JPS6171684A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6171684A JPS6171684A JP19271984A JP19271984A JPS6171684A JP S6171684 A JPS6171684 A JP S6171684A JP 19271984 A JP19271984 A JP 19271984A JP 19271984 A JP19271984 A JP 19271984A JP S6171684 A JPS6171684 A JP S6171684A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser oscillator
- control circuit
- cooling water
- abnormal operation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザガスによりレーザ光を出力するレー
ザ発振器、特に放電用ガス収納容器内での水分量の増加
を早期に検知できるようにしたレーザ発振器に関するも
のである。
ザ発振器、特に放電用ガス収納容器内での水分量の増加
を早期に検知できるようにしたレーザ発振器に関するも
のである。
第２図は従来の６軸直交形の炭酸ガスレーザ発振器の一
部を切欠した正面図、第６図はこのレーザ発振器の断面
図である。図において、（１）は上下に対向する一対の
横長の高電圧電極、（２）は高′亀圧電極（１）、（１
）間の放電部、（３）は一対の高電圧電極（３）。
部を切欠した正面図、第６図はこのレーザ発振器の断面
図である。図において、（１）は上下に対向する一対の
横長の高電圧電極、（２）は高′亀圧電極（１）、（１
）間の放電部、（３）は一対の高電圧電極（３）。
（３）にそれぞれ接続された高電圧ケーブル、（４）は
各高電圧ケーブル（３）に設けられた高電圧供給用ケー
ブル支持端子、（５）は一対の高圧電極（１）、（１）
の下方に配設されたレーザガス供給ブロワ、（６）バ一
対の高電圧電極（１）、（１）の一端側に配設された共
振用全反射鏡、（７）は一対の高電圧電極（１）、（１
）の他端側に配設された部分反射鏡、（８）は反射鏡用
冷却水供給配管で、共振用反射鏡（６）と部分反射鏡（
力とにそれ一ピバ設けられている。（９）は高電圧電極
用冷却水供給配管である。００は放電用ガス収納容器で
ある筐体で、高篭圧出、極（１）、高電圧ケーブル（３
）、レーザガス供給ブロワ（５）、共振用全反射鏡（６
）、部分反射ｋ （７１、高低圧電極用冷却水供給配管
（９）、レーザガスの枦ｉ路等を収納しておシ、内部を
大気から完全Ｖこ密封して内圧を５０〜１００Ｔｏｒｒ
程度に保持している。レー伊ノノスは所定濃度のＣＯ２
を含有するガスからなり、矢印ａに示す経路１こ沿って
流れる。
各高電圧ケーブル（３）に設けられた高電圧供給用ケー
ブル支持端子、（５）は一対の高圧電極（１）、（１）
の下方に配設されたレーザガス供給ブロワ、（６）バ一
対の高電圧電極（１）、（１）の一端側に配設された共
振用全反射鏡、（７）は一対の高電圧電極（１）、（１
）の他端側に配設された部分反射鏡、（８）は反射鏡用
冷却水供給配管で、共振用反射鏡（６）と部分反射鏡（
力とにそれ一ピバ設けられている。（９）は高電圧電極
用冷却水供給配管である。００は放電用ガス収納容器で
ある筐体で、高篭圧出、極（１）、高電圧ケーブル（３
）、レーザガス供給ブロワ（５）、共振用全反射鏡（６
）、部分反射ｋ （７１、高低圧電極用冷却水供給配管
（９）、レーザガスの枦ｉ路等を収納しておシ、内部を
大気から完全Ｖこ密封して内圧を５０〜１００Ｔｏｒｒ
程度に保持している。レー伊ノノスは所定濃度のＣＯ２
を含有するガスからなり、矢印ａに示す経路１こ沿って
流れる。
従来のレーザ扼振器は上記のようＶＣ構成され、高圧ケ
ーブル（３）を介して高′亀圧が一対の高電圧電％（１
）、（１）に供給されて放電か発生し、両電極（１）。
ーブル（３）を介して高′亀圧が一対の高電圧電％（１
）、（１）に供給されて放電か発生し、両電極（１）。
ｔＩＪ曲を通過するレーザガスが放電部（２） におい
て励起ネれ、その誘導放出によりレーザ光を生じる。
て励起ネれ、その誘導放出によりレーザ光を生じる。
レーザ光は共振用全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）と
によって反覆通過しながら増幅され部分反射鏡（７）よ
り゛外部へ矢印（ｂ）の方向に出力される。
によって反覆通過しながら増幅され部分反射鏡（７）よ
り゛外部へ矢印（ｂ）の方向に出力される。
レーザガスは放電部（２）で放電によって励起されると
ともに温度上昇する。レーザガスは温度が上昇すると、
レーザガス中のＣＯ２が解離してｃ Ｏ２ｍ度が低下し
、レーザ光の出力が低下する。このため、レーザガスは
レーザガス供給ブロワ（５）で循環させられ、高電圧電
極用冷却水供給配管（９）内を鬼れる冷却水により常時
冷却させられ、レーザ光の出力が低下しないようになっ
ている。
ともに温度上昇する。レーザガスは温度が上昇すると、
レーザガス中のＣＯ２が解離してｃ Ｏ２ｍ度が低下し
、レーザ光の出力が低下する。このため、レーザガスは
レーザガス供給ブロワ（５）で循環させられ、高電圧電
極用冷却水供給配管（９）内を鬼れる冷却水により常時
冷却させられ、レーザ光の出力が低下しないようになっ
ている。
上記のような従来のレーザ発振器では、一体αＱにおけ
る高電圧電極用冷却水供給配管（９）や反射鏡用冷却水
供給配管（８）の継手等の万一の漏水に対しては筐体α
Ｑが密封されていることから少量・の水分量の漏水を検
知するのが難しかった。しかるに、筐体ｑｑ内に漏水に
よって蓄えられる水弥が多くなった場合には、その漏水
による内部のん出配線の短絡事故を短気的に検知して制
御回路によってレーザ発振の停止を行うこととか、又は
筺体叫内の漏水量の増加？（よるガス圧力変化を圧力セ
ンナで検知して制御回路によってレーザ発振の停止を行
うことなどしてレーザ発振器の保護を行っていた。
る高電圧電極用冷却水供給配管（９）や反射鏡用冷却水
供給配管（８）の継手等の万一の漏水に対しては筐体α
Ｑが密封されていることから少量・の水分量の漏水を検
知するのが難しかった。しかるに、筐体ｑｑ内に漏水に
よって蓄えられる水弥が多くなった場合には、その漏水
による内部のん出配線の短絡事故を短気的に検知して制
御回路によってレーザ発振の停止を行うこととか、又は
筺体叫内の漏水量の増加？（よるガス圧力変化を圧力セ
ンナで検知して制御回路によってレーザ発振の停止を行
うことなどしてレーザ発振器の保護を行っていた。
このように、従来のレーザ発振器にあっては、漏水量が
多い場合にはレーザ発振器の一応の保護は可能であるが
、少量の漏水に対する早期の検知は難しく、漏水事故初
期状態での適切な処置をとることは極めて困難であり、
保守・管理上の難点があるという問題点があった。
多い場合にはレーザ発振器の一応の保護は可能であるが
、少量の漏水に対する早期の検知は難しく、漏水事故初
期状態での適切な処置をとることは極めて困難であり、
保守・管理上の難点があるという問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するだめになされたも
ので、放電用ガス収納容器内において、少量の漏水が生
じた場合にもその漏水を早期に検知してレーザ発振の停
止などの適切な処置が講じられ、保守・管理が容易で安
心して使用することができるレーザ発振器を得ることを
目的とする。
ので、放電用ガス収納容器内において、少量の漏水が生
じた場合にもその漏水を早期に検知してレーザ発振の停
止などの適切な処置が講じられ、保守・管理が容易で安
心して使用することができるレーザ発振器を得ることを
目的とする。
この発明Ｖ（係るレーザ発振器は、高電圧電極、共振用
反射鏡、部分反射鏡、レーザガスの流通路及び冷却水供
給配管等を収納した放電用ガス収納容器内での水分量の
増加を検知し得る露点センサと、異常作動手段と、露点
センサからの検知信号を受けて異常作動手段を駆動させ
る制御回路とを具備するように構成したものである。
反射鏡、部分反射鏡、レーザガスの流通路及び冷却水供
給配管等を収納した放電用ガス収納容器内での水分量の
増加を検知し得る露点センサと、異常作動手段と、露点
センサからの検知信号を受けて異常作動手段を駆動させ
る制御回路とを具備するように構成したものである。
この発明に２いては、放電用ガス収納容器内での漏水に
よる水分量の増加を露点セ／すで検知し、露点センサか
らの検知信号を受けて制御回路が異常作動手段を駆動さ
せ、異常作動手段によって異常警報を発したり、レーザ
発振を停止させたり、又は冷却水の供給を停止させたり
等の適切な処置を講じることができる。
よる水分量の増加を露点セ／すで検知し、露点センサか
らの検知信号を受けて制御回路が異常作動手段を駆動さ
せ、異常作動手段によって異常警報を発したり、レーザ
発振を停止させたり、又は冷却水の供給を停止させたり
等の適切な処置を講じることができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す一部を切欠した正面
図である。この実施例で従来０１１と同一の構成は同一
符号を付して説明を省略し、従来例と相違する制御０つ
いて説明する。αυは放血用ガス収納容器でおる筐体四
回の水分１ｉ：を検知する露点センサで、筐体（１（Ｉ
に露点上／すαＱの検知部が筐体−の内部に臨むよう設
けられている。ｑすは異常作動手段である異常粁報器（
図示省略）を１駆動させる制御回路で、露点セ／すＱυ
からの検知信号を受けて動作する。
図である。この実施例で従来０１１と同一の構成は同一
符号を付して説明を省略し、従来例と相違する制御０つ
いて説明する。αυは放血用ガス収納容器でおる筐体四
回の水分１ｉ：を検知する露点センサで、筐体（１（Ｉ
に露点上／すαＱの検知部が筐体−の内部に臨むよう設
けられている。ｑすは異常作動手段である異常粁報器（
図示省略）を１駆動させる制御回路で、露点セ／すＱυ
からの検知信号を受けて動作する。
上記のようＶ′ＬＬ構成されたレーザ発振器においては
、ｈ点センサαυは筐体ｑＱ内の露点を常時監視してい
る。そして、通常、筺体００内の露点は−４０〜−６０
’Ｃ程度に維持さルているが、例えは高電圧電極用冷却
水供給配管（９）の継手から極くわずかな漏水が生じる
と、その漏水によって極く微量の水分量かレーザガスに
混入し、予め決められた適正水分＠ＶＣ対してレーザガ
スの水分量か増加する。
、ｈ点センサαυは筐体ｑＱ内の露点を常時監視してい
る。そして、通常、筺体００内の露点は−４０〜−６０
’Ｃ程度に維持さルているが、例えは高電圧電極用冷却
水供給配管（９）の継手から極くわずかな漏水が生じる
と、その漏水によって極く微量の水分量かレーザガスに
混入し、予め決められた適正水分＠ＶＣ対してレーザガ
スの水分量か増加する。
セして、その水分量がレーザガスに混入した時点で、露
やか１袋、激Ｖこ低下する。このとき、露点センサ（１
ηはぞの現象を検知するので、極くわずかな漏水でも恢
知できること１（なる。
やか１袋、激Ｖこ低下する。このとき、露点センサ（１
ηはぞの現象を検知するので、極くわずかな漏水でも恢
知できること１（なる。
このようにして検知した露点センサαυからの検知信号
を制御回路伏りが受けとると、匍ｊ御回路（ハ）が動作
して異常警報器を駆動させ、異飄Ｗ報を発し、漏水によ
る異常を早期に知ることができる。その漏水の具体的な
程度は例えば、′にじみ出る“程度のものである。この
上うｖＬＸ漏水による異常を早く知ることができるので
、レーザガスへ水分が混入することにより、レーザ光の
吸収が激しくなって出力低下をきたし、その１ま加工作
業を続行しなくても済むこととなり、昔だ装置を止めて
早期に点検することもできる。
を制御回路伏りが受けとると、匍ｊ御回路（ハ）が動作
して異常警報器を駆動させ、異飄Ｗ報を発し、漏水によ
る異常を早期に知ることができる。その漏水の具体的な
程度は例えば、′にじみ出る“程度のものである。この
上うｖＬＸ漏水による異常を早く知ることができるので
、レーザガスへ水分が混入することにより、レーザ光の
吸収が激しくなって出力低下をきたし、その１ま加工作
業を続行しなくても済むこととなり、昔だ装置を止めて
早期に点検することもできる。
なお、上記実施例では、異常作動手段として警報器の例
を示したが、これに限られるものではなく、異常作動手
段を例えば、高電圧ケーブル（４）に設けられた回路切
断スイツチとしてもよい。この場合には、制御回路（２
）によって回路切斬スイッチがオフとなるように５引動
させられて高電圧゛電極（１）。
を示したが、これに限られるものではなく、異常作動手
段を例えば、高電圧ケーブル（４）に設けられた回路切
断スイツチとしてもよい。この場合には、制御回路（２
）によって回路切斬スイッチがオフとなるように５引動
させられて高電圧゛電極（１）。
（１ンへの高電圧の供給がスｊ・ノブされ、レーザ発振
が停止させられる。従って、露出配線が短絡を起こし、
絶縁破壊等の損傷事故を生じさせることはなくなる。
が停止させられる。従って、露出配線が短絡を起こし、
絶縁破壊等の損傷事故を生じさせることはなくなる。
また、異常作動手段を例えば高電圧電極ｅ用冷却水供給
配管（９）の冷却水供給口に設けられた電磁弁としても
よい。この場合にはｊｆｉｌｌ ｎ回路（６）によって
電磁弁が閉止するように駆動させられて冷却水供給配管
（９）への冷却水の供給がストップされ、漏水が最小限
に抑えられめ。
配管（９）の冷却水供給口に設けられた電磁弁としても
よい。この場合にはｊｆｉｌｌ ｎ回路（６）によって
電磁弁が閉止するように駆動させられて冷却水供給配管
（９）への冷却水の供給がストップされ、漏水が最小限
に抑えられめ。
ところで、上記説明では、この発明のレーザ発振器のタ
イプが６軸直交形ｍｌ」ち、放゛嘔用電極方向し−ザガ
ス流剋方向及びレーザ光発振の方向がそれぞれ直角に交
叉した方式のものについて述べたが、Ｎ”ｆ記６万同の
うち２つが同軸の２軸直交形か６つが同軸の同軸形のも
の（′Ｌも適用でさることはいうまでもない。
イプが６軸直交形ｍｌ」ち、放゛嘔用電極方向し−ザガ
ス流剋方向及びレーザ光発振の方向がそれぞれ直角に交
叉した方式のものについて述べたが、Ｎ”ｆ記６万同の
うち２つが同軸の２軸直交形か６つが同軸の同軸形のも
の（′Ｌも適用でさることはいうまでもない。
この発明は以上説明したとおり、放電用ガス収納’６１
６内での冷却水供給配管等の漏水による水分量の工冒加
を露点セ／すで検知し、露点セッサからの検知伯秤を父
けたんり岬回路の動作Ｖこより、異常作動手段’３：
＞ｍ ！ｉ坊芒せるようＶこした購成により、早世１ｖ
ｔ−漏水ケ検知し、例えば異常警報を発するなどして携
切ｌ処理か慣めて早く１丁え、史（′（レーザ冗振齋へ
与える絶像破壊寿の損傷を防止でき、保寸漬理も各別に
イボえるという刈呆刀・るる。
６内での冷却水供給配管等の漏水による水分量の工冒加
を露点セ／すで検知し、露点セッサからの検知伯秤を父
けたんり岬回路の動作Ｖこより、異常作動手段’３：
＞ｍ ！ｉ坊芒せるようＶこした購成により、早世１ｖ
ｔ−漏水ケ検知し、例えば異常警報を発するなどして携
切ｌ処理か慣めて早く１丁え、史（′（レーザ冗振齋へ
与える絶像破壊寿の損傷を防止でき、保寸漬理も各別に
イボえるという刈呆刀・るる。
第１図はこの発明のレーザ発振器の一実施りＪを示す一
部を切欠した正面図、第２図は目］じレーザ発振器の断
面図、第６図は従来のレーザ発振器の断面図である。 図において、（１）は高電圧電極、（６）Ｉｔ′ｉ共振
用反射鏡、（７）は部分反射鏡、（９）は高電圧電極用
冷却水供給配管、（１０は筐体（放電用ガス収納容器）
、αηは露点セ／す、（６）は制御回路である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
部を切欠した正面図、第２図は目］じレーザ発振器の断
面図、第６図は従来のレーザ発振器の断面図である。 図において、（１）は高電圧電極、（６）Ｉｔ′ｉ共振
用反射鏡、（７）は部分反射鏡、（９）は高電圧電極用
冷却水供給配管、（１０は筐体（放電用ガス収納容器）
、αηは露点セ／す、（６）は制御回路である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (4)
- （１）レーザガスを放電によつて励起し、その誘導放出
によつてレーザ光を出力するレーザ発振器において、該
レーザ発振器は高電圧電極、共振用反射鏡、レーザガス
の流通路及び冷却水供給配管等を収納した放電用ガス収
納容器内での水分量の増加を検知し得る露点センサと、
異常作動手段と、該露点センサからの検知信号を受けて
該異常作動手段を駆動させる制御回路とを具備したこと
を特徴とするレーザ発振器。 - （２）前記異常作動手段は、前記制御回路によつて駆動
させられ、異常警報を発信する手段であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。 - （３）前記異常作動手段は、前記制御回路に駆動させら
れ、レーザ発振を停止させる手段であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。 - （４）前記異常作動手段は、前記制御回路によつて駆動
させられ、前記冷却水供給配管への冷却水の供給を停止
させる手段であることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19271984A JPS6171684A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19271984A JPS6171684A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6171684A true JPS6171684A (ja) | 1986-04-12 |
Family
ID=16295921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19271984A Pending JPS6171684A (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6171684A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7652224B2 (en) * | 2005-06-07 | 2010-01-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor wafer marking apparatus having marking interlock system and semiconductor wafer marking method using the same |
| JP2019047017A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | ファナック株式会社 | レーザ装置の水漏れ検知システム |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP19271984A patent/JPS6171684A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7652224B2 (en) * | 2005-06-07 | 2010-01-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor wafer marking apparatus having marking interlock system and semiconductor wafer marking method using the same |
| JP2019047017A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | ファナック株式会社 | レーザ装置の水漏れ検知システム |
| US10670487B2 (en) | 2017-09-05 | 2020-06-02 | Fanuc Corporation | Water leakage detection system for laser device |
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