JPH0436252U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0436252U JPH0436252U JP1990077616U JP7761690U JPH0436252U JP H0436252 U JPH0436252 U JP H0436252U JP 1990077616 U JP1990077616 U JP 1990077616U JP 7761690 U JP7761690 U JP 7761690U JP H0436252 U JPH0436252 U JP H0436252U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impurity diffusion
- conductivity type
- diffusion layer
- semiconductor device
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Element Separation (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Description
第１図は本考案にかかる半導体装置の一実施例
の断面図、第２図、第３図は本考案の半導体装置
の製造の途中断面図、第４図は従来の半導体装置
の断面図である。 １……半導体基板、２……溝部、３……ソース
およびドレイン領域、４……隣接する素子との電
気的分離のための不純物拡散領域、５……電荷蓄
積のための一導電型不純物拡散層、６……蓄積電
荷向上のための反対導電型不純物拡散層、７……
マスク材。
の断面図、第２図、第３図は本考案の半導体装置
の製造の途中断面図、第４図は従来の半導体装置
の断面図である。 １……半導体基板、２……溝部、３……ソース
およびドレイン領域、４……隣接する素子との電
気的分離のための不純物拡散領域、５……電荷蓄
積のための一導電型不純物拡散層、６……蓄積電
荷向上のための反対導電型不純物拡散層、７……
マスク材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 溝部と、溝部内に形成した電荷蓄積のための一
導電型不純物拡散層と、蓄積電荷量向上のための
反対導電型不純物拡散層とを有する半導体装置に
おいて、 溝部内上方に反対導電型不純物拡散層を形成し
ていない領域を設けたことを特徴とする半導体装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990077616U JPH0436252U (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990077616U JPH0436252U (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436252U true JPH0436252U (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=31620168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990077616U Pending JPH0436252U (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436252U (ja) |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP1990077616U patent/JPH0436252U/ja active Pending