JPH0436649A - 分析電子顕微鏡 - Google Patents
分析電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0436649A JPH0436649A JP2141380A JP14138090A JPH0436649A JP H0436649 A JPH0436649 A JP H0436649A JP 2141380 A JP2141380 A JP 2141380A JP 14138090 A JP14138090 A JP 14138090A JP H0436649 A JPH0436649 A JP H0436649A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- collimator
- movable plate
- electron beam
- magnetic pole
- Prior art date
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、分析電子顕微鏡における、試料のごく近傍に
おいて、正確な試料電流を測定する方法に関する。
おいて、正確な試料電流を測定する方法に関する。
電子顕微鏡において、微小部を観察し、かつその微小部
に存在する元素を知りたいという願望は古くからあり、
そのためにはエネルギー分散形Ｘ線検出器（以後ＥＤＸ
と称す）が用いられている。
に存在する元素を知りたいという願望は古くからあり、
そのためにはエネルギー分散形Ｘ線検出器（以後ＥＤＸ
と称す）が用いられている。
微小部のＸ線分析を行ない、その微小部よりの発生Ｘ線
量等を定量的につかむには、試料電流がいくらであるか
知る必要がある。この試料電流を測定するのに従来は次
の様な方法を用いていた。
量等を定量的につかむには、試料電流がいくらであるか
知る必要がある。この試料電流を測定するのに従来は次
の様な方法を用いていた。
１、試料ホールダによる方法・・・・・・試料部を電気
的に絶縁して、試料に直接当る電流を測定する方法であ
るが、これはサンプルの厚さにより通り抜けてしまう電
子や、反射してしまう電子が多く、正確にはわからない
。又、試料ホールダのサンプルから外れた位置に電流測
定穴を設け、試料ホールダを数画移動して測定する方法
もあるが、これは、実際に像観察して、分析する条件を
動かす必要があり、これも正確さに欠ける。
的に絶縁して、試料に直接当る電流を測定する方法であ
るが、これはサンプルの厚さにより通り抜けてしまう電
子や、反射してしまう電子が多く、正確にはわからない
。又、試料ホールダのサンプルから外れた位置に電流測
定穴を設け、試料ホールダを数画移動して測定する方法
もあるが、これは、実際に像観察して、分析する条件を
動かす必要があり、これも正確さに欠ける。
２、蛍光板又は対物上磁極上方及び下方の広いスペース
にファラデーケージを設ける方法・・・・・・この方法
はその部においては、はとんどの電子を補足できるが、
試料と位置が大幅にずれるため、やはり正確さに欠ける
という欠点を有していた。
にファラデーケージを設ける方法・・・・・・この方法
はその部においては、はとんどの電子を補足できるが、
試料と位置が大幅にずれるため、やはり正確さに欠ける
という欠点を有していた。
上記従来技術は試料電流が測定条件を一定に保つという
点で配慮さ九でおらず、常に安定かつ正確に試料電流が
測定できないという問題があった。
点で配慮さ九でおらず、常に安定かつ正確に試料電流が
測定できないという問題があった。
本発明の目的は、試料を像観察状態のままに保って、試
料直上における電流を測定することにある。
料直上における電流を測定することにある。
上記目的を達成するために、ＥＤＸにおいて必ず必要な
コリメータの底部にコリメータと電気的に接触せしめた
可動板を設けたものである。
コリメータの底部にコリメータと電気的に接触せしめた
可動板を設けたものである。
また、この可動板はコリメータの電子線通過穴を開閉で
きる様に配置し、上記コリメータからの試料電流は外部
に取出し測定可能としたものである。
きる様に配置し、上記コリメータからの試料電流は外部
に取出し測定可能としたものである。
〔作用〕
コリメータは対物レンズ上磁極と電気的に絶縁されてお
り、上記コリメータの電子線通過穴を可動板にて塞ぎ、
この部に電子線を衝突させる。上記軽元素部材よりなる
可動板はコリメータとのみ電気的に接触しており、コリ
メータ全体がファラデーケージの役割を有する。それも
深い穴のファラデーケージとなるため、全電子線を捕捉
することができる。
り、上記コリメータの電子線通過穴を可動板にて塞ぎ、
この部に電子線を衝突させる。上記軽元素部材よりなる
可動板はコリメータとのみ電気的に接触しており、コリ
メータ全体がファラデーケージの役割を有する。それも
深い穴のファラデーケージとなるため、全電子線を捕捉
することができる。
以下、本発明の一実施例を図を用いて説明する。
図において、対物レンズの上磁極１の開口には電気的に
絶縁する絶縁部材２を介して、コリメータ３が設置され
、上記コリメータ３の底部には軽元素部材よりなる可動
板４がコリメータ３と電気的に接触する形で設けられて
いる。可動板４はピストン機構５にて、コリメータ３の
電子線通過穴を開閉できるようになっている。試料６は
対物レンズ上磁極１と下磁極７のほぼ中間部に配置され
ている。コリメータ３の試料６から発生したＸ線を取り
込む孔の上方にはＥＤＸ８が設けられており、試料６に
電子、ｉｉ！９が衝突した時に発生する特性Ｘ線を検呂
澄ることかできる。又、コリメータ３にはリード線１０
が取り付けられており、このリード線１０を介して、試
料電流計１１にて、試料電流が測定できる様になってい
る。上記により、通常の透過電顕像観察及びＸ線分析を
行う時は可動板は電子線通過穴から外れるように作用す
る。電顕像にて微小部の分析位置を決め分析するに必要
十分なスポットサイズに電子線を調整し、Ｘ線分析する
。分析終了後この状態のままで、前記可動板にてコリメ
ータの電子線通過穴を塞ぐことにより、試料電流を測定
する。
絶縁する絶縁部材２を介して、コリメータ３が設置され
、上記コリメータ３の底部には軽元素部材よりなる可動
板４がコリメータ３と電気的に接触する形で設けられて
いる。可動板４はピストン機構５にて、コリメータ３の
電子線通過穴を開閉できるようになっている。試料６は
対物レンズ上磁極１と下磁極７のほぼ中間部に配置され
ている。コリメータ３の試料６から発生したＸ線を取り
込む孔の上方にはＥＤＸ８が設けられており、試料６に
電子、ｉｉ！９が衝突した時に発生する特性Ｘ線を検呂
澄ることかできる。又、コリメータ３にはリード線１０
が取り付けられており、このリード線１０を介して、試
料電流計１１にて、試料電流が測定できる様になってい
る。上記により、通常の透過電顕像観察及びＸ線分析を
行う時は可動板は電子線通過穴から外れるように作用す
る。電顕像にて微小部の分析位置を決め分析するに必要
十分なスポットサイズに電子線を調整し、Ｘ線分析する
。分析終了後この状態のままで、前記可動板にてコリメ
ータの電子線通過穴を塞ぐことにより、試料電流を測定
する。
コリメータの穴は通常１〜１．５ｍ＋径と細く長さも１
０ｍ以上である。このコリメータ大の底部を塞ぐことに
より、１〜１．５ｍ＋径で深さが１０画の試料電流を測
定するのに理想的なファラデーケージとすることができ
る。
０ｍ以上である。このコリメータ大の底部を塞ぐことに
より、１〜１．５ｍ＋径で深さが１０画の試料電流を測
定するのに理想的なファラデーケージとすることができ
る。
本発明によれば、試料直上の可動板の設けられたコリメ
ータにより、試料電流が測定できるので、元素の分析し
た条件を変えることなく、常に安定かっ、正確な試料電
流をつかむことができ、その効果は顕著である。
ータにより、試料電流が測定できるので、元素の分析し
た条件を変えることなく、常に安定かっ、正確な試料電
流をつかむことができ、その効果は顕著である。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。
Claims (1)
- １、電子線の試料への照射によつて試料より発生する特
性Ｘ線を検出するため、対物レンズ上磁極の上に配置さ
れたＸ線検出器と、該上磁極の開口に挿入されて配置さ
れ試料から該Ｘ線検出器を見込む孔を有するコリメータ
とを備えた装置において、該対物レンズ上磁極とコリメ
ータ間に絶縁部材を介し、かつコリメータ下面にコリメ
ータを電気的に接触して電子線通路穴の開閉する軽元素
部材からなる可動板を有し、上記コリメータよりの試料
電流が取り出せることを特徴とする分析電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2141380A JPH0436649A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 分析電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2141380A JPH0436649A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 分析電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436649A true JPH0436649A (ja) | 1992-02-06 |
Family
ID=15290652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2141380A Pending JPH0436649A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 分析電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436649A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024533929A (ja) * | 2022-06-29 | 2024-09-18 | デロング インストゥルメンツ エー．エス． | マルチモード低電圧電子顕微鏡 |
-
1990
- 1990-06-01 JP JP2141380A patent/JPH0436649A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024533929A (ja) * | 2022-06-29 | 2024-09-18 | デロング インストゥルメンツ エー．エス． | マルチモード低電圧電子顕微鏡 |
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