JPH0320436U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0320436U JPH0320436U JP7952589U JP7952589U JPH0320436U JP H0320436 U JPH0320436 U JP H0320436U JP 7952589 U JP7952589 U JP 7952589U JP 7952589 U JP7952589 U JP 7952589U JP H0320436 U JPH0320436 U JP H0320436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- photoresist
- impurity
- view
- main part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図ＡおよびＢはこの考案を電界効果型のｐ
−ＭＯＳに適用した第１実施例を示し、第１図Ａ
はその露光工程を示す要部拡大断面図、第１図Ｂ
はイオンの打込み工程を示す要部拡大断面図、第
２図ＡおよびＢはｐｎ接合の半導体装置に適用し
た第２実施例を示し、第２図Ａはその露光工程を
示す要部拡大断面図、第２図Ｂはイオンの打込み
工程を示す要部拡大断面図、第３図は従来のｐｎ
接合の半導体装置のイオン打込み工程を示す断面
図である。 １０……シリコン基板、１７……フオトレジス
ト、１９……フオトレジストの除去部分、２０…
…壁面、２１……ｐ型領域。
−ＭＯＳに適用した第１実施例を示し、第１図Ａ
はその露光工程を示す要部拡大断面図、第１図Ｂ
はイオンの打込み工程を示す要部拡大断面図、第
２図ＡおよびＢはｐｎ接合の半導体装置に適用し
た第２実施例を示し、第２図Ａはその露光工程を
示す要部拡大断面図、第２図Ｂはイオンの打込み
工程を示す要部拡大断面図、第３図は従来のｐｎ
接合の半導体装置のイオン打込み工程を示す断面
図である。 １０……シリコン基板、１７……フオトレジス
ト、１９……フオトレジストの除去部分、２０…
…壁面、２１……ｐ型領域。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 フオトレジストを部分的に除去し、この除去し
た部分から不純物が打込まれた半導体装置におい
て、 前記フオトレジストが前記不純物の打込み角度
とほぼ同じ角度の傾斜面をもつて除去されている
ことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952589U JPH0320436U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952589U JPH0320436U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320436U true JPH0320436U (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=31623757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7952589U Pending JPH0320436U (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320436U (ja) |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP7952589U patent/JPH0320436U/ja active Pending