JPH04372182A - 外部ミラー型ガスレーザ発振器 - Google Patents
外部ミラー型ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH04372182A JPH04372182A JP14906991A JP14906991A JPH04372182A JP H04372182 A JPH04372182 A JP H04372182A JP 14906991 A JP14906991 A JP 14906991A JP 14906991 A JP14906991 A JP 14906991A JP H04372182 A JPH04372182 A JP H04372182A
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- Japan
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- brewster
- gas laser
- mirror
- bulb
- type gas
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は外部ミラー型ガスレーザ
発振器に関し、特にガスレーザ管のブリュースタ窓周辺
の構造に関する。
発振器に関し、特にガスレーザ管のブリュースタ窓周辺
の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のブリュースタ窓とレーザミラー間
の防塵構造を図２に示す。アルゴン，クリプトン等の気
体をイオン化してそのエネルギー遷移によりレーザ発振
を行うガスレーザ管４は、高出力化のために放電細管１
に数Ａから数十Ａに及ぶ大電流を流す必要があり、これ
によって両端のブリュースタ窓からは、発振光とともに
紫外線が放出される。
の防塵構造を図２に示す。アルゴン，クリプトン等の気
体をイオン化してそのエネルギー遷移によりレーザ発振
を行うガスレーザ管４は、高出力化のために放電細管１
に数Ａから数十Ａに及ぶ大電流を流す必要があり、これ
によって両端のブリュースタ窓からは、発振光とともに
紫外線が放出される。
【０００３】一方、ガスレーザ管４の出力窓となるブリ
ュースタ窓３はレーザ発振の際のロスを極力抑えるため
多くの場合石英ガラスを材料としている。さらに、石英
ガラスからなるブリュースタ窓３は信頼性の高い真空封
着するため、シールガラス材を介して熱膨張率の等しい
石英ガラス管からなるブリュースタバルブ２に封着され
ている。ブリュースタバルブ２は金属からなる放電細管
端面部品８を介してセラミックやガラスからなる放電細
管１に封着されガスレーザ管４を構成している。
ュースタ窓３はレーザ発振の際のロスを極力抑えるため
多くの場合石英ガラスを材料としている。さらに、石英
ガラスからなるブリュースタ窓３は信頼性の高い真空封
着するため、シールガラス材を介して熱膨張率の等しい
石英ガラス管からなるブリュースタバルブ２に封着され
ている。ブリュースタバルブ２は金属からなる放電細管
端面部品８を介してセラミックやガラスからなる放電細
管１に封着されガスレーザ管４を構成している。
【０００４】また、光共振器を構成するガスレーザ管４
とレーザミラー５は、最高の出力を得るために必要な調
整機能を有する支持体６に保持され、ガスレーザ管４と
レーザミラー５の間は、レーザミラー５やブリュースタ
窓３の表面に付着するホコリや、光路を遮るホコリの流
入を抑えるために金属，ゴム，プラスチックからなる防
塵カバー７によりおおわれている。
とレーザミラー５は、最高の出力を得るために必要な調
整機能を有する支持体６に保持され、ガスレーザ管４と
レーザミラー５の間は、レーザミラー５やブリュースタ
窓３の表面に付着するホコリや、光路を遮るホコリの流
入を抑えるために金属，ゴム，プラスチックからなる防
塵カバー７によりおおわれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来のブリュース
タ窓３とレーザミラー５間の防塵構造では、大出力を得
るために必要とする大電流のアーク放電によって２００
〜４００ｎｍの紫外線が放出され両端のブリュースタ窓
３，ブリュースタバルブ２や他のガラス部品を透過し、
ガスレーザ管４の外部へ照射される。このとき、防塵カ
バー７を構成する金属，ゴム，プラスチックは紫外線の
照射により、材料本体や表面に付いた汚れがガス源とな
り、ガスを放出して、ブリュースタ窓３やレーザミラー
５の光学部品表面を汚染する原因となり、出力の低下を
招くという問題があった。さらに、多くの場合、ブリュ
ースタ窓３，ブリュースタバルブ２は、紫外線の透過率
の高いことで知られている石英ガラスを使用しているた
め、他のガラスに比べ紫外線の透過量が増え、先に述べ
た問題点が促進されている。
タ窓３とレーザミラー５間の防塵構造では、大出力を得
るために必要とする大電流のアーク放電によって２００
〜４００ｎｍの紫外線が放出され両端のブリュースタ窓
３，ブリュースタバルブ２や他のガラス部品を透過し、
ガスレーザ管４の外部へ照射される。このとき、防塵カ
バー７を構成する金属，ゴム，プラスチックは紫外線の
照射により、材料本体や表面に付いた汚れがガス源とな
り、ガスを放出して、ブリュースタ窓３やレーザミラー
５の光学部品表面を汚染する原因となり、出力の低下を
招くという問題があった。さらに、多くの場合、ブリュ
ースタ窓３，ブリュースタバルブ２は、紫外線の透過率
の高いことで知られている石英ガラスを使用しているた
め、他のガラスに比べ紫外線の透過量が増え、先に述べ
た問題点が促進されている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の外部ミラー型ガ
スレーザ発振器は、放電細管１と放電細管１の両端に接
続された一対のブリュースタバルブ２とブリュースタバ
ルブ２の先端に封着されたブリュースタ窓３からなるガ
スレーザ管４と、ガスレーザ管４を保持し、かつガスレ
ーザ管４の延長線上に光共振器を構成する為の一対のレ
ーザミラー５を保持する支持体６とブリュースタ窓３と
レーザミラー５との間を防塵する防塵カバー７とによっ
て構成される外部ミラー型ガスレーザ発振器９において
、側面がスリガラス状であることを特徴とするブリュー
スタバルブ２を備えている。
スレーザ発振器は、放電細管１と放電細管１の両端に接
続された一対のブリュースタバルブ２とブリュースタバ
ルブ２の先端に封着されたブリュースタ窓３からなるガ
スレーザ管４と、ガスレーザ管４を保持し、かつガスレ
ーザ管４の延長線上に光共振器を構成する為の一対のレ
ーザミラー５を保持する支持体６とブリュースタ窓３と
レーザミラー５との間を防塵する防塵カバー７とによっ
て構成される外部ミラー型ガスレーザ発振器９において
、側面がスリガラス状であることを特徴とするブリュー
スタバルブ２を備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の一実施例の外部ミラー型ガスレーザ発
振器の出力側部分の断面図である。なお反射側部分の構
造は基本的に同じなので省略する。
。図１は本発明の一実施例の外部ミラー型ガスレーザ発
振器の出力側部分の断面図である。なお反射側部分の構
造は基本的に同じなので省略する。
【０００８】本実施例はブリュースタバルブ２の外周面
にスリガラス部１０を設けている。この他は従来と同じ
構成である。
にスリガラス部１０を設けている。この他は従来と同じ
構成である。
【０００９】大電流アーク放電は放電細管１内を両端の
電極１１の間で放電する。この放電で発生する紫外線の
一部はレーザの光軸方向に向って広がり、ブリュースタ
窓３，ブリュースタバルブ２を透過する。ここで、ブリ
ュースタバルブ２に入射した紫外線は、外周面に施こさ
れたスリガラス部１０のミクロな凹凸面により反射・散
乱し、最終的に透過する量は十分に減衰されている。紫
外線の十分な減衰によって防塵カバー７からの不純ガス
の発生が抑制できる。また、これにより、紫外線照射に
よるオゾンの発生を防止する点からも有効と思われる。
電極１１の間で放電する。この放電で発生する紫外線の
一部はレーザの光軸方向に向って広がり、ブリュースタ
窓３，ブリュースタバルブ２を透過する。ここで、ブリ
ュースタバルブ２に入射した紫外線は、外周面に施こさ
れたスリガラス部１０のミクロな凹凸面により反射・散
乱し、最終的に透過する量は十分に減衰されている。紫
外線の十分な減衰によって防塵カバー７からの不純ガス
の発生が抑制できる。また、これにより、紫外線照射に
よるオゾンの発生を防止する点からも有効と思われる。
【００１０】ブリュースタ窓２外周面のスリガラスは通
常の研磨材により研磨する方法の他に、ブラスト加工に
よる加工法も考えられている。また、通常のガラスの表
面とスリガラスの表面とについて紫外線の透過率を測定
したところ、石英ガラスの１ｍｍの板に２００〜３５０
ｎｍの範囲で通常表面９０％以上，スリガラス表面１〜
１．５％といった結果が得られている。
常の研磨材により研磨する方法の他に、ブラスト加工に
よる加工法も考えられている。また、通常のガラスの表
面とスリガラスの表面とについて紫外線の透過率を測定
したところ、石英ガラスの１ｍｍの板に２００〜３５０
ｎｍの範囲で通常表面９０％以上，スリガラス表面１〜
１．５％といった結果が得られている。
【００１１】なお、実施例では、ブリュースタバルブの
外周面をスリガラス状としたが、ブリュースタバルブの
円周面、あるいは内周面と外周面の両面をスリガラス状
としてもよい。
外周面をスリガラス状としたが、ブリュースタバルブの
円周面、あるいは内周面と外周面の両面をスリガラス状
としてもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ブリュー
スタバルブ２の側面をスリガラスによることにより、防
塵カバー７への放電光中の紫外線の照射を減少させ紫外
線の防塵カバー７への照射により発生するガスに起因す
る光学部品の汚れを防止し、出力の低下を抑えガスレー
ザ管４やレーザミラー５の長寿命化が可能となる効果を
有する。
スタバルブ２の側面をスリガラスによることにより、防
塵カバー７への放電光中の紫外線の照射を減少させ紫外
線の防塵カバー７への照射により発生するガスに起因す
る光学部品の汚れを防止し、出力の低下を抑えガスレー
ザ管４やレーザミラー５の長寿命化が可能となる効果を
有する。
【図１】本発明の一実施例の出力側断面図を示す。
【図２】従来の防塵構造の出力側断面図を示す。
１ 放電細管
２ ブリュースタバルブ
３ ブリュースタ窓
４ ガスレーザ管
５ レーザミラー
６ 支持体
７ 防塵カバー
８ 放電細管端面部品
１０ スリガラス部
１１ 電極
Claims (4)
- 【請求項１】 放電細管、前記放電細管の両端に接続
された一対のガラスを材料とするブリュースタバルブ及
び前記ブリュースタバルブの先端に封着されたブリュー
スタ窓からなるガスレーザ管と、前記ガスレーザ管を保
持し、かつガスレーザ管の延長線上に光共振器を構成す
る為の一対のレーザミラーを保持する支持体と、前記ブ
リュースタ窓と前記レーザミラーとの間を防塵する防塵
カバーとによって構成される外部ミラー型ガスレーザ発
振器において、前記ブリュースタバルブの側面がスリガ
ラス状であることを特徴とする外部ミラー型ガスレーザ
発振器。 - 【請求項２】 請求項１記載の外部ミラー型ガスレー
ザ発振器において、前記ブリュースタバルブの外周面が
スリガラス状であることを特徴とする外部ミラー型ガス
レーザ発振器。 - 【請求項３】 請求項１記載の外部ミラー型ガスレー
ザ発振器において、前記ブリュースタバルブの円周面が
スリガラス状であることを特徴とする外部ミラー型ガス
レーザ発振器。 - 【請求項４】 請求項１記載の外部ミラー型ガスレー
ザ発振器において、前記ブリュースタバルブの外周面と
内周面が共にスリガラス状であることを特徴とする外部
ミラー型ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14906991A JPH04372182A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 外部ミラー型ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14906991A JPH04372182A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 外部ミラー型ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04372182A true JPH04372182A (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=15467008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14906991A Pending JPH04372182A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 外部ミラー型ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04372182A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP14906991A patent/JPH04372182A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11330591A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-11-30 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 高周波励起型ガスレ―ザ―およびガスレ―ザ―のためのレ―ザ―管 |
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