JPH0437151A - 基板収納ケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 レチクル、フォトマスク等の基板を収納する基板収納ケ
ースに関し、 収納した基板を確りと固定し、基板の移動や振動を防止
することのできる基板収納ケースの提供を目的とし、 基板を出し入れする出入口を有する低背型の容器と、容
器内で基板を水平に支持する支持手段と、容器内で該容
器に回動自在に連結するとともに弾性部材に連結し、弾
性部材により付勢されて基板を支持手段に押圧して固定
するフックと、容器に回動自在に連結し、出入口の開通
と閉塞とを自在に行う開閉扉と、一端をフックに連結、
他端を開閉扉に連結し、開閉扉を回動して出入口を開通
する際にフックを回動して基板の支持手段への押圧を解
除するフック回動手段を含んで構成した基板収納ケース
において、 フックの回動を止めることのできるロック手段を設けて
基板収納ケースを構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、基板収納ケース、特に収納した基板を確りと
画定し、基板の移動や振動を防止することのできる基板
収納ケースに関する。

レチクル、フォトマスク等（以下、基板と総称）の遠隔
地への輸送は、浮遊塵の付着を防止できる基板収納ケー
スが広く使用されている。

〔従来の技術〕 次に、従来の基板収納ケースについて図面を参照しなが
ら説明する。

第２図は、従来の基板収納ケースを説明するための図で
、同図（ａ）は出入口を開放した状態の模式的側断面図
、同図（ｂ）は出入口を閉塞した状態の模式的側断面図
、同図（ｃ）は出入口を閉塞した状態の模式的平面図で
ある。

尚、同し部品・材料に対しては全図を通して同じ記号を
付与しである。

すなわち、従来の基板収納ケースは第２図に示すように
、 低背、且つ中空の直方体の箱、例えばテフロン製の箱の
一つの側面だけを開口するが如く形成した出入口１１ａ
を存し、出入口１１ａから基板１０の出し入れが行われ
る容器１１と、 容器１１内で当該容器１１の底に、例えば、テフロン製
の二本の棒材を出入口１１ａに対して垂直、且つ互いに
離隔且つ平行にして固定するが如く形成され、基板１０
を容器１１内に出し入れする際に基板１０をガイドする
とともに基板１０を水平に支持して保持する支持手段１
２と、 容器１１の内側壁に垂直に固定されて当該容器１１内に
突出した回動軸１４ａに回動自在に連結、且つ容器１１
の内側壁に一端を連結した弾性部材、例えばスプリング
バネ１３の他端に連結し、この弾性部材１３により矢印
Ａ方向に付勢されて、支持手段１２により水平に支持さ
れた基板１０を当該支持手段１２に押圧して固定するフ
ック１４と、 容器Ｉｆの出入口１１ａの上端面に沿って取りつけた蝶
番１．５ａに連結し、Ｂ−Ｂ’力方向回動されて出入口
１１ａの開通と閉塞とを自在に行う平板状の開閉扉１５
と、 一端をフック１４のスプリングバネ１３を連結した箇所
若しくはその近傍に連結、且っ他端を開閉扉１５の内側
面に連結し、開閉扉１５を矢印Ｂ方向に回動して出入口
１１ａを開通する際に、フック１４を矢印Ｃ方向に回動
して当該フック１４による基板１０の支持手段１２への
押圧を解除し、また開閉扉１５を矢印Ｂ“に回動して出
入口１１ａを当該開閉扉１５で閉塞する際に、フック１
４をスプリングバネ１３の付勢力により矢印Ｃ°力方向
回動して当該フック１４による基板１０の支持手段１２
への押圧回復させるフック回動手段、例えばスプリング
ハネ１６を含んで構成したものである。

かかる構成した基板収納ケースへの基板の収納は、同図
（ａ）に示すように、まず開閉８１５とを矢印Ｂ方向に
回動して容器１１の出入口１．１ａを開通するとともに
、フック１４を矢印Ｃ方向に回動して、フック１４の下
端と支持手段１２の上端間を基板１０の厚さ以上の間隔
にする。

次いで、基板１０を出入口１１ａから矢印り方向に挿入
し、基板１０を支持台１２に支持させる。

この後、開閉扉１５とを矢印Ｂ゛方向回動し、容器１１
の出入口１１ａを開閉扉１５で閉塞するとともに、スプ
リングハネ１６のＥ方向への付勢力を弱めてフック１４
をスプリングハネ１３の矢印六方向の付勢力により矢印
Ｃ“方向に回動させる。

斯くして、支持手段１２に水平に保持された基板１０は
、スプリングバネ１３で付勢されたフック１４により、
支持台１２に押圧されて固定されて、容器１１内に収納
されることとなる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来の基板収納ケースは、第２図に示すよう
に基板１０を単にスプリングバネ１３に付勢されたフッ
ク１４で支持台１２に押圧して固定するだけであった。

このために、基板収納ケースに収容した基板１０を遠隔
地に輸送する際に、強い振動や衝撃が基板１０に加わる
と基板１０は、スプリングバネ１３の付勢力に逆らって
基板収納ケース内で動いたり振動して、基板収納ケース
と擦り合う。

かかる基板１０と基板収納ケースとの擦り合いにより、
基板や基板収納ケースそのものを発生源とする微粉末が
基板収納ケース内で発生し、基板や基板収納ケースに付
着することとなる。

従って、かかる微粉末が付着した基板、例えばレチクル
そのまま半導体ウェーハに被着したレジストの露光に使
用すると、この微粉末が半導体ウェーハのレジストに転
写されて、パターン不良により半導体ウェーハを破棄し
なければならない等の問題があった。

本発明は、このような問題を解決するためになされたも
ので、その目的は収納したレチクル、フォトマスク等の
基板を確りと固定し、基板の移動や振動を防止すること
のできる基板収納ケースを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的は第１図に示す如く、基板１０を出し入れする
出入口１１ａを有する低背型の容器１１と、容器１１内
で基板１０を水平に支持する支持手段１２と、 容器１１内で該容器１１に一端部を回動自在に連結する
とともに他端部を、容器１１内に配設した弾性部材１３
に連結し、弾性部材１３により付勢されて基板１０を支
持手段１２に押圧するフック１４と、容器１１に一端部
を回動自在に連結し、容器１１の出入口１１ａの開通と
閉塞とを自在に行う開閉扉１５と、 一端をフック１４に連結するとともに他端を開閉扉１５
に連結し、開閉扉１５を回動して出入口１１ａを開通す
る際にフック１４を回動して該フック１４と基板１０と
の接触を解除し、開閉８１５で出入口１１ａを閉塞する
際にフック１４を前記回動方向と逆方向に回動して該フ
ック１４と基板１０との接触を回復させるフック回動手
段１６を含んで構成した基板収納ケースにおいて、 フック１４の回動を止めることのできるロック手段１７
を設けたことを特徴とする基板収納ケースによって達成
される。

〔作　用〕

本発明の基板収納ケースには、フック１４の回動を止め
ることのできるロック手段１７が設けられている。

このため、基板収納ケースに収納されて、弾性部材１３
にまり付勢、且つロック手段１７により回動を止められ
たフック１４で支持手段１２に押圧されて固定された基
板１０に輸送時に強い振動や衝撃が基板１０に加わって
も、基板１０は、基板収納ケース内で動いたり、また振
動したりすることはない。

従って、基板１０と基板収納ケースとの擦り合うことも
な（なるから、基板や基板収納ケースそのものを発生源
とする微粉末が基板収納ケース内で発生することもなく
なる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
。

第１図は、本発明の一実施例の基板収納ケースを説明す
るための図で、同図（ａ）は出入口を開放した状態の模
式的側断面図、同図（ｂ）は出入口を閉塞した状態の模
式的側断面図、同図（ｃ）はフックを固定した状態の模
式的側断面図、同図（ｄ）はフックを固定した状態の要
部の模式的拡大平面図である。

即ち、本発明の一実施例の基板収納ケースは、第２図で
説明した従来の基板収納ケースに、当該基板収納ケース
の出入口１１ａの両側の側板に当該側板を貫通、且つ互
いに対向させて設けたねじ孔１７ａと、先端部がテーパ
状をしてねじ孔１７ａに螺合する二つのねじ１７ｂから
なるロック手段１７を追加したものである。

かかるロック手段１７により、スプリングバネ１３に付
勢されて基板１０を支持金工２に押圧して固定している
フック１４０回動を止めるには、ねし１７ｂをねじ孔１
７ａに挿入し、そしてねじ１７ｂを回動してテーバ状の
先端部の外周面をフック１４の上端面に強く接触させる
。

この結果、フック１４は、第１図の（ｃ）図に示すよう
にロック手段１７により固定されて、矢印Ｃ方向にも、
また矢印Ｃ°力方向も全く回動できない状態となる。

従って、このような状態で基板を輸送すれば、輸送中に
強い振動や衝撃が基板収納ケースと基板に加わっても、
基板は基板収納ケース内で動いたり、また振動したりす
ることはない。

斯くして、輸送中に基板と基板収納ケースとの擦り合う
こともなくなるから、基板や基板収納ケースそのものを
発生源とする微粉末が基板収納ケース内で発生すること
もなくなる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば、収納し
たレチクル、フォトマスク等の基板を確りと固定し、基
板の移動や振動を防止する基板収納ケースを提供するこ
とができる。

従って、レチクル、フォトマスク等の基板を遠隔地に運
搬する際に、本発明の基板収納ケースに収納して運搬す
ることにより、運ｓ後におしＡでもその品質を運搬前と
同しように保持することができることとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の基板収納ケースを説明す
るための図、 第２図は、従来の基板収納ケースを説明するための図で
ある。 図において、 １０は基板、 １１は容器、 １１ａは出入口、 １２は支持手段（支持台）、 １３は弾性部材（スプリングハネ）、 １４はフ、り、 １４ａは回動軸、 １５は開閉扉、 １５ａ　は蝶番、 １６はフック回動手段（スプリングバネ）、１７はロッ
ク手段、 １７ａはねじ孔、 １７ｂはねじをそれぞれ示す。 ＜１）＋　士人ｏｅＦｒ’ｌｆ　Ｌ　ｔ−Ｋｔ’ｊＬｔ
＋＃式ｏ；Ｖ・Ｊ＃す”１ａ１７ｂＩＩ２１゜ （Ｃ１７−＋　７　ｅ　固Ｉう？　Ｌ　Ｆ、ｎ’Ｆ、　
の隷Ｅｇ？（ｆｆｔ’午ＩＭＩ＋ｄ己、７ｔｅＩＩＩ芝
（丘衣シ津秤の隷式自ｊＪ羞に平曲ω＄４とＯｎ−一大
′（４）１伊５伊収ネｑγ−スｔｔ　ｇｉ　ａ１４有ｒ
・めη図＠＋図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　基板（１０）を出し入れする出入口（１１ａ）を有す
   る低背型の容器（１１）と、 容器（１１）内で基板（１０）を水平に支持する支持手
   段（１２）と、 容器（１１）内で該容器（１１）に一端部を回動自在に
   連結するとともに他端部を、容器（１１）内に配設した
   弾性部材（１３）に連結し、該弾性部材（１３）により
   付勢されて基板（１０）を支持手段（１２）に押圧する
   フック（１４）と、 容器（１１）に一端部を回動自在に連結し、容器（１１
   ）の出入口（１１ａ）の開通と閉塞とを自在に行う開閉
   扉（１５）と、 一端をフック（１４）に連結するとともに他端を開閉扉
   （１５）に連結し、開閉扉（１５）を回動して出入口（
   １１ａ）を開通する際に、フック（１４）を回動して該
   フック（１４）と基板（１０）との接触を解除し、開閉
   扉（１５）で出入口（１１ａ）を閉塞する際にフック（
   １４）を前記回動方向と逆方向に回動して該フック（１
   ４）と基板（１０）との接触を回復させるフック回動手
   段（１６）を含んで構成した基板収納ケースにおいて、
   前記フック（１４）の回動を止めることのできるロック
   手段（１７）を設けたことを特徴とする基板収納ケース
   。