JPH0438285Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0438285Y2 JPH0438285Y2 JP19150386U JP19150386U JPH0438285Y2 JP H0438285 Y2 JPH0438285 Y2 JP H0438285Y2 JP 19150386 U JP19150386 U JP 19150386U JP 19150386 U JP19150386 U JP 19150386U JP H0438285 Y2 JPH0438285 Y2 JP H0438285Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- mode
- jet separator
- carrier gas
- adjustment mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 6
- 238000000451 chemical ionisation Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案はガスクロマトグラフ質量分析装置
(GCMS)に関し、特にEI−CI複合イオン源を備
えたGCMSに関する。
(GCMS)に関し、特にEI−CI複合イオン源を備
えたGCMSに関する。
[従来技術]
GCMSにおいては、GCとMSの間にジエツト
セパレータを配置している。このジエツトセパレ
ータは、真空ポンプにより排気されている低圧室
内にGCに連通する噴射ノズルとMSに連通する
入射ノズルを対向配置した構造を持ち、GCから
送られて来るガス中に大量に含まれるキヤリアガ
スを真空ポンプで排気し、MSへ導入する試料成
分の濃度を高めている。
セパレータを配置している。このジエツトセパレ
ータは、真空ポンプにより排気されている低圧室
内にGCに連通する噴射ノズルとMSに連通する
入射ノズルを対向配置した構造を持ち、GCから
送られて来るガス中に大量に含まれるキヤリアガ
スを真空ポンプで排気し、MSへ導入する試料成
分の濃度を高めている。
一方、MSで使用される代表的なイオン源とし
て、電子衝撃型(EI)イオン源と科学イオン化
型(CI)イオン源とがあり、最近では1台のイ
オン源でEIモードとCIモードをワンタツチで切
換えることのできるEI−CI複合イオン源が普及
している。
て、電子衝撃型(EI)イオン源と科学イオン化
型(CI)イオン源とがあり、最近では1台のイ
オン源でEIモードとCIモードをワンタツチで切
換えることのできるEI−CI複合イオン源が普及
している。
[考案が解決しようとする問題点]
GCMSにおけるジエツトセパレータの低圧室
の部分の圧力は、数Torr程度からキヤリアガス
の流量によつては1Torrを割る場合がある。
の部分の圧力は、数Torr程度からキヤリアガス
の流量によつては1Torrを割る場合がある。
一方、EI−CIイオン源におけるCIモードでは、
イオン源内のイオン化室は、化学イオン化に好適
な例えば1Torr程度に保たれる。
イオン源内のイオン化室は、化学イオン化に好適
な例えば1Torr程度に保たれる。
そのため、ジエツトセパレータの低圧室の圧力
が1Torrを割る場合には、イオン化室よりもジエ
ツトセパレータの方が圧力が低くなり、試料成分
がイオン化室内へうまく導入されないという事態
が起こり得る。
が1Torrを割る場合には、イオン化室よりもジエ
ツトセパレータの方が圧力が低くなり、試料成分
がイオン化室内へうまく導入されないという事態
が起こり得る。
EIモードではイオン化室内の圧力は極めて低
く設定されるため、試料成分のイオン化室内への
導入に関しては問題がなく、ジエツトセパレータ
においてキヤリアガスを効率良く排気できること
が要求される。
く設定されるため、試料成分のイオン化室内への
導入に関しては問題がなく、ジエツトセパレータ
においてキヤリアガスを効率良く排気できること
が要求される。
本考案は上述した点に鑑みてなされ、EIモー
ドではキヤリアガスを効率良く排気できると共
に、CIモードにおいても常に試料成分をイオン
化室内へスムーズに導入することのできる
GCMSを提供することを目的としている。
ドではキヤリアガスを効率良く排気できると共
に、CIモードにおいても常に試料成分をイオン
化室内へスムーズに導入することのできる
GCMSを提供することを目的としている。
[問題点を解決するための手段]
この目的を達成するため、本考案は、キヤリア
ガスと試料成分とをジエツトセパレータで分離
し、分離した試料成分をEI−CIイオン源へ導入
してイオン化するようにしたガスクロマトグラフ
質量分析装置において、ジエツトセパレータとキ
ヤリアガス排気用ポンプの間の流路に流量を2段
階に設定できる流量調整機構を設けると共に、該
調整機構がEIモード時に大流量、CIモード時に
小流量に設定されるように前記EI−CIイオン源
のモード切り換えに連動して前記流量調整機構を
切り換える切換手段を設けたことを特徴としてい
る。
ガスと試料成分とをジエツトセパレータで分離
し、分離した試料成分をEI−CIイオン源へ導入
してイオン化するようにしたガスクロマトグラフ
質量分析装置において、ジエツトセパレータとキ
ヤリアガス排気用ポンプの間の流路に流量を2段
階に設定できる流量調整機構を設けると共に、該
調整機構がEIモード時に大流量、CIモード時に
小流量に設定されるように前記EI−CIイオン源
のモード切り換えに連動して前記流量調整機構を
切り換える切換手段を設けたことを特徴としてい
る。
[作用]
本考案のGCMSにおいては、CIモード時に流
量調整機構が小流量に設定されるため、ジエツト
セパレータの低圧室内の圧力は数Torr以上に高
まる。そのため、イオン化室内の圧力が高まる
CIモードであつても、ジエツトセパレータから
イオン化室内へスムーズに試料成分が導入でき
る。一方、EIモードにおいては、流量調整機構
が大流量に設定されるため、キヤリアガスを効率
良く排気することが可能である。
量調整機構が小流量に設定されるため、ジエツト
セパレータの低圧室内の圧力は数Torr以上に高
まる。そのため、イオン化室内の圧力が高まる
CIモードであつても、ジエツトセパレータから
イオン化室内へスムーズに試料成分が導入でき
る。一方、EIモードにおいては、流量調整機構
が大流量に設定されるため、キヤリアガスを効率
良く排気することが可能である。
以下、図面を用いて本考案の一実施例を詳説す
る。
る。
[実施例]
添付図面は本発明を実施したGCMSの一例を
示す概略図である。図において1はGC、2はジ
エツトセパレータ、3はEI−CIイオン源、4は
MSの分析場、5はイオン検出器、6はイオン化
モード切換回路、7E,7Cはモード選択ボタ
ン、8は反応ガス源、9は電磁弁、10はロータ
リーポンプ、11は流量調整弁である。
示す概略図である。図において1はGC、2はジ
エツトセパレータ、3はEI−CIイオン源、4は
MSの分析場、5はイオン検出器、6はイオン化
モード切換回路、7E,7Cはモード選択ボタ
ン、8は反応ガス源、9は電磁弁、10はロータ
リーポンプ、11は流量調整弁である。
上記構成において、流量調整弁11としては、
流路を絞つた状態と流路を開放した状態の2段階
に流量が設定できる機構を備えた弁が用いられ、
その2段階の切換えはモード切換回路6によつて
行われる。
流路を絞つた状態と流路を開放した状態の2段階
に流量が設定できる機構を備えた弁が用いられ、
その2段階の切換えはモード切換回路6によつて
行われる。
今、モード選択ボタン7Eが押されEIモード
が選択されると、切換回路6は電磁弁9を閉じる
と共に流量調整弁11を大流量に設定する。この
状態では、イオン源3内のイオン化室の圧力は例
えば10-5Torr程度となり、キヤリアガスの流量
が小さくてジエツトセパレータ2内の圧力が
1Torrを割つたとしても、圧力差は十分にあり、
ジエツトセパレータにより分離された試料成分は
スムーズにイオン化室内へ導入されて行くし、ジ
エツトセパレータにおいて分離されたキヤリアガ
スは、大流量に設定されている流量調整弁11を
介してロータリーポンプ10により効率良く排気
される。
が選択されると、切換回路6は電磁弁9を閉じる
と共に流量調整弁11を大流量に設定する。この
状態では、イオン源3内のイオン化室の圧力は例
えば10-5Torr程度となり、キヤリアガスの流量
が小さくてジエツトセパレータ2内の圧力が
1Torrを割つたとしても、圧力差は十分にあり、
ジエツトセパレータにより分離された試料成分は
スムーズにイオン化室内へ導入されて行くし、ジ
エツトセパレータにおいて分離されたキヤリアガ
スは、大流量に設定されている流量調整弁11を
介してロータリーポンプ10により効率良く排気
される。
一方、モード選択ボタン7Cが押され、CIモ
ードが選択されると、切換回路6は電磁弁9を開
けて反応ガスをイオン化室へ導入すると共に、こ
のイオン化室の気密性を高めることにより、イオ
ン化室内の圧力を化学イオン化に最適な1Torr程
度に設定する。更に、切換回路6は流量調整弁1
1を小流量に設定する。
ードが選択されると、切換回路6は電磁弁9を開
けて反応ガスをイオン化室へ導入すると共に、こ
のイオン化室の気密性を高めることにより、イオ
ン化室内の圧力を化学イオン化に最適な1Torr程
度に設定する。更に、切換回路6は流量調整弁1
1を小流量に設定する。
この状態でGC1からのガスがジエツトセパレ
ータ2に導入されると、流量調整弁11が小流量
に設定されているので、キヤリアガスの流量が仮
に小さくても、ジエツトセパレータ内の圧力は例
えば数Torr以上にも高まる。そのため、イオン
化室内が1Torr程度に設定されていても、圧力差
は十分にあり、ジエツトセパレータにより分離さ
れた試料成分はスムーズにイオン化室内へ導入さ
れて行く。
ータ2に導入されると、流量調整弁11が小流量
に設定されているので、キヤリアガスの流量が仮
に小さくても、ジエツトセパレータ内の圧力は例
えば数Torr以上にも高まる。そのため、イオン
化室内が1Torr程度に設定されていても、圧力差
は十分にあり、ジエツトセパレータにより分離さ
れた試料成分はスムーズにイオン化室内へ導入さ
れて行く。
[効果]
以上詳述した如く、本考案によれば、ジエツト
セパレータとキヤリアガス排気用ポンプの間に流
量調整機構を設け、この流量調整機構の流量を
EIモードの時は大流量に、CIモードの時は小流
量に設定するようにしたため、CIモードにおい
ては常にスムーズに試料成分をイオン化室内へ導
入でき、EIモードにおいてはジエツトセパレー
タで分離されたキヤリアガスを効率良く排気する
ことのできるGCMSが実現される。
セパレータとキヤリアガス排気用ポンプの間に流
量調整機構を設け、この流量調整機構の流量を
EIモードの時は大流量に、CIモードの時は小流
量に設定するようにしたため、CIモードにおい
ては常にスムーズに試料成分をイオン化室内へ導
入でき、EIモードにおいてはジエツトセパレー
タで分離されたキヤリアガスを効率良く排気する
ことのできるGCMSが実現される。
添付図面は本考案を実施したGCMSの一例を
示す概略図である。 1……GC、2……ジエツトセパレータ、3…
…EI−CIイオン源、6……イオン化モード切換
回路、7E,7C……モード選択ボタン、8……
反応ガス源、10……ロータリーポンプ、11…
…流量調整弁。
示す概略図である。 1……GC、2……ジエツトセパレータ、3…
…EI−CIイオン源、6……イオン化モード切換
回路、7E,7C……モード選択ボタン、8……
反応ガス源、10……ロータリーポンプ、11…
…流量調整弁。
Claims (1)
- キヤリアガスと試料成分とをジエツトセパレー
タで分離し、分離した試料成分をEI−CIイオン
源へ導入してイオン化するようにしたガスクロマ
トグラフ質量分析装置において、ジエツトセパレ
ータとキヤリアガス排気用ポンプの間の流路に流
量を2段階に設定できる流量調整機構を設けると
共に、該調整機構がEIモード時に大流量、CIモ
ード時に小流量に設定されるように前記EI−CI
イオン源のモード切り換えに連動して前記流量調
整機構を切り換える切換手段を設けたことを特徴
とするガスクロマトグラフ質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19150386U JPH0438285Y2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19150386U JPH0438285Y2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6396459U JPS6396459U (ja) | 1988-06-22 |
| JPH0438285Y2 true JPH0438285Y2 (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=31145707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19150386U Expired JPH0438285Y2 (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0438285Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP19150386U patent/JPH0438285Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6396459U (ja) | 1988-06-22 |
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