JPH04367076A - Ｌｓｉレイアウト設計装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩレイアウト設計装
置、特に、レイアウト記述言語を用いてマスクパターン
の設計を行うＬＳＩレイアウト設計装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩの集積度は年々高まってきており
、このＬＳＩのマスクパターンも益々微細化する傾向に
ある。このため、従来は手作業で行っていたマスクパタ
ーンのレイアウト設計も、最近ではＣＡＤ装置を用いて
自動化、あるいは半自動化されるに至っており、パター
ンの修正などの処理が比較的容易に行えるようになって
いる。特に、最近では、ＣＡＤ装置によって個々の図形
パターンを入力してゆく手法に代わって、レイアウト記
述言語を用いてマスクパターンの設計を行う手法が注目
を集めている。この手法によれば、設計者は、図形パタ
ーンそのものを入力するのではなく、レイアウト記述言
語によって表現される命令をプログラムの形で入力する
ことになる。入力したプログラムは、いわゆるコンパイ
ラによって、実際の図形パターンのデータに変換される
。このようなレイアウト記述言語を用いると、入力作業
が非常に効率的になり、また、修正も容易に行うことが
できるようになる。たとえば、線幅や図形間隔、図形の
相対位置の変更、といった作業は、作成したプログラム
の変数などを変更することによって容易に行うことがで
きる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たレイアウト記述言語を用いたＬＳＩレイアウト設計装
置では、作成したマスクパターンを図形の状態で確認す
る作業が困難であるという問題がある。前述のように、
設計者は、実際の図形パターンそのものを入力するので
はなく、文字や記号の羅列からなるプログラムの形で入
力を行ってゆく。このため、設計者が設計したマスクパ
ターンを図形の状態で確認したい場合には、こうして入
力したプログラムをコンパイルして実際の図形パターン
のデータに変換し、これをディスプレイに表示させる必
要がある。したがって、通常は、プログラムの形での入
力作業が終了した後にコンパイルを行い、作業結果を図
形の状態で確認している。入力作業の途中でこのような
確認を行いたい場合には、一度入力作業を中断し、コン
パイルを行う必要がある。このように、作成したマスク
パターンを図形の状態で確認することが困難であると、
レイアウトのミスを発見し、これを修正するという作業
をスムーズに行うことができない。また、マスクパター
ンを構成する図形間のデザインルールの検証を行うため
には、プログラムの作成作業を一時中断し、ルールチェ
ッカーを起動して検証作業を行う必要があり、操作性が
悪いという問題もある。

【０００４】そこで本発明は、レイアウト記述言語を用
いた設計を行いながら、作成したマスクパターンを図形
の状態で容易に確認することができ、しかも、同時にデ
ザインルールの検証を行うことが可能なＬＳＩレイアウ
ト設計装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明はＬＳＩレイアウ
ト設計装置において、所定のレイアウト記述言語によっ
て表現された命令を入力する入力装置と、入力された命
令の集合から構成されるプログラムを保持するプログラ
ムファイルと、所定のパラメータテーブルを参照しなが
ら、与えられた命令に基づいて図形パターンを生成する
図形パターン生成装置と、生成した図形パターンの集合
から構成されるマスクパターンを保持するパターンファ
イルと、入力装置によって一単位の命令が入力されたと
き、この命令に基づいてプログラムファイル内のプログ
ラムを更改するとともに、この命令を図形パターン生成
装置に与えて図形パターンを発生させ、この発生させた
図形パターンに基づいてパターンファイル内のマスクパ
ターンが更改されるような処理を行う単位命令処理装置
と、図形パターン生成装置が生成した図形パターンと、
パターンファイル内に保持されているマスクパターンと
、の間のデザインルールを、パラメータテーブルを参照
して検証し、その結果としてエラーが生じた場合には、
生成した図形パターンにエラーを示す表示を付加するデ
ザインルール検証装置と、プログラムを表示するための
プログラム表示部と、マスクパターンを表示するための
パターン表示部と、を有するディスプレイ装置と、プロ
グラムファイル内のプログラムの全部または一部を、プ
ログラム表示部に表示させるプログラム表示装置と、パ
ターンファイル内のマスクパターンの全部または一部を
、パターン表示部に表示させるパターン表示装置と、を
設けたものである。

【０００６】

【作　　用】本発明によるＬＳＩレイアウト設計装置に
よれば、入力装置から一単位の命令が入力されると、そ
の都度、この命令に基づいてプログラムファイル内のプ
ログラムが更改されるとともに、この命令は図形パター
ン生成装置に与えられる。図形パターン生成装置は、こ
の命令に基づいて図形パターンを発生させ、パターンフ
ァイル内のマスクパターンを更改する。したがって、設
計者が、ある一単位の命令を入力すると、この命令は即
座にプログラムの一部として取り込まれるとともに、こ
の命令に対応する図形パターンが即座に生成されてディ
スプレイ装置に表示される。別言すれば、設計者が一単
位の命令を入力するごとに、この命令はコンパイルされ
、即座に図形パターンのデータが生成されることになる
。 ディスプレイ装置には、プログラム表示部とパターン表
示部とが用意されている。設計者はプログラム表示部を
見ながら、プログラムの入力作業を行ってゆくが、これ
に対応したマスクパターンがパターン表示部に逐次表示
されることになる。こうして、設計者は、現在作成して
いるパターンを図形の状態で容易に確認することができ
る。また、図形パターン生成装置が発生した図形パター
ンは、その都度、デザインルール検証装置によって検証
され、エラーが生じていた場合には、このエラーを示す
表示が付加されるので、設計者はパターン表示部を見な
がら、エラーが生じたことを確認することができるので
、即座にプログラムの修正を行うことができる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明を図示する実施例に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例に係るＬＳＩレイアウ
ト設計装置の基本構成を示すブロック図である。ここに
示す各構成要素のうち、図の一点鎖線で囲った領域内の
要素は実際にはコンピュータ１００によって実現される
。したがって、この装置は、コンピュータ１００に入力
装置１０およびディスプレイ装置６０を接続することに
より構成される。

【０００８】入力装置１０は、キーボードやマウスなど
により構成され、設計者はこの入力装置１０を用い、所
定のレイアウト記述言語によって表現される命令を入力
する。命令は、一単位ごとに入力され、複数単位の命令
の集合によってプログラムが構成される。この実施例で
は、一単位の命令は改行マークによって区切られる。入
力装置１０から一単位の命令が入力されると、単位命令
処理装置２０は、この命令を図形パターン生成装置３０
に与えるとともに、プログラムファイル４０内に保存す
る。プログラムファイル４０は、こうして入力された一
群の命令をプログラムとして保持する。一方、図形パタ
ーン生成装置３０は、パラメータテーブル３１の内容を
参照しながら、与えられた命令に基づいて図形パターン
を生成する。パラメータテーブル３１は、たとえば、使
用する層を特定する情報、配線の幅やコンタクトホール
の形状を特定する情報、図形間のデザインルールや図形
間隔を示す情報、などをパラメータとしてもつテーブル
であり、その内容は設計者によって予め与えられている
。図形パターン生成装置３０は、このパラメータテーブ
ル３１を参照して、与えられた命令を図形パターンのデ
ータに展開するコンパイラの機能を果たすことになる。 こうして生成された図形パターンは、パターンファイル
５０内に保存される。パターンファイル５０内に保存さ
れた複数の図形パターンによりマスクパターンが形成さ
れることになる。

【０００９】図形パターン生成装置３０が、一単位の命
令に基づいて生成した図形パターンは、デザインルール
検証装置３２によって検証される。すなわち、図形パタ
ーン生成装置３０が生成した図形パターンと、パターン
ファイル５０内に保持されていたマスクパターンと、の
間のデザインルールが、デザインルール検証装置３２に
よって検証されることになる。たとえば、パターンファ
イル５０内に、３つの図形パターンＡ，Ｂ，Ｃが保存さ
れている状態で、図形パターン生成装置３０によって新
たな図形パターンＤが生成された場合には、デザインル
ール検証装置３２は、図形パターンＡとＤ、ＢとＤ、Ｃ
とＤ、のそれぞれの関係が、パラメータテーブル３１内
に用意されたデザインルールに適合するか否かを検証す
る。そして、この検証の結果としてエラーが生じた場合
には、生成した図形パターンＤにエラーを示す表示を付
加する。

【００１０】こうして、設計者が入力装置１０によって
、１単位の命令を入力するごとに、プログラムファイル
４０内のプログラムは更改され、同時にパターンファイ
ル５０内のマスクパターンも更改される。たとえば、入
力した命令が新規の命令であれば、プログラムファイル
４０内のプログラムにこの命令が追加され、パターンフ
ァイル５０内のマスクパターンにこの命令に対応した図
形パターンが追加される。また、入力した命令が過去に
入力した命令を修正する命令であれば、プログラムファ
イル４０内のプログラム内の対応する命令が修正され、
パターンファイル５０内のマスクパターン内の対応する
図形パターンが修正される。

【００１１】ディスプレイ装置６０には、プログラム表
示部６１とパターン表示部６２との２つの領域が設けら
れている。そして、プログラムファイル４０内のプログ
ラムの全部または一部は、プログラム表示装置４１によ
ってプログラム表示部６１に表示され、パターンファイ
ル５０内のマスクパターンの全部または一部は、パター
ン表示装置５１によってパターン表示部６２に表示され
る。通常は、プログラムファイル４０内の全プログラム
はプログラム表示部６１に表示しきれないほど長いもの
になるため、プログラム表示装置４１は、この一部をス
クロールさせながらプログラム表示部６１に表示する。 また、パターンファイル５０内の全マスクパターンはパ
ターン表示部６２に表示しきれないほど大きなものにな
るため、パターン表示装置５１は、この一部をパターン
表示部６２に表示する。設計者は、プログラム表示装置
４１あるいはパターン表示装置５１に指示を与えること
により、所望の一部分をプログラム表示部６１あるいは
パターン表示部６２に表示させることができる。

【００１２】以上が、本実施例の装置の基本構成である
。この装置の特徴は、設計者が入力装置１０から１単位
の命令を入力するごとに、この命令が図形パターン生成
装置３０によってコンパイルされ、対応する図形パター
ンが生成され、これについてデザインルールの検証が行
われる点にある。プログラム表示装置４１およびパター
ン表示装置５１の働きにより、設計者の入力した命令自
身は、プログラム表示部６１に表示され、この命令に対
応した図形パターンはパターン表示部６２に表示される
。したがって、設計者が複数の命令を順次入力してプロ
グラムを作成してゆけば、入力した命令はプログラム表
示部６１に順次表示されてゆき（前述のように、表示画
面からオーバーフローする場合は、順次スクロールして
表示される）、今までに作成したプログラム全体をディ
スプレイ装置６０上で確認することができる。しかも、
パターン表示部６２には、命令を入力するごとに、順次
これに対応した図形パターンが重ねて表示されてゆく。 このため、設計者は、プログラムの作成中に、実際のマ
スクパターンを逐次確認することが可能になる。また、
設計者が、既に入力した命令から構成されるプログラム
の一部を修正する入力を行うと、パターン表示部６２に
表示されたマスクパターンの中の対応する図形パターン
も直ちに修正される。このため、設計者は、プログラム
の修正処理の結果を直ちに確認することも可能である。 また、デザインルール検証の結果、エラーが生じた場合
には、このエラーを示す表示がパターン表示部６２に得
られるので、設計者は直ちにエラーの発生を認識するこ
とができ、即座にプログラムを修正するなどして対処す
ることができる。

【００１３】以下、具体例を示しながら、この装置の動
作をより詳細に説明する。いま、図２に示すように、デ
ィスプレイ装置６０の右側にプログラム表示部６１が、
左側にパターン表示部６２が、それぞれ形成されている
ものとする。ここで、設計者が、入力装置１０としてキ
ーボードを使って、図に示すような命令７０を入力した
ものとする。この命令７０は、所定のレイアウト記述言
語に基づく命令であり、最後に改行マーク（実際の画面
上には表示されない）によって区切られた１単位の命令
を構成している。このような１単位の命令が入力される
と、単位命令処理装置２０は、この命令７０をプログラ
ムファイル４０内にプログラムとして保存する。同時に
、図形パターン生成装置３０は、パラメータテーブル３
１を参照しながら、この命令７０に対応する図形パター
ンを生成し、これをパターンファイル５０内に保存する
。この例では、図２に示すような２つの矩形７１，７２
からなる図形パターンが作成されることになる。このと
き、新たに作成された図形パターンについては、デザイ
ンルール検証装置３２による検証が行われる。結局、設
計者が、プログラム表示部６１を見ながら命令７０を入
力してゆき最後に改行マークを入力すると、パターン表
示部６２に直ちに図形７１，７２が表示されることにな
る。こうして、設計者は、いま入力したばかりの命令を
、図形パターンの形式で直ちに確認することができる。

【００１４】参考までに、命令７０の意味を簡単に説明
しておく。まず、行頭の「ＴＮ」なる文字列は、この命
令が、Ｎ型のトランジスタに関する図形パターンを作成
する命令であることを示す。続く「ｎｔｒａｎ」なる文
字列は、作成されるＮ型のトランジスタに与える素子名
を示す。続く「Ｒ２７０」なる文字列は、割り付け角度
を示すものであり、この例では、２７０°の角度で割り
付けを行うことを示している。次の「Ｗ＝ＮＷ」なる文
字列は、パターン表示部６２内に示す寸法Ｗの値を規定
する部分であり、この寸法Ｗを所定の寸法ＮＷに設定す
ることを示している。同様に、「Ｌ＝ＰＬ０」なる文字
列は、パターン表示部６２内に示す寸法Ｌの値を規定す
る部分であり、この寸法Ｌを所定の寸法ＰＬ０に設定す
ることを示している。最後の「ＡＴ（ｘ，ｙ）」なる文
字列は、このトランジスタの割り付け位置を示しており
、所定の座標値（ｘ，ｙ）の位置に割り付けを行うこと
を示している。こうして、命令７０をコンパイルした結
果、図形７１（具体的には不純物拡散層）および図形７
２（具体的にはポリシリコン層）が生成される。なお、
図における図形７１の横幅Ｋや、前述の寸法ＮＷ，ＰＬ
０の具体的な値は、パラメータテーブル３１内に予め定
義されている。

【００１５】ここで、図２に示す命令７０が、誤りであ
った場合を考える。たとえば、本来は、「Ｌ＝ＰＬ１」
と設定すべきところ、「Ｌ＝ＰＬ０」と設定してしまっ
た場合を考える。このような誤りは、プログラム上では
、たったの１文字の違いであるため、見過ごしやすい。 ところが本発明の装置では、命令７０を入力すると直ち
に、これに対応した図形パターン７１，７２がパターン
表示部６２上に表示される。この表示を見て、設計者は
命令７０に誤りがあったことに気付くことができる。す
なわち、図形パターン７２の横幅が細すぎるという認識
が視覚的に容易になされるため、設計者はどこかに誤り
があることを認識できるのである。このように、プログ
ラムの入力中に、これに対応する図形パターンを確認で
きるので、入力ミスを直ちに発見できるようになる点が
本発明の特徴のひとつである。

【００１６】そして、本発明の別な特徴は、このような
入力ミスの修正を直ちに行うことができ、その結果を、
図形パターンの形で直ちに確認できることである。上述
の例では、図２の命令７０の代わりに、図３の命令７０
ａを入力することによって、修正を行うことができる。 入力装置１０に、スクリーンエディタの機能をもたせて
おけば、この修正作業は、カーソルをプログラム表示部
６１の画面上の「Ｌ＝ＰＬ０」なる文字列の文字「０」
の上まで移動させ、これを文字「１」に修正する入力を
行うだけですむ。このような修正入力がなされると、単
位命令処理装置２０は、プログラムファイル４０内のプ
ログラムの命令７０を命令７０ａに修正する作業を行う
。同時に、命令７０ａが図形パターン生成装置３０に与
えられ、新たな矩形７１ａ，７２ａからなる図形パター
ンが生成される。そして、パターンファイル５０内の図
形パターン７１，７２は、新たな図形パターン７１ａ，
７２ａに置き換えられることになる。この結果、パター
ン表示部６２には、図３に示すように、図形パターン７
１ａ，７２ａが表示される。ここで、図形パターン７２
ａの横幅Ｌは、ＰＬ１に修正されている。この表示を見
て、設計者は正しい修正作業が行われたことを確認する
ことができる。

【００１７】もうひとつ、別な具体例を示そう。いま、
ディスプレイ装置６０に、図４に示すような表示がなさ
れているものとする。ここで、プログラム表示部６１に
表示されているプログラム８０によって、パターン表示
部６２に表示されている図形パターン８１，８２（具体
的には不純物拡散層）と、図形パターン８３，８４（具
体的にはコンタクトホール：この例では、それぞれＣ４
，Ｃ５なる名称がつけられている）が生成されたものと
する。この状態で、設計者が、図５のプログラム表示部
６１に示されているような新たな命令８５を入力した場
合を考える。この命令において、「ＷＩＲＥ」なる文字
列および「Ｃ４，Ｃ５」なるコンタクトホール名は、２
つのコンタクトホールＣ４，Ｃ５を接続する配線層の図
形パターンを生成する旨の命令を示し、「ＶＥＲ」なる
文字列は、この配線層が垂直方向に生成される旨を示す
。このような命令８５が入力されると、プログラムファ
イル内で、この命令８５がプログラム８０に付加される
。同時に、図形パターン生成装置３０は、この命令８５
に対応した図形パターン８６を生成し、これがパターン
ファイル５０内のマスクパターンに付加される。こうし
て、パターン表示部６２には、図のような図形パターン
８６が表示される。設計者は、命令８５が正しい命令で
あったことを直ちに確認することができる。

【００１８】続いて、デザインルール検証装置３２の動
作を説明するための例を示そう。前述のように、デザイ
ンルール検証装置３２は、図形パターン生成装置３０が
生成した図形パターンと、パターンファイル５０内に保
持されていたマスクパターンと、の間のデザインルール
を検証する。たとえば、パターンファイル５０内に、３
つの図形パターンＡ，Ｂ，Ｃが保存されている状態で、
図形パターン生成装置３０によって新たな図形パターン
Ｄが生成された場合には、デザインルール検証装置３２
は、図形パターンＡとＤ、ＢとＤ、ＣとＤ、のそれぞれ
の関係が、パラメータテーブル３１内に用意されたデザ
インルールに適合するか否かを検証する。もっとも、必
ずしもこれらすべての組み合わせについての検証を行う
必要はない。たとえば、アルミニウム配線層同士とか、
アルミニウム配線層とコンタクトホールとか、予め検証
が必要な組み合わせを定義しておき、この定義された組
み合わせについてのみ検証を行うようにすれば効率的で
ある。こうして、検証の結果としてエラーが生じた場合
には、生成した図形パターンＤにエラーを示す表示を付
加する。

【００１９】このデザインルール検証装置３２の動作を
、検証によりエラーが生じるような具体例に即して、よ
り詳しく説明しよう。いま、図６に示すように、パター
ン表示部６２に、アルミニウム配線層の図形パターン９
０が表示されている状態を考える。この場合、当然、パ
ターンファイル５０内には、図形パターン９０が保存さ
れていることになる。この状態で、図７に示すように、
プログラム表示部６１に単位命令９１を入力したものと
する。この命令９１は、コンタクトホールＣ６を、座標
値（ｘ１，ｙ１）の位置に割り付けることを示している
。この結果、図形パターン生成装置３０により、図形パ
ターン９２が生成され、パターン表示部６２の表示は、
図７に示すようになる。ただし、このような表示がなさ
れる前に、新たに生成された図形パターン９２について
、デザインルールの検証が行われる。すなわち、デザイ
ンルール検証装置３２は、新たに生成された図形パター
ン９２と、パターンファイル５０内の各図形パターン（
この例の場合は、図形パターン９０のみ）との関係が、
パラメータテーブル３１内のデザインルールに適合して
いるか否かを判断する。ここで、図７に示すように、図
形パターン９０の下辺ａと図形パターン９２の上辺ｂと
の間隔ｄが、デザインルールで定められた間隔よりも小
さかった場合は、検証結果としてエラーが生じることに
なる。このように、エラーが生じた場合には、新たに生
成した図形パターン９２にエラーを示す表示が付加され
る。この実施例では、図８に示すように、エラーを示す
表示として、エラー発生箇所の近辺にエラーマーク９３
を付加するとともに、エラーの対象となった辺ａ，ｂの
近傍にハッチングを施すようにしている。別言すれば、
デザインルール検証装置３２は、エラーが発生していた
場合、エラーマーク９３とハッチング表示とを、パター
ンファイル５０に追加する処理を行うことになる。した
がって、命令９１を入力した場合のパターン表示部６２
の表示は、実際には図７ではなく図８のようになる。

【００２０】このように、命令９１を入力して図形パタ
ーン９２を発生させると、パターン表示部６２にエラー
マーク９３が表示され、辺ａ，ｂにハッチングが施され
るので、設計者は、デザインルール違反があったことを
直ちに認識できる。そこで、図９に示すように、命令９
１を命令９４に修正し、コンタクトホールＣ６の割り付
け位置を座標値（ｘ２，ｙ２）に修正すると、図形パタ
ーン９２は図形パターン９５に修正される。修正された
図形パターン９５は、デザインルールに適合しているた
め、エラーマーク９３は消失する。

【００２１】以上、本発明を図示する実施例に基づいて
説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものでは
なく、この他にも種々の態様で実施可能である。特に、
上述の実施例において用いたレイアウト記述言語は、簡
単な一例として例示したものであり、これ以外のレイア
ウト記述言語を用いてもかまわない。

【００２２】

【発明の効果】以上のとおり本発明によるＬＳＩレイア
ウト設計装置によれば、ディスプレイ装置上にプログラ
ム表示部とパターン表示部とを設け、プログラム表示部
を見ながら１単位の命令を入力すると、これに対応する
図形パターンがパターン表示部に直ちに表示され、かつ
、デザインルールの検証結果が表示されるようにしたた
め、作成したマスクパターンを図形の状態で容易に確認
することができ、同時にデザインルールの検証を行うこ
とが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るＬＳＩレイアウト設計
装置の基本構成を示すブロック図である。

【図２】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、単位命令処理後の状態が示さ
れている。

【図３】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、単位命令を修正した状態が示
されている。

【図４】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、コンタクトホールを形成した
状態が示されている。

【図５】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、コンタクトホール間に配線層
を形成した状態が示されている。

【図６】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、配線層を形成した状態が示さ
れている。

【図７】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、配線層に近接してコンタクト
ホールを形成した状態が示されている。

【図８】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、デザインルールエラーの発生
状態が示されている。

【図９】図１に示す装置におけるディスプレイ装置の表
示画面例を示す図であり、エラー修正を行った状態が示
されている。

【符号の説明】

１０…入力装置 ２０…単位命令処理装置 ３０…図形パターン生成装置 ３１…パラメータテーブル ３２…デザインルール検証装置 ４０…プログラムファイル ４１…プログラム表示装置 ５０…パターンファイル ５１…パターン表示装置 ６０…ディスプレイ装置 ６１…プログラム表示部 ６２…パターン表示部 ７０，７０ａ…１単位の命令 ７１，７１ａ，７２，７２ａ…図形パターン８０…プロ
グラム ８１〜８４…図形パターン ８５…１単位の命令 ８６…図形パターン ９０…図形パターン ９１…１単位の命令 ９２…図形パターン ９３…エラーマーク ９４…１単位の命令 ９５…図形パターン １００…コンピュータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　所定のレイアウト記述言語によって表
   現された命令を入力する入力装置と、前記命令の集合か
   らなるプログラムを保持するプログラムファイルと、所
   定のパラメータテーブルを参照しながら、前記命令に基
   づいて図形パターンを生成する図形パターン生成装置と
   、生成した図形パターンの集合からなるマスクパターン
   を保持するパターンファイルと、前記入力装置によって
   一単位の命令が入力されたとき、この命令に基づいて前
   記プログラムファイル内のプログラムを更改するととも
   に、この命令を前記図形パターン生成装置に与えて図形
   パターンを発生させ、この発生させた図形パターンに基
   づいて前記パターンファイル内のマスクパターンが更改
   されるような処理を行う単位命令処理装置と、前記図形
   パターン生成装置が生成した図形パターンと、前記パタ
   ーンファイル内に保持されているマスクパターンと、の
   間のデザインルールを、前記パラメータテーブルを参照
   して検証し、その結果としてエラーが生じた場合には、
   生成した図形パターンにエラーを示す表示を付加するデ
   ザインルール検証装置と、プログラムを表示するための
   プログラム表示部と、マスクパターンを表示するための
   パターン表示部と、を有するディスプレイ装置と、前記
   プログラムファイル内のプログラムの全部または一部を
   、前記プログラム表示部に表示させるプログラム表示装
   置と、前記パターンファイル内のマスクパターンの全部
   または一部を、前記パターン表示部に表示させるパター
   ン表示装置と、を備えることを特徴とするＬＳＩレイア
   ウト設計装置。