JPH04347435A - 簡易クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子・精密機械工業、
食品工業等で所定の空間に層流の清浄空気を供給して局
所的に無じん無菌化するための簡易型の空気清浄装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】清浄度クラス１００以上の清浄空間を形
成するためには、室内を循環する清浄空気の気流を全面
ラミナーフロー（層流）にする必要がある。このような
層流を得るために、従来は図８〜図１０に示すように、
天井部のほぼ全面にＨＥＰＡフィルタと整流板を配置し
た一体形の天井ユニットを用い、この天井ユニットを４
本以上の強固な脚で支示していた。この天井ユニットは
、重量が室内寸法に応じて２００〜４００ｋｇあり、現
地搬入及び組立に最低でも６〜８人の人員が必要であっ
た。更に、天井ユニットが一体構造で寸法が大きいため
顧客サイドにおいても広い搬入経路を確保する必要があ
り、室内面積の広いルームが必要な場合でも、己ずと簡
易クリーンルームの室内寸法を限定せざるを得ず、使い
勝手の悪いものとなっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、現地
搬入、組立に多くの人手と時間を要し、又、本簡易クリ
ーンルームを必要とされる顧客の多くは、大手半導体工
場のように部屋全体をクリーンルーム化している場合と
異なり、既設の作業場の一部を局所的にクリーン化しよ
うとする電子、精密工業及び食品工業分野であるため、
むしろ、広い搬入経路や組立場所がない場合が多いこと
から、既存の搬入経路で運搬可能な室内寸法を有する装
置を選定せざるを得ず、本来希望する室内寸法のものは
、断念していた。このように、従来技術は、現地搬入、
組立性、顧客の実情にあった使い勝手性について配慮が
なされておらず、搬入据付費の割高、顧客の希望する室
内寸法のものが搬入経路の都合で提供できない等の問題
があった。

【０００４】本発明は、これらの問題を解決するために
、少ない人数で搬入でき、また搬入経路の制約を受けに
くい簡易クリーンルームを提供することを目的としてお
り、更に、経済性、使い勝手を向上させた簡易クリーン
ルームを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、天井部に空気浄化手段を備え、隔壁で隔
離された空間に層流で清浄空気を供給する簡易クリーン
ルームにおいて、互いに分割可能な脚部と横枠部により
構成されて上記空気浄化手段を載置する櫓状の枠体を備
え、上記空気浄化手段はファンおよびフィルタを有する
清浄空気供給ユニットと上記フィルタの下流側に接続さ
れて上記清浄空気供給ユニットを載置する拡散チャンバ
から成り、この拡散チャンバと上記清浄空気供給ユニッ
トの接続部および上記拡散チャンバの下面と上記横枠部
の下面の間を気密にシールしたことを特徴とするもので
ある。

【０００６】好ましい実施態様においては、上記清浄空
気供給ユニットおよび上記拡散チャンバはいずれも最大
寸法が幅８００ｍｍ高さ２０００ｍｍ以下となるよう構
成される。

【０００７】好ましい他の実施態様においては、上記脚
部、横枠部、清浄空気供給ユニットおよび拡散チャンバ
はいずれも重量が５０ｋｇ以下となるよう構成される。

【０００８】好ましいさらに他の実施態様においては、
上記拡散チャンバは上記清浄空気供給ユニットが挿通自
在に形成された開口部を備え、上記清浄空気供給ユニッ
トは外周の相対向する２辺に設けられたフランジにより
上記開口部に臨んで支持される。

【０００９】

【作用】櫓状の枠体は脚部と横枠部に分割され、空気浄
化手段はファンおよびフィルタを有する清浄空気供給ユ
ニットと拡散チャンバに分割されるので、分割された各
部分の寸法の小型化、計量化を図ることができ、搬入経
路の制限を少なくするとともに、２〜３人で運搬できて
搬入に要する人員を低減させることができる。また、拡
散チャンバの下面と横枠部の下面の間は気密にシールさ
れているので、拡散チャンバ内の圧力を高めることがで
きて吹き出し風速の均一化を図れるとともに汚染物質の
流入を防止できる。

【００１０】

【実施例】本発明の実施例を図１〜図７、および図１１
〜図１５により説明する。

【００１１】本発明の第１実施例を図１〜図７、および
図１１、図１２により説明する。

【００１２】図１は本発明の第１実施例の外観図を示し
、図２は本実施例における分割構造を示す。本実施例は
、清浄空気を供給する空気浄化手段をファンユニット５
、拡散チャンバ４および整流板７に分割する構造とし、
また、これを支える櫓状の枠体を脚１および横枠２、３
に分割する構造として、１ユニット当りの重量を最大で
も５０ｋｇ以下とし、寸法も一般建築の扉寸法（幅８０
０×高２０００ｍｍ）以内とし、搬入組立人員を従来の
６〜８人から２〜３人に削減できるようにしたものであ
る。

【００１３】更に、横枠２、３と脚１の連結強度を強化
するために横枠２、３の側面上方と横枠２、３の水平面
を少なくとも１箇所以上、脚１と締結させることにより
、分割構造にありがちな脚のふらつきを防止した構造と
したものである。

【００１４】１は本装置を支える脚で、少なくとも枠体
の外周のコーナ部に４本設けられる。脚１にはその垂直
面の上方にボルト１３と脚部補強１１が溶接され、この
ボルト１３と脚部補強１１に枠２及び枠３を図３に示す
手順で締結して、本装置の櫓状の枠体が完成する。又、
脚１と枠２、枠３は、図５に示すように、垂直面では脚
１に溶接されたボルト１３に枠２、３をそれぞれ差し込
んでナット１４で締結し、、水平面では、脚１に溶接さ
れた補強１１と枠２、３間をボルト１２で締結する。締
結箇所は垂直面、水平面とも少なくとも１箇所以上設け
られる。このように、脚１１と枠２、３を枠の垂直面と
水平面に少なくとも１箇所以上締結し、これらを４本脚
とも行なうことにより図４に示すような強固な櫓を組み
上げることができる。

【００１５】櫓が完成すると、この上に空気浄化手段を
載せる。本実施例では空気浄化手段は、ファンユニット
５と拡散チャンバ４を分割構造とし、より軽量化を図っ
ている。また、ファンユニットを拡散チャンバに載せる
際、装置の天井側からでも室内側からでも取付可能構造
とし、建屋天井の低い場合でも組立可能としている。

【００１６】空気浄化手段部分の組立に際しては、枠組
を完了した櫓の上にまず拡散チャンバ４を載せる。拡散
チャンバ４は、ＨＥＰＡフィルタ６から吹き出た清浄空
気を拡散する機能を有する。拡散チャンバ４には、枠上
に載せるために天井面に少なくとも２方向以上に耳を設
けており、この耳部分を横枠の上に載せて、チャンバ４
が横枠にぶらさがる状態とする。耳部分はチャンバ４を
載せた後、この耳部分と枠２、３との間のずれ防止とし
て、１箇所以上横枠２、３にネジ止めにて固定される。

【００１７】拡散チャンバ４にはファンユニット５を差
し入れるため、ファンユニットの幅寸法に対し、やや大
きめの角穴を設けている。ファンユニット５は室内側か
らこの角穴に挿入して拡散チャンバ４に載せ、ファンユ
ニット５に設けた固定金具を介して室内側から拡散チャ
ンバ４にネジ止めにて固定される。

【００１８】具体的には、ファンユニット５は、図７に
示すように室内側から拡散チャンバ４に設けた角穴にや
や斜めにした状態で差し込まれ、図６に示すように両耳
を拡散チャンバの角穴の縁に載せた状態で拡散チャンバ
４に載置する。ファンユニット５の取り付け時にはＨＥ
ＰＡフィルタ６を外しておくことにより清浄空気供給ユ
ニットが軽くなるため、およびフィルタのろ材損傷等に
気を使わずにすむため作業性が向上する。この場合、Ｈ
ＥＰＡフィルタ６は、ファンユニット５の取り付け後室
内側からファンユニット５に直接締結される。

【００１９】ファンユニット５は、ファンユニットに溶
接されたナット付アングル１９とネジ２０により拡散チ
ャンバ４の下方から拡散チャンバ４に締結される。尚、
予め設けた櫓と拡散チャンバの隙間及び拡散チャンバと
ファンユニットの隙間は、それぞれ図６に示す通りバッ
クアップ材１５を差し入れてシリコンシーラ材１６にて
コーキングし、気密を保持させる。

【００２０】本実施例では拡散チャンバ４上に電気品収
納箱２１が設けられ、電気品収納箱２１にはファン用の
電磁開閉器、枠２に下面から取り付けた照明灯２３用安
定器等、定期的にメンテナンスを要する電気部品がまと
めて収納されている。本電気品収納箱２１へは、図１１
、図１２に示されるように、ファンユニット５、枠２、
操作スイッチ付脚１から引き出されるケーブルが全て集
結され、本電気品収納箱内部で結線される。このように
、本実施例は電気配線作業がまとめて電気品収納箱内で
できるため、生産性も良く、配線作業のコストダウンを
図ることができる。更に、電気品を集結しているため、
メンテナンス性を向上できる。

【００２１】配線作業終了後、整流板７を拡散チャンバ
４に下方からネジ止めにて固定する。整流板７は拡散さ
れた清浄空気をラミナーフロー（層流）にする機能を有
する。尚、下方からネジ止めする際、１人作業でも可能
なようにへこみ防止を兼ね備えた引掛け金具が整流板７
に設けられている。

【００２２】最後に隔壁としてのビニルカーテン８を図
２に示すように押え板９、１０を使って枠２及び３に固
定し、簡易クリーンルームが完成する。

【００２３】本実施例では清浄空気供給ユニットの取り
付け方向は下側（室内側）からに限ることなく、清浄空
気供給ユニットのファンユニット５は外周の相対向する
２辺に設けられたフランジ（両耳）により支持されて拡
散チャンバ４に遊嵌されるので、上側（室外側）から取
り付けることもできる。いずれの場合も取り付け後清浄
空気供給ユニットと拡散チャンバの間は気密にシールさ
れる。

【００２４】上記のように本実施例では簡易クリーンル
ームを、ファンユニット、ＨＥＰＡフィルタ、拡散チャ
ンバ、整流板、幅方向の横枠、奥行方向の横枠、脚に分
割して、各ユニットの重量を全て１〜２人で持ち上げ可
能なように１０〜５０ｋｇ程度とし、搬入時の運搬作業
を２〜３人で行なえるようにしている。

【００２５】また、天井ユニットを各要素別に分割構造
化したことにより多人数による組立作業を行なう必要が
なく、又、分割寸法も一般建屋のドア（幅８００×高２
０００ｍｍ）で十分搬入可能な寸法にできるので設置場
所が限定されず、搬入組立費が大幅に低減できると共に
顧客ニーズに対応可能な装置にすることができる。

【００２６】又、各ユニットは、一般の建屋扉（幅８０
０×高２０００ｍｍ）に通過可能な寸法となるため、将
来のレイアウト変更により移設する場合でも、分解され
たユニットの移動が容易であり、さらにこれらは軽量化
されているので再組立が可能である。

【００２７】本発明の第２実施例を図１３により説明す
る。本実施例は、第１実施例の空気浄化手段が１モジュ
ールだけ設けられた例である。櫓状の枠体はファンユニ
ット５、拡散チャンバ４からなる空気浄化手段が１台だ
け載置できる寸法に形成される。他の構成は第１実施例
と同様である。

【００２８】本発明の第３実施例を図１４、図１５によ
り説明する。本実施例は、第１実施例の空気浄化手段が
３モジュールだけ設けられた例である。櫓状の枠体はフ
ァンユニット５、拡散チャンバ４からなる空気浄化手段
が３台載置できる寸法に形成される。

【００２９】本実施例の場合は、隣合う拡散チャンバ４
をボルト１２、ナット１４にて締結して連結部をＨ型鋼
構造としているため、連結部において頑強な強度を得る
ように構成したものである。このため、本実施例によれ
ば、従来製作困難であった幅または奥行寸法が３０００
ｍｍ以上のものについても頑強な連結構造により製作可
能となり、広いスペースの層流形簡易クリーンルームが
実現できる。他の構成は第１実施例と同様である。

【００３０】上記のごとく、以上の実施例によれば、従
来技術にない搬入組立時の作業性の向上、経済性、使い
勝手性の向上を図ることができる。

【００３１】以上の実施例において脚１の下部に移動用
の車輪を設けて移動式の層流形簡易クリーンルームとし
てもよく、また、脚１の下部に固定用の座板を設けて固
定式の層流形簡易クリーンルームとしてもよい。

【００３２】また、隔壁もビニールカーテンに限ること
はなく、パネル状の合成樹脂板、金属板、またはこれら
の複合材であってもよい。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、少ない人数で搬入でき
、また搬入経路の制約を受けにくい簡易クリーンルーム
を得ることができる。更に、経済性、使い勝手を向上さ
せた簡易クリーンルームを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の外観を示す斜視図

【図２
】本実施例の構成を分解して示す斜視図

【図３】本実施
例の櫓部の組立手順を示す斜視図

【図４】本実施例の櫓
部外観を示す斜視図

【図５】本実施例の脚と枠の接続部
の構成を分解して示す斜視図

【図６】本実施例の主要部の縦断面図

【図７】本実施例のファンユニット取付状態を示す縦断
面図

【図８】従来技術の外観を示す斜視図

【図９】従来技術の構成を分解して示す斜視図

【図１０
】従来技術の主要部の縦断面図

【図１１】本実施例の天
井部の電気配線引き廻し図

【図１２】本実施例の脚部の
電気配線引き廻し図

【図１３】本発明の第２実施例の構
成を分解して示す斜視図

【図１４】本発明の第２実施例の平面図

【図１５】本実
施例の拡散チャンバ連結状態を示す主要部の縦断面図

【符号の説明】

１：脚　　２：枠　　３：枠　　４：拡散チャンバ　　
５：ファンユニット ６：ＨＥＰＡフィルタ　　７：整流板　　８：ビニルカ
ーテン　　９：カーテン補強 １０：カーテン押え　　１１：脚部補強　　１２：ボル
ト　　１３：埋込ボルト １４：ナット　　１５：バックアップ材　　１６：コー
キング材 １７：天井ユニット　　１８：脚　　１９：アングル　
　２０：ネジ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】天井部に空気浄化手段を備え、隔壁で隔離
   された空間に層流で清浄空気を供給する簡易クリーンル
   ームにおいて、互いに分割可能な脚部と横枠部により構
   成されて上記空気浄化手段を載置する櫓状の枠体を備え
   、上記空気浄化手段はファンおよびフィルタを有する清
   浄空気供給ユニットと上記フィルタの下流側に接続され
   て上記清浄空気供給ユニットを載置する拡散チャンバか
   ら成り、この拡散チャンバと上記清浄空気供給ユニット
   の接続部および上記拡散チャンバの下面と上記横枠部の
   下面の間を気密にシールしたことを特徴とする簡易クリ
   ーンルーム。
2. 【請求項２】上記清浄空気供給ユニットおよび上記拡散
   チャンバはいずれも最大寸法が幅８００ｍｍ高さ２００
   ０ｍｍ以下となるよう構成されたことを特徴とする請求
   項１記載の簡易クリーンルーム。
3. 【請求項３】上記脚部、横枠部、清浄空気供給ユニット
   および拡散チャンバはいずれも重量が５０ｋｇ以下とな
   るよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の簡易
   クリーンルーム。
4. 【請求項４】上記拡散チャンバは上記清浄空気供給ユニ
   ットが挿通自在に形成された開口部を備え、上記清浄空
   気供給ユニットは外周の相対向する２辺に設けられたフ
   ランジにより上記開口部に臨んで支持されたことを特徴
   とする請求項１記載の簡易クリーンルーム。