JPH0438047U - - Google Patents

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JPH0438047U
JPH0438047U JP7971890U JP7971890U JPH0438047U JP H0438047 U JPH0438047 U JP H0438047U JP 7971890 U JP7971890 U JP 7971890U JP 7971890 U JP7971890 U JP 7971890U JP H0438047 U JPH0438047 U JP H0438047U
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  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第７図は本考案の第１実施例の説明図
であり、第１図は実施例の装置におけるパツケー
ジ内部の平面図、第２図はパツケージ外観の側面
図、第３図及び第４図はパツケージの封止性が損
なわれ易い箇所を示す図、第５図ａは湿度センサ
の一例を示す平面図、同図ｂは同側断面図、第６
図ａは湿度センサの他の例を示す平面図、第６図
ｂは同側断面図、第７図は湿度検出回路を示す図
である。第８図〜第１０図は本考案の第２実施例
の説明図であり、第８図は実施例の装置における
パツケージ内部の平面図、第９図は圧力センサの
一例を示す側断面図、第１０図は圧力検出回路を
示す図である。第１１図〜第１５図は本考案の第
３実施例の説明図であり、第１１図は実施例の装
置におけるパツケージ内部の平面図、第１２図ａ
は酸素センサの一例を示す平面図、第１２図ｂは
同側面図、第１３図は上記酸素センサ５３を構成
するヒータ基板５５の平面図、第１４図は酸素セ
ンサ基板５６の平面図、第１５図は酸素検出回路
を示す図である。 １Ａ，１Ｂ，１Ｃ……加速度センサ、４……パ
ツケージ、１３，１３ａ，１３ｂ……湿度センサ
、３３……圧力センサ、５３……酸素センサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 内部が外気と遮断され同内部が外気と異なるガ
    ス条件に保持された電子部品用パツケージの内部
    に、同内部のガス条件が外気のガス条件に近付い
    たことを検出する異常検知センサを組み込んだこ
    とを特徴とする電子部品用パツケージの封止性検
    知装置。
JP1990079718U 1990-07-30 1990-07-30 電子部品用パッケージの封止性検知装置 Expired - Lifetime JP2530272Y2 (ja)

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