JPH0434720A

JPH0434720A - 磁気記録媒体のテクスチャー方法及びその装置

Info

Publication number: JPH0434720A
Application number: JP14024290A
Authority: JP
Inventors: Yoshisuki Kitamoto; 北本　善透; Masahiro Otsuka; 大塚　正弘; Masaru Tsukada; 塚田　勝
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-05-30
Filing date: 1990-05-30
Publication date: 1992-02-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［概要］回転する磁気記録媒体の基板上にラッピングテープを押
圧し、基板上に筋目をつけるテクスチャー方法及びその
装置に関し、加工時間の減少が図れ、異常突起も少なく、エラー箇所
も少ない磁気記録媒体のテクスチャー方法及びその装置
を提供することを目的とし、時計方向に前記基板を回転
させ、前記基板に目の粗い第１のラッピングテープを押
圧して、テクスチャーを行なう工程と、反時計方向に前
記基板を回転させ、前記基板に目の粗い第１のう・ソピ
ングテーブを押圧し、テクスチャーを行なう工程と、回
転する基板に対して目の細かい第２のう・ソピングテー
ブを押圧させ、突起を除去する工程とを少なくとも含む
ようにする。

［産業上の利用分野コ本発明は、回転する磁気記録媒体の基板上にラッピング
テープを押圧し、基板上に筋目をつけるテクスチャー方
法及びその装置に関する。

［従来の技術］次に図面を用いて従来例を説明する。第５図はスピンド
ルユニットの構成図、第６図は従来のテクスチャー装置
の構成図である。

第５図において、１は図示しない駆動手段によって回転
駆動される磁気記録媒体の基板である。

２は研磨テープ３の供給リール、４は図示しない駆動モ
ータによって回転駆動され、供給リール３より巻き出さ
れた研磨テープを巻き取る巻き取りリールである。５は
供給リール２より繰り出された研磨テープ３を基板１方
向へ案内するガイドローラである。尚、研磨テープ３は
、基板１の半径よりも大きく設定されている。７，８は
研磨テープ３を挟持し、研磨テープ３を一定の速度で駆
動するキャプスタンと、ピンチローラである。６は、基
板１の法線方向に配置され、図示しない加圧機構によっ
て、研磨テープ３を基板１方向へ加圧する加圧ローラで
ある。

また、９は研磨テープ３と基板１との当接部近傍に、研
磨液や冷却潤滑剤を供給するノズルである。尚、本図に
おいては、基板１の一方のサイド面のみを図示している
が、他方のサイド面にも同じ機構が設けられている。

次に、上記構成の作動を説明する。基板１は図示しない
駆動モータによって回転している。そして、キャプスタ
ン７及びピンチローラ８によって、研磨テープ３は一定
速度で巻き取りリール４に巻き取られる。

一方、加圧ローラ６は、研磨テープ３を介して基板１を
両サイド方向より挟持するように加圧している。

更に、ノズル９より研磨液や冷却潤滑剤が研磨テープ３
と基板１との当接部近傍に、供給される。

こうして、基板１に対して、内周から外周まで一様に筋
目が付与され、テクスチャリングが行われる。

次に、第６図を用いて従来のテクスチャー装置の構成を
説明する。

図において、１１はカセットロード部、１２は主加ニス
ピンドルユニット、１３は仕上げ加ニスピンドルユニッ
ト、１４．１５はスクラブ洗浄スピンドルユニット、１
６はスピン乾燥スピンドルユニット、１７はカセットア
ンロード部である。

また、１８は基板１が複数枚セットされるカセ・ントで
ある。

次に、上記構成の作動を説明する。カセ・ソトアンロー
ド部１１には、未加工の基板１がセ・ソトされたカセッ
ト１８が待機している。そして、ロード位置にいるカセ
ット１８から１枚づつ順次、主加ニスピンドルユニット
１２へ送られる。こ、：で、基板１に対して主たる研磨
加工がなされる。次に、仕上げ加ニスピンドルユニット
１３で主加ニスピンドルユニットの工程で生じた突起と
りのための加工がなされる。

そして、スクラブ洗浄ユニッ１−１４．１５で基板１に
対して洗浄がなされ、スピンドル乾燥ユニット１６で乾
燥がなされる。

最後に、カセットアンロード部１７に待機しているカセ
ット１８へ基板１は順次格納されていく。

［発明が解決しようとする課題］上記構成の従来例においては、主加ニスピンドルユニッ
ト１２での加工時間が約６０秒と長く、更に、仕上げ加
ニスピンドルユニット１３において主加ニスピンドルユ
ニット１２で生じた突起が完全に除去できないという問
題点がある。

更に、上記構成のテクスチャー装置で加工した基板１は
データのリード／ライトが出来ないエラ一箇所が多いと
いう問題点がある。

本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的
は、加工時間の減少が図れ、異常突起も少なく、エラー
箇所も少ない磁気記録媒体のテクスチャー方法及びその
装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］第１図は本発明の磁気記録媒体のテクスチャー方法の原
理図である。本方法においては、少なくとも図に示すス
テップを含んでいる。

図において、ステップ１は時計方向に基板を回転させ、
基板に目の粗い第１のラッピングテープを押圧して、テ
クスチャーを行なう工程、ステップ２は反時計方向に基
板を回転させ、基板に目の粗い第１のラッピングテープ
を押圧し、テクスチャーを行なう工程、ステップ３は回
転する基板に対して、目の細かい第２のラッピングテー
プを押圧させ、突起を除去する工程を示している。

［作用コ第１図に示す磁気記録媒体のテクスチャー方法では、ステップ１において、基板を時計方向に回転し、基板に
目の粗いｊｆｌｌのラッピングテープを押圧して、テク
スチャーを行なう。

次に、ステップ２においては、反時計方向に基板を回転
させ、基板に目の粗い第１のラッピングテープを押圧し
、テクスチャーを行なう。よって、ステップ１で用いた
装置を同等変更することなく、基板の回転方向を変える
だけで、このステップ２の工程を追加することができる
。又、このステップ２の工程により磁気記録媒体のエラ
ーが少なくなる。

ステップ３においては、回転する基板に対して、目の細
かい第２のラッピングテープを押圧させ、突起を除去す
る。

［実施例］次に、図面を用いて本発明の一実施例を説明する。第２
図は本発明のテクスチャー装置の一実施例を示す構成図
、第３図は加工時間とエラー個数の関係とを説明する図
、第４図は加工時間と最大突起高さとを説明する図であ
る。

まず、第２図を用いて本発明のテクスチャー装置の一実
施例を説明する。図において、２１はカセットロード部
、２２は第１の主船ニスピンドルユニット、２３は第２
の主船ニスピンドルユニット、２４は第３の主船ニスピ
ンドルユニットである。２５は仕上げ加ニスピンドルユ
ニット、２６゜２７はスクラブ洗浄スピンドルユニット
、２８はスピン乾燥スピンドルユニット、２９はカセッ
トアンロード部である。また、２０は基板が複数枚セッ
トされるカセットである。尚、第１〜ｊＩ３の主船ニス
ピンドルユニット２２〜２４及び仕上げ加ニスピンドル
ユニットの構造は第５図に示すスピンドルユニットと同
じである。

次に、上記構成の作動を説明する。カセットアンロード
部２１には、未加工の基板がセットされたカセット３０
が待機している。そして、ロード位置にいるカセット３
０から１枚づつ順次、第１の主船ニスピンドルユニット
２２へ送られる。

本実施例では、この第１の主船ニスピンドルユニット２
２では、基板は時計方向に回転駆動されており、研磨テ
ープ（ｗＡ−１４０００）で約２０秒間研磨される。

次に、ｊＩ２の主船ニスピンドルユニット２３では、基
板は反時計方向に回転駆動されて、研磨テープ（ｗＡ−
書４０００）で約２０秒間研磨される。

次に、第３の主船ニスピンドルユニット２４では、基板
は時計方向に回転駆動されて、研磨テープ（ＭＡ−＄４
０００）テ約２０秒間研磨される。

そして、仕上げ加ニスピンドルユニット２５で、基板は
反時計方向に回転駆動されて、今度は目の細かい研磨テ
ープ（ＭＡ−善８０００）で約１０秒間研磨される。

次に、スクラブ洗浄ユニット２６．２７において、基板
に対して洗浄がなされる。

そして、スピンドル乾燥ユニット２８で乾燥がなされる
。

最後に、カセットアンロード部２９に待機しているカセ
ット３０へ基板は順次格納されていく。

上記構成によってテクスチャーを行った時のエラー個数
及び最大突起高さを第３図及び第４図を用いて説明する
。第３図は加工時間に対するエラー個数発生の割合を示
す図である。基板の回転方向を数回反転することにより
、反転しないもの（従来例）に対して、エラーの発生個
数は減少することがわかる。

次に、第４図は加工時間と最大突起高さとの関係を説明
する図である。基板の回転方向を数回反転することによ
り、反転しないもの（従来例）に対して、最大突起高さ
が低くなることがわかる。

また、本実施例によれば、主加ニスピンドルユニットを
三基設けたことにより、一つの当たりの主加ニスピンド
ルユニットの加工時間が従来例よりも少なくなり（約６
０秒−約２０秒）、生産性を向上することが出来る。

［発明の効果］以上説明したように請求項１の発明によれば、回転する
磁気記録媒体の基板上にラッピングテープを押圧し、前
記基板上に筋目をつけるテクスチャー方法において、時
計方向に前記基板を回転させ、前記基板に目の粗い第１
のラッピングテープを押圧して、テクスチャーを行なう
工程と、反時計方向に前記基板を回転させ、前記基板に
目の粗い第１のラッピングテープを押圧し、テクスチャ
ーを行なう工程と、回転する基板に対して目の細かい第
２のラッピングテープを押圧させ、突起を除去する工程
とを少なくとも含むようにした。

また、請求項２の発明によれば、時計方向に前記基板を
回転させ、前記基板に目の粗い第１のラッピングテープ
を押圧して、テクスチャーを行なうユニットと、反時計
方向に前記基板を回転させ、前記基板に目の粗い第１の
ラッピングテープを押圧し、テクスチャーを行なうユニ
ットと、回転する基板に対して目の細かい第２のラッピ
ングテープを押圧させ、突起を除去するユニットと、を
少なくとも含むようにした。

よって、加工時間の減少が図れ、異常突起も少なく、エ
ラー箇所も少ない磁気記録媒体のテクスチャー方法及び
その装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理図、第２図は本発明のテクスチャー装置の一実施例を示す構
成図、第３図は加工時間とエラー個数の関係とを説明する図、第４図は加工時間と最大突起高さとを説明する図、第５図はスピンドルユニットの構成図、第６図は従来の
テクスチャー装置の構成図である。第１図乃至第４図において２２は主加ニスピンドルユニット、２５は仕上げ加ニスピンドルユニットである。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）回転する磁気記録媒体の基板上にラッピングテー
プを押圧し、前記基板上に筋目をつけるテクスチャー方
法において、時計方向に前記基板を回転させ、前記基板に目の粗い第１のラッピングテープを押圧して、テクス
チャーを行なう工程と、反時計方向に前記基板を回転させ、前記基板に目の粗い第１のラッピングテープを押圧し、テクス
チャーを行なう工程と、回転する基板に対して目の細かい第２のラッピングテープを押圧させ、突起を除去する工程と、を少なくとも含む磁気記録媒体のテクスチャー方法。
（２）時計方向に前記基板を回転させ、前記基板に目の
粗い第１のラッピングテープを押圧して、テクスチャー
を行なうユニットと、反時計方向に前記基板を回転させ、前記基板に目の粗い第１のラッピングテープを押圧し、テクス
チャーを行なうユニットと、回転する基板に対して目の細かい第２のラッピングテープを押圧させ、突起を除去するユニットと
、を少なくとも含む磁気記録媒体のテクスチャー装置。