なり、出力端子17との間にフリップフロップ回
路を設けることができない。このため、デジタル−アナ
ログ変換器の入力に信号を与え、端子17に適当なアナ
ログ信号が現れるようにして、これをプリント基板上で
検査する。
の接続の検査を考える。デジタル−アナログ変換器40
の出力はアナログ信号であるため、他の端子15,16
とは異なり、出力端子17との間にフリップフロップ回
路を設けることができない。このため、デジタル−アナ
ログ変換器の入力に信号を与え、端子17に適当なアナ
ログ信号が現れるようにして、これをプリント基板上で
検査する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図3に示
した構成の従来例では、上述のようにデジタル−アナロ
グ変換器の出力端子とそれ以外の端子とを別々に検査し
なければならない上に、デジタル−アナログ変換器の入
力に外部から信号を与えなければならないため検査が複
雑になるという欠点があった。
した構成の従来例では、上述のようにデジタル−アナロ
グ変換器の出力端子とそれ以外の端子とを別々に検査し
なければならない上に、デジタル−アナログ変換器の入
力に外部から信号を与えなければならないため検査が複
雑になるという欠点があった。
【0012】本発明は上記従来の問題を解決するもので
デジタル‐アナログ変換器を内蔵した集積回路を封じし
たパッケージの外部端子とプリント基板上の配線との電
気的接続を、複雑な信号を与えることなく容易に検査す
ることができる手段を提供するものである。
デジタル‐アナログ変換器を内蔵した集積回路を封じし
たパッケージの外部端子とプリント基板上の配線との電
気的接続を、複雑な信号を与えることなく容易に検査す
ることができる手段を提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のデジタル−アナログ変換器は、n本の第1
のデジタル信号の入力端子と1本の第2のデジタル信号
の入力端子と1本の制御信号の入力端子とを持ち、第1
のデジタル信号入力をアナログ変換して得られた出力ア
ナログ信号の出力端子と、第2のデジタル信号に対応す
る出力デジタル信号の出力端子とを共通にし、制御信号
によってこれら出力アナログ信号および出力デジタル信
号とを排他的に高抵抗状態にする手段を備えている。
に、本発明のデジタル−アナログ変換器は、n本の第1
のデジタル信号の入力端子と1本の第2のデジタル信号
の入力端子と1本の制御信号の入力端子とを持ち、第1
のデジタル信号入力をアナログ変換して得られた出力ア
ナログ信号の出力端子と、第2のデジタル信号に対応す
る出力デジタル信号の出力端子とを共通にし、制御信号
によってこれら出力アナログ信号および出力デジタル信
号とを排他的に高抵抗状態にする手段を備えている。
【0014】
【作用】この構成によって、パッケージの端子とプリン
ト基板上の配線の電気的接続を検査する場合には、デジ
タル−アナログ変換器の制御信号の入力端子に入力する
制御信号を制御することによって、デジタル−アナログ
変換器の出力端子にデジタル信号を出力することができ
、他のデジタル端子と同様に扱うことができるため容易
に検査することができる。
ト基板上の配線の電気的接続を検査する場合には、デジ
タル−アナログ変換器の制御信号の入力端子に入力する
制御信号を制御することによって、デジタル−アナログ
変換器の出力端子にデジタル信号を出力することができ
、他のデジタル端子と同様に扱うことができるため容易
に検査することができる。
【0015】
【実施例】図1はn=4の場合の本発明による一実施例
におけるデジタル−アナログ変換器の構成を示す。図に
おいて、1〜4は第1のデジタル信号入力端子、5は第
2のデジタル信号入力端子、6は制御信号入力端子、7
は第1のデジタル信号入力端子1〜4に与えられたデジ
タル信号をデジタル−アナログ変換する回路、8は第2
のデジタル信号入力端子5に与えられたデジタル信号に
対応するデジタル信号を出力する回路、9は回路7およ
び回路8の共通出力端子である。
におけるデジタル−アナログ変換器の構成を示す。図に
おいて、1〜4は第1のデジタル信号入力端子、5は第
2のデジタル信号入力端子、6は制御信号入力端子、7
は第1のデジタル信号入力端子1〜4に与えられたデジ
タル信号をデジタル−アナログ変換する回路、8は第2
のデジタル信号入力端子5に与えられたデジタル信号に
対応するデジタル信号を出力する回路、9は回路7およ
び回路8の共通出力端子である。
【0016】図2は本発明によるデジタル−アナログ変
換器を内蔵した集積回路装置の一例を示すもので、図3
に示した装置の構成要素と対応するよう要素には同じ符
号を付している。60は図1に示した本実施例のデジタ
ル−アナログ変換器であり、図1の1〜4に相当する第
1のデジタル入力端子には内部論理回路40からの出力
が、また、図1の5に相当する第2のデジタル入力端子
にはフリップフロップ回路23の出力がそれぞれ供給さ
れる。図1の6に相当する制御信号入力端子には入力端
子11が接続されており、図1の9に相当する共通出力
端子は出力端子17に接続されている。
換器を内蔵した集積回路装置の一例を示すもので、図3
に示した装置の構成要素と対応するよう要素には同じ符
号を付している。60は図1に示した本実施例のデジタ
ル−アナログ変換器であり、図1の1〜4に相当する第
1のデジタル入力端子には内部論理回路40からの出力
が、また、図1の5に相当する第2のデジタル入力端子
にはフリップフロップ回路23の出力がそれぞれ供給さ
れる。図1の6に相当する制御信号入力端子には入力端
子11が接続されており、図1の9に相当する共通出力
端子は出力端子17に接続されている。
【0017】以上のように構成された本実施例のデジタ
ル−アナログ変換器について、図1および図2を用いて
その動作を説明する。
ル−アナログ変換器について、図1および図2を用いて
その動作を説明する。
【0018】まず、図1において本実施例のデジタル−
アナログ変換器は、端子6に与えられた制御信号によっ
て回路7の出力アナログ信号と回路8の出力デジタル信
号とを排他的に高抵抗状態にする手段を備えているが、
その制御信号の極性を次のようにすることができる。す
なわち端子6に与えられた制御信号が低電位の場合に回
路8の出力デジタル信号が高抵抗状態になり、回路7の
出力アナログ信号が共通出力端子9に現れ、逆に端子6
に与えられた制御信号が高電位の場合に回路7のアナロ
グ出力信号が高抵抗状態になり、回路8の出力デジタル
信号が共通出力端子9に現れる。
アナログ変換器は、端子6に与えられた制御信号によっ
て回路7の出力アナログ信号と回路8の出力デジタル信
号とを排他的に高抵抗状態にする手段を備えているが、
その制御信号の極性を次のようにすることができる。す
なわち端子6に与えられた制御信号が低電位の場合に回
路8の出力デジタル信号が高抵抗状態になり、回路7の
出力アナログ信号が共通出力端子9に現れ、逆に端子6
に与えられた制御信号が高電位の場合に回路7のアナロ
グ出力信号が高抵抗状態になり、回路8の出力デジタル
信号が共通出力端子9に現れる。
【0019】このようにすると、端子6に与えられた制
御信号が低電位の場合には、本実施例のデジタル−アナ
ログ変換器は、第1のデジタル信号入力端子1〜4に与
えられたデジタル信号をアナログ変換して得られたアナ
ログ信号を出力端子9に供給する。そのため、通常のデ
ジタル−アナログ変換器として扱うことができる。また
、端子6に与えられた制御信号が高電位の場合には、第
2のデジタル信号入力端子5に与えられたデジタル信号
に対応するデジタル信号を出力する回路8の出力デジタ
ル信号が出力端子9に現れるので、通常のデジタル回路
として扱うことができる。
御信号が低電位の場合には、本実施例のデジタル−アナ
ログ変換器は、第1のデジタル信号入力端子1〜4に与
えられたデジタル信号をアナログ変換して得られたアナ
ログ信号を出力端子9に供給する。そのため、通常のデ
ジタル−アナログ変換器として扱うことができる。また
、端子6に与えられた制御信号が高電位の場合には、第
2のデジタル信号入力端子5に与えられたデジタル信号
に対応するデジタル信号を出力する回路8の出力デジタ
ル信号が出力端子9に現れるので、通常のデジタル回路
として扱うことができる。
【0020】次に、このようなデジタル−アナログ変換
器を内蔵した集積回路をプラスチック製等のパッケージ
にいれ、その外部端子をプリント基板等にはんだ等で接
着した場合、プリント基板上の配線とパッケージの外部
端子との電気的接続を検査するための方法について、図
2を参照して説明する。
器を内蔵した集積回路をプラスチック製等のパッケージ
にいれ、その外部端子をプリント基板等にはんだ等で接
着した場合、プリント基板上の配線とパッケージの外部
端子との電気的接続を検査するための方法について、図
2を参照して説明する。
【0021】まず、従来例と同様に端子11に低電位を
与え端子13,14に対応するプリント基板上の配線に
所望の電位を与え、端子12にクロックパルスを1個与
えると、端子13、14とプリント基板上の配線とが正
しく電気的に接続されていれば、与えられた信号電位は
集積回路装置内のフリップフロップ回路20、21にそ
れぞれとりこまれる。
与え端子13,14に対応するプリント基板上の配線に
所望の電位を与え、端子12にクロックパルスを1個与
えると、端子13、14とプリント基板上の配線とが正
しく電気的に接続されていれば、与えられた信号電位は
集積回路装置内のフリップフロップ回路20、21にそ
れぞれとりこまれる。
【0022】次に、端子11を高電位にすると、信号選
択回路31〜33の働きによりフリップフロップ回路2
0〜23が直列に接続される。そして、端子11が図1
の端子6に相当しているので、デジタル−アナログ変換
器60は第2のデジタル信号入力端子に与えられたデジ
タル信号すなわち図2ではフリップフロップ回路23の
出力信号に対応するデジタル信号を出力する。端子12
に適当な数だけクロックパルスを与えると、端子13,
14を通じて集積回路装置内に取り込まれた信号がフリ
ップフロップ回路の接続順に従って端子15、16、さ
らにデジタル−アナログ変換器の出力端子17に出力さ
れる。もし、端子15〜17とプリント基板上の配線と
が正しく電気的に接続されていれば、プリント基板上の
対応する配線にも出力される。これを検出すれば端子1
3〜17とプリント基板上の配線との電気的接続が検査
されたことになる。
択回路31〜33の働きによりフリップフロップ回路2
0〜23が直列に接続される。そして、端子11が図1
の端子6に相当しているので、デジタル−アナログ変換
器60は第2のデジタル信号入力端子に与えられたデジ
タル信号すなわち図2ではフリップフロップ回路23の
出力信号に対応するデジタル信号を出力する。端子12
に適当な数だけクロックパルスを与えると、端子13,
14を通じて集積回路装置内に取り込まれた信号がフリ
ップフロップ回路の接続順に従って端子15、16、さ
らにデジタル−アナログ変換器の出力端子17に出力さ
れる。もし、端子15〜17とプリント基板上の配線と
が正しく電気的に接続されていれば、プリント基板上の
対応する配線にも出力される。これを検出すれば端子1
3〜17とプリント基板上の配線との電気的接続が検査
されたことになる。
【0023】以上のように、本実施例によれば、デジタ
ル−アナログ変換器を内蔵する集積回路を封止したパッ
ケージの外部端子とプリント基板上の配線との電気的接
続を検査する場合にも、通常のデジタル入出力端子の検
査と全く同じ方法で容易に検査することができる。
ル−アナログ変換器を内蔵する集積回路を封止したパッ
ケージの外部端子とプリント基板上の配線との電気的接
続を検査する場合にも、通常のデジタル入出力端子の検
査と全く同じ方法で容易に検査することができる。
【0024】
【発明の効果】本発明のデジタル−アナログ変換器は、
n本の第1のデジタル信号の入力端子と1本の第2のデ
ジタル信号の入力端子と1本の制御信号の入力端子とを
持ち、第1のデジタル信号入力をアナログ変換して得ら
れた出力アナログ信号の出力端子と、第2のデジタル信
号に対応する出力デジタル信号の出力端子とを共通にし
、制御信号によって出力アナログ信号および出力デジタ
ル信号とを排他的に高抵抗状態にする手段を備え、制御
信号によって第2のデジタル信号に対応する出力デジタ
ル信号を出力することができるので、デジタル−アナロ
グ変換器を内蔵する集積回路を封じしたパッケージの外
部端子とプリント基板上の配線との電気的接続を検査す
る場合、デジタル−アナログ変換器の出力端子を検査す
るための複雑な検査入力を必要とすることなく、通常の
デジタル入出力端子の検査と全く同じ方法で容易に検査
することができ、接続検査の方法の簡易化および費用の
削減を図ることができるものである。
n本の第1のデジタル信号の入力端子と1本の第2のデ
ジタル信号の入力端子と1本の制御信号の入力端子とを
持ち、第1のデジタル信号入力をアナログ変換して得ら
れた出力アナログ信号の出力端子と、第2のデジタル信
号に対応する出力デジタル信号の出力端子とを共通にし
、制御信号によって出力アナログ信号および出力デジタ
ル信号とを排他的に高抵抗状態にする手段を備え、制御
信号によって第2のデジタル信号に対応する出力デジタ
ル信号を出力することができるので、デジタル−アナロ
グ変換器を内蔵する集積回路を封じしたパッケージの外
部端子とプリント基板上の配線との電気的接続を検査す
る場合、デジタル−アナログ変換器の出力端子を検査す
るための複雑な検査入力を必要とすることなく、通常の
デジタル入出力端子の検査と全く同じ方法で容易に検査
することができ、接続検査の方法の簡易化および費用の
削減を図ることができるものである。
【図1】本発明の一実施例におけるデジタル−アナログ
変換器の構成図
変換器の構成図
【図2】本実施例のデジタル−アナログ変換器を内蔵し
た集積回路装置の一例を示す図
た集積回路装置の一例を示す図
【図3】デジタル−アナログ変換器を内蔵した集積回路
装置の従来例の構成図
装置の従来例の構成図
【図4】集積回路装置を封止したパッケージの外部端子
とプリント基板上の配線との電気的接続を検査するため
のタイミング図
とプリント基板上の配線との電気的接続を検査するため
のタイミング図
1〜4 第1のデジタル信号入力端子5 第2のデ
ジタル信号入力端子 6 制御信号入力端子 7 デジタル−アナログ変換回路 8 入力端子5に与えられたデジタル信号に対応する
デジタル信号を出力する回路 9 出力端子 11〜17 集積回路の入出力端子 20〜23 フリップフロップ回路 31〜33 信号選択回路 40 内部論理回路 60 デジタル−アナログ変換器
ジタル信号入力端子 6 制御信号入力端子 7 デジタル−アナログ変換回路 8 入力端子5に与えられたデジタル信号に対応する
デジタル信号を出力する回路 9 出力端子 11〜17 集積回路の入出力端子 20〜23 フリップフロップ回路 31〜33 信号選択回路 40 内部論理回路 60 デジタル−アナログ変換器
Claims (1)
- 【請求項1】n本の第1のデジタル信号の入力端子と1
本の第2のデジタル信号の入力端子と1本の制御信号の
入力端子とを持ち、前記第1のデジタル信号入力をアナ
ログ変換して得られた出力アナログ信号の出力端子と、
前記第2のデジタル信号に対応する出力デジタル信号の
出力端子とを共通にし、前記制御信号によって前記出力
アナログ信号および前記出力デジタル信号とを排他的に
高抵抗状態にする手段とを備えたデジタル−アナログ変
換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11830791A JPH04345320A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | デジタル−アナログ変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11830791A JPH04345320A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | デジタル−アナログ変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04345320A true JPH04345320A (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=14733448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11830791A Pending JPH04345320A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | デジタル−アナログ変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04345320A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6963075B2 (en) | 1996-08-02 | 2005-11-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning exposure apparatus and device manufacturing method |
-
1991
- 1991-05-23 JP JP11830791A patent/JPH04345320A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6963075B2 (en) | 1996-08-02 | 2005-11-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning exposure apparatus and device manufacturing method |
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