JPH0438887A - レーザ用ガス供給・排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ装置に係り、特に高電圧の励振回路を備
えた形式の装置において誤動作を防止する技術に関する
。

〔従来の技術〕

近ζ　レーザ装置の実用化が著しいが、特に紫外　可樵
　赤外の広帯域な波長をカバーするガスレーザはその応
用範囲の広さがら期待を集めている。例えば、強力な紫
外線光跡として知られるエキシマレーザ１転　レーザチ
ャンバと呼ばれる筐体内において、キセノン、クリプト
ン、アルゴン等の希ガスと、塩素フッ素のようなハロゲ
ンガスとの混合気体中に放電を起こすことにより光学的
に活性な二量体を構成し　これがレーザ媒質をなってレ
ーザ発振が起こるようになっている。

このようなガスレーザでは前記レーザチャンバに対して
ガス供給・排気装置を備えており、このガス供給・排気
装置は、レーザチャンバ内に備えられたガス圧検出器お
よび、バルブ開閉装置等の制御系を有しており、レーザ
チャンバ内のガス供給・排気量を制御しているものが一
般的であつ九〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、前記エキシマレーザでは、高出力のレーザ光
を得るためにレーザチャンバ内の放電電極間で繰返し放
電の周波数が大きくなるようにしている。このため、レ
ーザチャンバ内の放電にともなう電磁ノイズが生じ易く
、ガス供給・排気装置におけるガス圧検出器およびバル
ブ開閉装置等の制御系に誤動作を生じさせる可能性があ
つ九すなわち、ガス圧検出器あるいはバルブ開閉装置等
の電気配線がレーザ発振時に生じる電磁ノイズに曝され
ることになり、この電気配線がアンテナとなり、前記電
磁ノイズを受信してしまう結表ガス圧力検出器の指示値
の誤出力、バルブ開閉装置の誤動作を生じる可能性が高
かった この点について、マイクロプロセッサ等の制御系をレー
ザチャンバから引き離した位置に配置することも考えら
れるが、ガス圧力検出器やバルブ開閉のための制御信号
線等をレーザチャンバ（の近傍に引き回していることに
かわりはないため、この信号線がアンテナとなり受信し
てしまう電磁ノイズによる影響は避けられなかった 前記のようなガス供給・排気装置における誤動作（戴　
レーザ出力を不安定にする要因となるばかりか、腐食性
の高いハロゲン類を用いるエキシマレーザにおいては事
故に通じるおそれがあり深刻な問題となっていた 本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的はレーザガス供給・排気系の制御に際して誤動作
を防止して信頼性の高いガス供給・排気制御を実現する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、主配管を開閉制御するバルブを流体圧駆動バ
ルブとし　この駆動流体圧を供給・排気する制御配管と
電磁弁装置とを設けている。

また、圧力検出器は、主配管からの分岐配管の端部に接
続した構成としな 〔作用〕 前記した手段によれば、主配管上の開閉制御を行うバル
ブを、電磁ノイズの影響を受けない空気等の流体圧で駆
動する方式とし、さらに圧力検出器についても分岐配管
の引き回しによってレーザチャンバから離れた位置に配
置することによって、制御系の全ての電気配線をレーザ
チャンバから離すことが可能となっている。

このため、レーザチャンバで発生する電磁ノイズにより
影響されることなく、圧力検出器による検出値の精度が
担保される。同様に、主配管を開閉するバルブの誤動作
も防止される。

なお、このような特徴を有するガス供給・排気装置は封
じ切り型でないガスレーザ装置一般について使用可能で
ある。

〔実施例〕

以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の実施例に係るレーザ用ガス供給・排気
装置の構成図である。

図で頃　エキシマレーザに関する装置を例にとつて説明
する。

同図において、レーザチャンバｌは、ガス源２と主配管
３によって接続されており、バッファガス、希ガスおよ
びハロゲンガス等が前記レーザチャンバｌ内に供給可能
となっている。そして各ガスを供給する主配管３の途中
には流体圧駆動バルブ４ａ〜４ｃが設けられており、各
ガスの混合比を調整可能となっている。また、主配管３
からは真空ポンプ５に接続される排気管・６が分岐され
ており、この排気管６の途中には流体圧駆動バルブ４ｄ
が設けられている。前記流体圧駆動バルブ４ａ〜４ｄは
、空気等の流体の圧力によって駆動されて主配管３およ
び排気管６を開閉制御する形式のバルブであり、たとえ
ばアクチュエータ等で空気圧の増減による直線運動をバ
ルブの回動運動に変換する構造となっている。

各流体圧駆動バルブ４ａ〜４ｄには空気圧を供給するた
めの制御配管７ａ〜７ｄがそれぞれ接続されており、こ
れらの制御配管７ａ〜７ｄｌｉ、　　所定距離りを引き
回されて空気の供給を制御する電磁弁ユニット８と接続
されている。

前記流体圧駆動バルブ４ａ〜４ｄからレーザチャンバ１
に至る主配管３の途中からは分岐配管１０が延設されて
いる。そしてこの分岐配管１０庸所定距離りを引き回さ
れて圧力検出器１１と接続されている。圧力検出器１１
で（戴　主配管３内すなわちレーザチャンバ１内の圧力
状態を検出可能となっている。

前記真空ポンプ５．電磁弁ユニット８および圧力検出器
１１はそれぞれ制御部１２に接続されてその作動を制御
されている。制御部１２は、たとえばメモリ等を備えた
マイクロプロセッサで構成されており、圧力検出器１１
の検出値に基づいて、電磁弁ユニット８を制御して流体
圧駆動バルブ４ａ〜４ｄの開閉度を調整してレーザチャ
ンバ１内の圧力状態を制御するようになっている。

このように、本実施例では主配管３の開閉制御を行うバ
ルブ機構を流体圧駆動とし　さらに圧力検出器１１を主
配管３から分岐して引き回した分岐配管１０に接続する
ことにより、真空ポンプ５電磁弁ユニツト８および圧力
検出器１１等の制御系をレーザチャンバ１から引き離す
ことができ、全ての電気配線をレーザチャンバ１から離
れた位置で行うことができる。このため、　レーザチャ
ンバ１で発生した電磁ノイズによる影響を受けることな
く、ガス供給・排気制御が可能となる。

なお、排気管６．制御配管７ａ〜７ｄおよび分岐配管１
０の引き回し距離りについては、真空ポンプ５．電磁弁
ユニット８および圧力検出器１１がレーザチャンバ１の
電磁ノイズを受けない程度の必要最小限の距離とするこ
とが望ましい。すなわち、長距離としすぎると検出精度
の低下、駆動レスポンスの低下等が懸念されるためであ
る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ガスレーザにおける電磁ノイズの影響
を減少させ、ガス供給・排気系の誤動作を防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であり、レーザ用ガス供給・
排気装置を示すブロック図である。 レーザチャンバ、　２・　ガス風 ・主配管、 ａ〜４ｄ　流体圧駆動パルス 真空ポンス　　　６　排気管、 ａ〜７ｄ　制御配管、 電磁弁ユニット、 分岐配管、　　　１１・圧力検出詠 制御服 特許出願人　三井石油化学工業株式会社代　理　人　弁
理士 佐藤宗徳 同 遠出 勉 第１図 同 松倉秀実

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザチャンバ内にレーザガスを供給・排気する
   レーザ用ガス供給・排気装置であって、ガス源とレーザ
   チャンバとの間に接続され、前記ガス源のレーザガスを
   チャンバ内に導入するための主配管と、 前記主配管上に設けられ、離隔位置から制御配管を通じ
   て流体圧によって駆動され主配管を開閉制御する流体圧
   駆動バルブと、 前記制御配管の端部に接続された電磁弁装置と、前記主
   配管からの分岐配管の端部に接続された圧力検出器と、 前記電磁弁装置および圧力検出器と電気配線により接続
   され、これらを電気的に制御する制御部とを有しており
   、 前記制御配管および分岐配管の配管距離を十分な長さと
   することによって、前記電気配線がレーザチャンバで発
   生する電磁ノイズの影響を受けないようにしたレーザ用
   ガス供給・排気装置。