JPH04349985A - コアの洗浄装置 - Google Patents

コアの洗浄装置

Info

Publication number
JPH04349985A
JPH04349985A JP12351391A JP12351391A JPH04349985A JP H04349985 A JPH04349985 A JP H04349985A JP 12351391 A JP12351391 A JP 12351391A JP 12351391 A JP12351391 A JP 12351391A JP H04349985 A JPH04349985 A JP H04349985A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tank
ring
core
jig
cleaning device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12351391A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Tomiyama
富山 博司
Tsukasa Mikamoto
司 三家本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP12351391A priority Critical patent/JPH04349985A/ja
Publication of JPH04349985A publication Critical patent/JPH04349985A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リングに接着した多数
の磁気ヘッドのコアを、洗浄する装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】磁気ヘッドのコアは、セラミックスなど
で成形したリングの表面に数千個接着されていて、ラッ
ピング加工を数回行った後に、バフ研磨し、その後は粗
洗浄して純水中で超音波洗浄し、乾燥する。コアの大き
さは、約1mm角で厚さが0.1mmであり、貫通した
開口の縁部には、凹凸がある。
【0003】前記した粗洗浄をするには、多数の表面に
対して摺動が自在な柄付きブラシ、毛先が円弧を描く回
転ブラシ、ロール状をしたロールブラシなどが、一般的
に用いられ、洗浄促進のために洗浄液を噴霧したりして
いる
【0004】例えば、特開昭57−90941号公報、
特開昭59−121939号公報では、被洗浄体を回転
させながら、回転ブラシを前後進させる開示がある。即
ち、被洗浄体の回転とブラシの回転とブラシの往復運動
の3つの動きを作用させているのである。
【0005】特開昭63−15710号公報では、ジェ
ット噴射の洗浄液下でブラシ洗浄し、被洗浄物を回転し
、洗浄液を飛散させて乾燥させている。
【0006】特開平2−7426号公報では、スプライ
ンで前後進するスポンジブラシを回転させて洗浄し、溶
剤蒸気で乾燥させている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】これら従来の洗浄方法
は、ブラシを回転させながら前後進させるので、ブラシ
が万編なく摺動して均等に洗浄される。しかし、磁気ヘ
ッドのコアは、約1mm角で厚さが0.1mmと微少で
あり、貫通した開口の縁部には、凹凸がある。凹凸のあ
る縁部の角、特に狭小部分には、残さが固着しやすいの
で、このような従来の洗浄装置では、残さを確実に洗浄
できない。単にまんべんなくブラッシングするのみでは
洗浄できず、ブラシを摺動する方向と周期、及び洗浄剤
が問題であった。このようなことから、確実に信頼性を
持って洗浄できるのは、人作業であることから、人作業
と機械ブラシとが併用され、効率的にも熟練度からも芳
しくはなかった。また、洗浄後の乾燥では、回転による
乾燥は、飛散した液の再付の着問題があり、溶剤乾燥は
、コアを接着する接着剤に対する溶剤の影響や、引火や
周囲の酸欠の問題があった。本発明は、効率的に確実に
残さを除去し、安全で簡素な機構で、清浄な水切り乾燥
できる洗浄装置を提供することを目的とする。
【0008】
【問題を解決するための手段】リングに接着したコアを
洗浄するコアの洗浄装置において、リングを供給する搬
入コンベアと、ブラッシング機構を設けた第1槽と、洗
剤を満たした第2槽と、シャワーを設けた第3槽と、温
純水を満たした第4槽及び第5槽と、搬出コンベアと、
リングを搬送する搬送装置を設ける。
【0009】搬入コンベアと搬出コンベアは、ベルトに
、リングを2個ずつ5度程度傾けて保持する治具を、複
数個設ける。
【0010】第1槽は、遊星機構を内蔵する遊星機器部
の出力軸に治具を設け、治具に複数のブラシを設け、遊
星機器部には、ブラシをコアに対して押圧するようにガ
イドを設け、中性の洗剤と上水を吐出するノズルをブラ
シの近傍に設ける。
【0011】第2槽は、中性洗剤を満たし、リング保持
する治具と、リングを揺動する機構を設け、超音波振動
子を設ける。
【0012】第3槽は、リングを保持する治具と、リン
グを揺動する機構を設け、上水を散水するシャワーを設
ける。
【0013】第4槽と第5槽は、温純水を満たし、リン
グを保持する治具と、リングを揺動する機構を設け、超
音波振動子を設ける。
【0014】搬送装置は、3槽分のリングを引っかける
フックを2組と、そのフックを昇降する昇降装置を2組
設け、2組のフックと昇降装置を同時に水平方向に移動
する横行装置を設ける。
【0015】
【実施例】本発明の実施例を、図1から図9に基づいて
説明する。図1は、洗浄装置の正面図である。リング9
を供給する搬入コンベア6の端部に隣接して、槽1、槽
2、槽3、槽4、槽5を設け、槽5に隣接して搬出コン
ベア7を設ける。さらに、これらのコンベアと槽の上部
に、搬送機構8を設ける。
【0016】図2は、図1の搬入コンベア6のA−A矢
視図と搬出コンベア7のL−L矢視図を示す。搬入コン
ベア6と搬出コンベア7は、同一構造である。駆動ロー
ラ25と従動ローラ26で駆動するベルト24の周囲に
、コア10を接着したリング9を、2個ずつ、5度程度
傾けて保持する治具22を複数取り付ける。ベルト24
は、搬入コンベア6はM方向に、搬出コンベア7は、N
方向に回転、停止が自在にできるように制御する。
【0017】図3は、図2のF−F矢視図を示す。リン
グ9を保持する治具22にリング受け23を取り付ける
。さらに、治具22は、リング9の中心付近をU字形に
切り欠く。
【0018】図4は、図1の槽1のB−B矢視図を示す
。槽1は、ブラシ34を回転させる駆動装置11と、コ
ア10を接着したリング9を保持する治具38と、洗浄
装置12から成る。
【0019】駆動装置11は、モータを持つ減速機部3
1と遊星機構を内蔵する遊星機器部32から成り、遊星
機部32の出力軸に治具33を介して、ブラシ34を円
弧状に複数設ける。遊星機器部32は、減速機部31の
軸心Gに対して、変心量Zをもって、治具34が回転す
るようにし、ブラシ34自体の公転に加えて、さらに公
転を同時にするようにする。ブラシ34自体の公転回数
は、20rpmから50rpm、さらなる公転は、2r
pmから5rpmとし、10:1の比にする。
【0020】そして、駆動装置11を、ベース44に設
けたシリンダ35により、レール37上を摺動するスラ
イド部36に設置する。シリンダ35の押圧力は、1k
gから5kgの範囲で設定する。ベース44の傾きは、
軸心Gがリング9の表面45と直角を成すようにする。
【0021】治具38を、槽1の内壁面に設け、リング
受け23とクランプ39を設け、リング9を5度程度傾
けて保持できるようにする。
【0022】洗浄器12は、中性洗剤のタンク42と中
性洗剤用ノズル43及び、上水のタンク40と上水用ノ
ズル41から成る。各ノズルの先端は、リング9の表面
45に、中性洗剤及び上水が吐出できるように、ブラシ
34の近傍に設ける。吐出と停止及び、吐出時間は自在
に設定できるようにする。
【0023】図5は、図4のH−H矢視図を示し、リン
グ9に対するブラシ34の軌跡を表す。リング9の表面
45には、外縁L1より小さい外周L2と、内縁L4よ
り大きい内周L3から成る面域に、コア10が多数接着
されている。このようなリング9に対して、ブラシ34
自体が公転する外接円B2と内接円B3は、同時にさら
なる公転をするので、それぞれ外接円B4と内接円B5
を形成する。すなわち、ブラシ34は、外接円B4と内
接円B5のなす面域を常に公転しながら、コア10と摺
接するのである。すなわち、ブラシ34自体の自転はな
いのである。
【0024】図6は、図4のI−I矢視図を示し、ブラ
シ34の配置と公転軌跡を表す。ブラシ34は、治具3
3に複数個設ける。33Aは、治具33が若干公転した
位置の治具を示す。ブラシ34そのものは、外周円B4
と内周円B5とが成す面域を回転しながら通過するので
ある。治具33自体の回転によってブラシ34自体は公
転し、遊星作用によってさらにブラシ34は公転する。
【0025】図7は、図1の槽2のC−C矢視図を示し
、槽2に満たした中性洗剤56とリング9を揺動させる
揺動機13及び、超音波振動子50から成る。揺動機1
2には、ベース51に設置したシリンダ52とレール5
3により摺動するスライド部54に、リング9を5度程
度傾けて保持するための治具55を固定する。治具55
には、リング受け23を設ける。シリンダ52のストロ
ークは、超音波の波長の2分の1以上とする。槽2には
、リング表面45と向かい合う槽壁に超音波振動子50
を設ける。
【0026】図8は、図1の槽3のD−D矢視を示し、
シャワー装置14とリング9を揺動させる揺動機13か
ら成る。揺動機13には、ベース51に設置したシリン
ダ52とレール53により摺動するスライド部54に、
リング9を5度程度傾けて保持するための治具55を固
定する。治具55には、リング受け23を設ける。シャ
ワー装置14は、上水タンク61と上水をリング9の近
傍に導くパイプ62と散水部63から成る。
【0027】図9は、図1の槽4のJ−J矢視と槽5の
K−K矢視を示す。槽4と槽5は、同一構造であり、槽
に満たした温純水58とリング9を揺動させる揺動機1
3及び、超音波振動子50から成る。揺動機12には、
ベース51に設置したシリンダ52とレール53により
摺動するスライド部54に、リング9を5度程度傾けて
保持するための治具55を固定する。治具55には、リ
ング受け23を設ける。シリンダ52のストロークは、
超音波の波長の2分の1以上とする。槽には、リング表
面45と向かい合う槽壁に超音波振動子50を設ける。
【0028】搬送機構8については、図1と図10を用
いて説明する。図10は、図1の搬送機構8のE−E矢
視を示す。図1において、搬送機構8は、3槽分のリン
グを引っかけるフック機構15A,15Bと、そのフッ
ク機構15A,15Bを昇降する昇降装置16A,16
Bを設け、これら2組のフック機構と昇降装置を水平方
向に移動させる横行装置17から成る。又、フック機構
15A,15Bと、昇降装置16A,16Bは、各々独
自に作動できるようにする。
【0029】フック機構15A,15Bは、リング9の
中心位置のピッチに合わせてフック73を6本設け、そ
のフック73の上端部を、フックベース70に固定した
軸受け71により、回転可能な軸72に固定する。軸7
2及び、フック73は、図10に示すように、ジョイン
ト75を介して、フックベース70に固定したシリンダ
74の軸が、O1,O2方向に前後進する事により、P
1,P2方向に回転する。
【0030】図1において、昇降装置16A,16Bは
、駆動モータ82と、ラックピニオン機構81により、
Q1,Q2方向に昇降する昇降軸80から成り、昇降軸
80の下端には、フック機構15のフックベース70を
固定する。
【0031】横行装置17は、2組の昇降装置を設置す
る横行ベース83の下面に、外周がV溝形状をしたロー
ラー84を設け、ベース86に固定した山形レール85
とシリンダ87により、R1,R2方向に移動する。シ
リンダ87のストロークは、槽間ピッチと同一とする。
【0032】次に作用について説明する。図1において
、搬入コンベア6でコア10を接着したリング9を供給
し、槽1から槽5で洗浄を行い、槽5からリング9を引
き上げるとき、水切りを行い、搬出コンベア7に排出し
、自然乾燥させる。搬送装置8は、リング9を前槽(又
は、搬入コンベア6)から次槽(又は、搬出コンベア7
)へ、移送する。
【0033】図2において、搬入コンベア6の駆動ロー
ラ25と従動ローラ26で駆動するベルト24の周囲に
複数設けた治具22に、コア10を接着したリング9を
、5度程度傾けてセットしする。駆動ローラ25を回転
し、リング9搬出位置(駆動ローラ25付近)まで、M
方向に移動する。
【0034】図3において、搬送装置8のフック73で
リング9中心穴を引っかける際、フック73の先端を、
治具22のU字形切り欠き部まで挿入してからリング9
を持ち出す。搬出後、次のリング9が搬出位置までくる
ように、駆動ローラ25を回転させる。
【0035】図4において、槽1の内壁面に設けた治具
38に、コア10を接着したリング9をリング受け23
とクランプ39で固定する。そして、駆動装置11を駆
動すると、遊星機器部32によってブラシ34の公転と
、治具33の公転を同時にする。次に、駆動装置11を
シリンダ35によって前後進させると、ブラシ34がリ
ング9のコア10に接離する。
【0036】一方、ノズル43から中性洗剤を吐出しな
がら、ブラシ34の公転と治具33の公転を、正回転と
逆回転を繰り返しながら洗浄し、次に、ノズル41から
上水を吐出しながら、ブラシ34の公転と治具33の公
転を、正回転と逆回転を繰り返しながら洗浄する。  
図5において、ブラシ34が公転する外接円B2と内接
円B3は、同時に公転するので、それぞれ外周円B4と
内周円B5を形成する。
【0037】ブラシ34は、外周円B4と内周円B5の
なす面域を公転しながら、更に公転し、コア10と摺接
する。これにより、ブラシ34は、中性洗剤の浴下で正
の公転とさらなる公転、逆の公転とさらなる公転を繰り
返し行い、次に上水の浴下で正の公転とさらなる公転と
、逆の公転とさらなる公転を繰り返し行うのである。
【0038】図7において、槽2に満たした中性洗剤5
6中で、コア10を接着したリング9を、治具55で5
度程度傾けて保持し、揺動機12で揺動しながら、超音
波振動子50により、超音波洗浄を行う。
【0039】図8において、槽3中で、コア10を接着
したリング9を、治具55で5度程度傾けて保持し、揺
動機12で揺動しながら、シャワー装置14で上水を散
水しながら、シャワー洗浄を行う。
【0040】図9において、槽4に満たした温純水58
中で、コア10を接着したリング9を、治具55で5度
程度傾けて保持し、揺動機12で揺動しながら、超音波
振動子50により、超音波洗浄を行う。
【0041】次に、槽5においても、同様に、槽5に満
たした温純水58中で、コア10を接着したリング9を
、治具55で5度程度傾けて保持し、揺動機12で揺動
しながら、超音波振動子50により、超音波洗浄を行う
【0042】図2において、搬出コンベア6の駆動ロー
ラ25を回転し、リング9を保持するための治具22を
、リング9搬入位置(駆動ローラ25付近)まで、N方
向に移動する。次に、搬送装置8により洗浄、水切り済
リング9を治具22に置く。リング9搬入後、次の治具
22が、搬入位置に来るまで、駆動ローラ25を回転さ
せる。洗浄水切り済リング9は、搬出コンベア7上で、
20分程度自然乾燥させる。
【0043】図1及び、図9において、フック機構15
A,15Bのシリンダ74の軸をO2方向に後退させる
ことにより、ジョイント75は、軸72を回転させ、フ
ック73をP2方向に回転させ、73Bの位置に保持す
る。次に、昇降装置16A,16Bの駆動モータを駆動
し、ラックピニオン機構81により、昇降軸80を、フ
ック73の下端が各槽の上端より上になるまでQ1方向
に、上昇させる(横行位置)。そして、横行装置17の
シリンダ87の軸を後退させ、横行ベース83に設置し
た昇降装置16A,16Bとフック機構15A,15B
をR1方向に移動し、各槽の洗浄及び、コンベアの準備
完了まで待機する。
【0044】槽5の温純水58からリング9を引き上げ
る際、コア10及び、リング9に付着する水滴を最小限
度にするために、引き上げ速度を2mm/秒から10m
m/秒にする必要がある。このため、槽3、槽4、槽5
の洗浄時間は、フック機構15Bと昇降装置16Bによ
り、水を切りながら引き上げる時間の分だけ槽1、槽2
の洗浄時間より短くする。そこで、槽3、槽4、槽5は
、槽1、槽2より早く洗浄を完了させ、昇降装置16B
の昇降軸80をQ2方向に下降させ、フック73の先端
をリング9の中心と同一の高さにする。シリンダ74の
軸をO1方向に前進させ、フック73をP1方向に回転
させ、フック73の先端を、リング9の中心穴に入れる
。次に、昇降装置16Bの昇降軸80を、2mm/秒か
ら10mm/秒の速度でリング9及び、コア10の水切
りを行いながら、Q1方向に上昇させる。
【0045】一方、搬入コンベア6、槽1、槽2内のリ
ング9は、フック機構15Aと昇降装置16Aにより、
前記と同様に、フック73にリング9を引っかけて上昇
させる。槽1、槽2のリング9は、特に水切りを必要と
しないので、速度は、200mm/秒程度で良い。
【0046】昇降装置16A、16B共に、横行位置ま
で、昇降軸80をQ1方向に上昇後、横行装置17のシ
リンダ87の軸を前進させ、リング9を引っかけたフッ
ク機構15A、15Bと昇降装置16A,16Bを設置
した横行ベース83をR2方向に移動させ、リング9を
前槽(又は、搬入コンベア6)から次槽(又は、搬出コ
ンベア7)に移動させる。
【0047】そして、昇降装置16A,16Bの昇降軸
80をQ2方向に下降し、リング9を各槽と搬出コンベ
ア7の治具に置き、各槽でコア10の洗浄を行う。
【発明の効果】ブラシが中性洗剤と上水の浴下で、正と
逆の、公転とさらなる公転を繰り返し行うので、効率的
に確実に残さが除去でき、又、リング搬送装置を二分割
する事により、安全で簡素な機構で清浄な水切り乾燥が
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明装置の正面図
【図2】図1のA−A矢視  搬入コンベア6(L−L
矢視  搬出コンベア7)を示す。
【図3】図2のF−F矢視を示し、治具22の形状を表
す。
【図4】図1のB−B矢視を示し、槽1の詳細図である
【図5】図4のH−H矢視を示し、リング9に対するブ
ラシ34の軌跡を表す。
【図6】図4のI−I矢視を示し、ブラシ34の配置と
公転軌跡を表す。
【図7】図1のC−C矢視を示し、槽2の詳細図である
【図8】図1のD−D矢視を示し、槽3の詳細図である
【図9】図1のJ−J矢視  槽4(K−K矢視  槽
5)の詳細図である。
【図10】図1のE−E矢視を示し、フック機構15B
の、及び、横行装置17の側面図である。
【符号の説明】
1    槽1 2    槽2 3    槽3 4    槽4 5    槽5 6    搬入コンベア 7    搬出コンベア 8    搬送機構 9    リング 10    コア

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  リングに接着したコアを洗浄するコア
    の洗浄装置において、リングを供給する搬入コンベアと
    、ブラッシング機構を設けた第1槽と、洗剤を満たした
    第2槽と、シャワーを設けた第3槽と、温純水を満たし
    た第4槽及び第5槽と、搬出コンベアと、リングを搬送
    する搬送装置を設けたことを特徴とするコアの洗浄装置
  2. 【請求項2】  搬入コンベアと搬出コンベアは、ベル
    トに、リングを2個ずつ5度程度傾けて保持する治具を
    、複数設けたことを特徴とする請求項1記載のコアの洗
    浄装置。
  3. 【請求項3】  第1槽は、遊星機構を内蔵する遊星機
    器部の出力軸に治具を設け、治具に複数のブラシを設け
    、遊星機器部には、ブラシをコアに対して押圧するよう
    にガイドを設け、中性の洗剤と上水を吐出するノズルを
    ブラシの近傍に設けたことを特徴とする請求項1記載の
    コアの洗浄装置。
  4. 【請求項4】  第2槽は、中性洗剤を満たし、リング
    保持する治具と、リングを揺動する機構を設け、超音波
    振動子を設けたことを特徴とする請求項1記載のコアの
    洗浄装置。
  5. 【請求項5】  第3槽は、リングを保持する治具と、
    リングを揺動する機構を設け、上水を散水するシャワー
    を設けたことを特徴とする請求項1記載のコアの洗浄装
    置。
  6. 【請求項6】  第4槽と第5槽は、温純水を満たし、
    リングを保持する治具と、リングを揺動する機構を設け
    、超音波振動子を設けたことを特徴とする請求項1記載
    のコアの洗浄装置。
  7. 【請求項7】  搬送装置は、3槽分のリングを引っか
    けるフックを2組と、そのフックを昇降する昇降装置を
    2組設け、2組のフックと昇降装置を同時に水平方向に
    移動する横行装置を設けたことを特徴とする請求項1記
    載のコアの洗浄装置。
JP12351391A 1991-05-28 1991-05-28 コアの洗浄装置 Pending JPH04349985A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12351391A JPH04349985A (ja) 1991-05-28 1991-05-28 コアの洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12351391A JPH04349985A (ja) 1991-05-28 1991-05-28 コアの洗浄装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04349985A true JPH04349985A (ja) 1992-12-04

Family

ID=14862472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12351391A Pending JPH04349985A (ja) 1991-05-28 1991-05-28 コアの洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04349985A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6643882B1 (en) Substrate cleaning apparatus
US5351360A (en) Cleaning device for a wafer mount plate
JP2002043267A (ja) 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び基板処理装置
KR19980042583A (ko) 기판세정장치 및 기판세정방법
JPH0786218A (ja) 基板洗浄装置
JP2001096245A (ja) 洗浄方法および洗浄装置
CN220065625U (zh) 用于化学机械抛光后晶圆的综合清洁设备
EP0877418A2 (en) Edge-polishing apparatus and method
JP2020184581A (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP2543007B2 (ja) ウエ−ハ枚葉洗浄装置
JP4721968B2 (ja) スピンナ洗浄装置
JP3604546B2 (ja) 処理装置
JPH01251651A (ja) ワーク洗浄・バリ取り装置
JPH09326375A (ja) ウェハの洗浄方法および装置
JPH08213352A (ja) ウェーハ洗浄装置
JPH07100229A (ja) 球体洗浄装置
JPH04150969A (ja) ディッピング処理方法及びその装置
JP4213779B2 (ja) 基板の処理装置及び処理方法
JPH09321005A (ja) スピン洗浄処理ユニット
JP3776214B2 (ja) ワークのチャックホイル機構及びポリッシング装置及び洗浄装置
JP3524267B2 (ja) ウェハの剥離装置
JP3630509B2 (ja) 回転ドラムの洗浄・乾燥装置
JPH06342782A (ja) 基板表面処理装置
JP2001150336A (ja) 平板状基板の製造方法および研磨方法
JPH09174429A (ja) ウェーハ研磨装置