JPH0439480A

JPH0439480A - 真空装置用両圧対応型ロードロックバルブ

Info

Publication number: JPH0439480A
Application number: JP14396490A
Authority: JP
Inventors: Tomio Morita; 森田　富実雄; Masayuki Suzuki; 雅行鈴木; Daiya Aoki; 青木　大也; Fumio Muramatsu; 村松　文雄
Original assignee: Kokusai Electric Co Ltd
Current assignee: Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 1990-05-31
Filing date: 1990-05-31
Publication date: 1992-02-10
Anticipated expiration: 2009-10-05
Also published as: JPH0678790B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は半導体製造装置に使用される真空装置において
、多室の成膜室等を連結し、それぞれの用途に合わせた
クリーンな真空室を可能にする、面圧対応型ロードロツ
タバルブに関する。

〔従来技術〕

ロードロツタバルブは、多室の成膜室から成るインライ
ン装置等に使用され、成膜室（反応室）で成膜され、完
了後、次工程へ製品を移動する際必要なバルブである。

このバルブの開閉時、塵埃粒子の発生、閉時の他反応室
へのリークが問題となる。

従来のロードロツタバルブの構造としては、通常、第５
図に示すようなバルブが用いられている。

即ち第１．第２室１１　、１２間に接続されたボディ３
３にシリンダ３４が取付けられ、ボディ３３内部には第
１、第２室１１　、１２にそれぞれ連通するボディ３３
の開口３３ａ　＝　３３ｂを開閉するバルブ３８及びカ
ウンタプレート３９、それにＯリング３７．リーフスプ
リンり４０．　ボールベアリング４１．ボールリテーナ
４２及びリーフスプリングストップ４３が設けられ、こ
れらがエアシリンダ３４のピストン３５に設けられたピ
ストンロッド３６に取付けられた構成になってＧ）る。

パルプ３８閉時、エアシリンダ３４のピストン３５が左
方に押しつけられた状態で、７Ｎ／ルブ３８開の状態に
操作すると、シリンダ３４内をピストン３５及びピスト
ンロッド３６が右方に動作する。この時ボールリテーナ
４２が右方に移動する。ボールリテーナ４２がバルブ３
８とカウンタプレート３９へのへこみまで移動すると、
リーフスプリング４０の力でノくバルブ３８とカウンタ
プレート３９が引き込まれ、ボディ３３の壁面より離れ
る。その後ノくルブ３８とカウンタプレート３９は、ボ
ールリテーナ４２と共に右方に移動し、シリンダストロ
ークエンドで止まり、ノくバルブは開の状態となる。バ
ルブ閉の状態への動作は前記とは逆の過程でバルブは閉
の状態となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のような従来例にあっては、開閉動作時、ボールベ
アリング４１のころがり接触、カウンタプレート３９の
ボディ３３壁面の接触により塵埃粒子発生原因となる。

また成膜室１１　、１２同志をロードロツタバルブで連
結した場合、バルブ３８が片側のみとなるため、両反応
室の圧力差がある場合、リーク発生の原因となる。この
塵埃粒子とリーク発生は成膜品質を大きく左右する要因
となるという課題があるばかりでなく、従来例は組立順
序の制約があり、組立性、保守性に難があるという課題
がある。

本発明の目的は、多室の成膜室から成る装置等において
、それぞれの室側にバルブを設け、画室の差圧によるリ
ーク発生を防止すること及びバルブ開閉時の摺動面を低
減し塵埃粒子の発生を抑制することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明バルブは上記の課題を解決し上記の目的を達成す
るため、第１図示のように第１．第２室１１　、１２に
それぞれ第１．第２ボディ１．２を相対向して取付け、
第１．第２室１１　、１２にそれぞれ連通する第１．第
２ボディ１．２の開口１ａ　＝　２ａを開閉する第１．
第２バルブ３．４を設け、第１．第２ボディ１，２にそ
れぞれ回転可能に第１．第２シャフト５．６で第１．第
２アーム７．８を枢支し、この第１．第２了−ム７，８
の先端部にそれぞれ第１．第２バルブ３．４を第１．第
２枢支軸９．１０で取付けてなる構成としたものである
。

〔作　用〕

第１バルブ３を開くときは、第１シャフト５を一方向に
回転すると、この第１シャフト５に固定された第１アー
ム７が一方向に回転し、この第１アーム７の先端部に第
１枢支軸９で取付けられた第１バルブ３が一方向に回転
し、第１バルブ３が開かれる。同様に第２シャフト６を
他方向に回転すると、この第２シャフト６に固定された
第２アーム８が他方向に回転し、この第２アーム８の先
端部に第２枢支軸ＩＯで取付けられた第２バルブ４が他
方向に回転し、第２バルブ４が開かれる。

第１．第２バルブ３．４を閉じるときは、上記の動作の
逆を行えば、第１．第２バルブ３．４は閉じられる。

しかしてバルブ開閉時の摺動面は第１．第２シャフト５
．６及び第１．第２枢支軸９，１０の回転部分のみであ
り、従来例に比して摺動面を大幅に低減できることにな
り、また、第１．第２シャフト５．６を十分な力で回転
させて第１．第２バルブ３．４を開閉させることにより
第１．第２室１］、１２間に真空差圧があっても従来例
とは異なりリーク発生を抑制できることになる。

〔実施例〕

以下図面により本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明バルブの一実施例の構成を示す簡略断面
図で、１１は第１室１例えば第１成膜室、１２は第２室
９例えば第２成膜室（またはロードロツタ室）である。

第１．第２成膜室１１　、１２にはそれぞれ第１．第２
ボディ１，２が相対向しで取付けられ、第１．第２成膜
室１１　、１２にそれぞれ連通する第１．第２ボディ１
，２の開口１ａ　、　２ａを開閉する第１．第２バルブ
３．４が設けられている。

第１．第２ボディ１．２にはそれぞれ回転可能に第１．
第２シャフト５．６で第１．第２アーム７．８が枢支さ
れ、この第１．第２アーム７．８７の先端部にはそれぞ
れ第１．第２バルブ３．４が第１．第２枢支軸９．１０
で取付けられている。

第１ボディ１にはガイドブツシュ１７が設けられ、第２
ボディ２にガイド受け１９で支持されたガイドポスト１
８がガイドブツシュ１７に挿入されて第１ボディ１が第
２ボディ２に対しガイドされている。

第２ボディ２の支持部１５に軸受１６を介して支承され
た押しボルト１４が第１ボディ１のナツト１３に螺合さ
れており、押しボルト１４の回転により第１゜第２ボデ
ィ１，２間の距離を調整する構成になっている。２０〜
２４はシール材、２５は取付はボルトである。

第２図は本発明におけるバルブ開閉機構の第１例の構成
を示す説明図で、この第１例はボディ１に連結したエア
シリンダまたは油圧シリンダ２９の作動によりリンク３
０を介してギヤ軸２８に固定された駆動ギヤ２７．これ
に噛合された被動ギヤ２６及びこれに固定された第１シ
ャフト５を両方向回転でき、延いては第１バルブ３を開
閉できる構成になっている。第２シャフト５の回転につ
いても同様で第２バルブ４を開閉できる構成になってい
る。

この第１例においてはシリンダ２９がボディ１よりはみ
出ず、装置全体が従来例に比しコンパクトにできるとい
う効果がある。

第３図は本発明におけるバルブ開閉機構の第２例の構成
を示す説明図で、この第２例はボディ１に第１シャフト
５をこれに連結した電気モータまたは油圧モータ３１に
より両方向回転でき、延いては第１バルブ３を開閉でき
る構成になっており、第２シャフト６の回転についても
同様で第２バルブ４を開閉できる構成になっている。

この第２例にあっては従来例に比し部品点数を削減でき
、かつモータ３１がボディよりはみ出ずコスト低減とコ
ンパクト化を図ることができるという効果がある。

第４図は本発明におけるバルブ開閉機構の第３例の構成
を示す説明図で、この第３例はボディ１に連結したエア
シリンダまたは油圧シリンダ２９の作動によりリンク３
０及びレバー３２を介してこのレバー３２に取付けられ
た第１シャフト５を両方向回転でき、延いては第１バル
ブ３を開閉できる構成になっており、第２シャフト６の
回転についても同様で第２バルブ４を開閉できる構成に
なっている。この第３例においても上記第１．第２例と
同様従来例に比し装置がコンパクトになり、装置の有効
面積活用に大きな効果がある。

上記の第１実施例の構成において第１成膜室１１で成膜
作業が終了すると、まず、第１バルブ３を開いて成膜製
品を第１．第２ボディ１．２内（本発明バルブ内）に移
動する。即ち、第１シャフト５を第１図において反時計
方向に回転すると、この第１シャフト５に固定された第
１アーム７が反時計方向に回転し、この第１アーム７の
先端部に第１枢支軸９で取付けられた第１バルブ３が反
時計方向に回転し、第１バルブ３が開かれる。この第１
バルブ３が開かれた状態で、第１成膜室１１より成膜製
品を第１．第２ボディ１，２内に移動する。しかる後、
第１バルブ３は上記の動作とは逆の動作を行うことによ
り閉じられる。

次に第２シャフト６を時計方向に回転すると、この第２
シャフト６に固定された第２アーム８が時計方向に回転
し、この第２アーム８の先端部に第２枢支軸１０で取付
けられた第２バルブ４が時計方向に回転し、第２バルブ
４が開かれる。この第２バルブ４が開かれた状態で、第
１．第２ボディ１．２内にある成膜製品を第２成膜室１
２内に移す。

しかる後、第２バルブ４は上記の動作とは逆の動作を行
うことにより閉じられる。この第２成膜室１２内で成膜
製品は更に成膜されて次の本発明バルブ内に移動される
ことになる。

しかしてバルブ開閉時の摺動面は第１．第２シャフト５
．６及び第１．第２枢支軸９．１０の回転部分のみであ
り、従来例に比して摺動面を大幅に低減できることにな
り、塵埃粒子の発生を抑制できることになる。

また、第１．第２シャフト５．６を十分な力で回転させ
て第１．第２バルブ３．４を開閉させることにより第１
．第２成膜室１１　、１２間に真空差圧があっても従来
例とは異なりリーク発生を抑制できることになる。

本発明バルブを装置に取り付ける場合、本発明バルブに
あっては、第１ボディ１が第２ボディ２に対しガイドポ
スト１８によりガイドされていると共に第２ボディ２に
支承された押しボルト１４が第１ボディ１のナツト１３
に螺合されているので、押しボルト１４の回転操作によ
り第２ボディ２に対し第１ボディ１がガイドされつつ、
近接離反が可能となり、第１．第２成膜室１１　、１２
間の距離に誤差があっても押しホト１４の回転操作によ
り対処でき、装置への脱着、延いては組立性、保守性が
向上することになる。

〔発明の効果〕

上述のように本発明によれば、第１．第２室１１１２に
それぞれ第１．第２ボディ１，２を相対向して取付け、
第１．第２室１１　、１２にそれぞれ連通する第１．第
２ボディ１．２の開口１ａ　、　２ａを開閉する第１．
第２バルブ３．４を設け、第１．第２ボディ１．２にそ
れぞれ回転可能に第１．第２シャフト５．６で第１．第
２アーム７．８を枢支し、この第１．第２アーム７．８
の先端部にそれぞれ第１．第２バルブ３．４を第１．第
２枢支軸９１０で取付けてなるので、バルブ開閉時の摺
動面は第１．第２シャフト５．６及び第１．第２枢支軸
９．１０の回転部分のみであり、従来例に比して摺動面
を大幅に低減でき、塵埃粒子の発生を大幅に抑制するこ
とができる。また、第１．第２シャフト５．６を回転さ
せて第１．第２バルブ３．４を開閉させることにより第
１．第２室１１　、１２間に真空差圧があっても従来例
より遥かにリーク発生を抑制することができるばかりで
なく、本発明による面圧対応型ロードロックバルブによ
り連結した第１゜第２室１１　、１２を、それぞれ目的
に合った真空度に容易にできる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明バルブの一実施例の構成を示す簡略断面
図、第２図は本発明におけるバルブ開閉機構の第１例の
構成を示す説明図、第３図は本発明におけるバルブ開閉
機構の第２例の構成を示す説明図、第４図は本発明にお
けるバルブ開閉機構の第３例の構成を示す説明図、第５
図は従来バルブの一例の構成を示す簡略断面図である。１．２・・・・・・第１．第２ボディ、３．４・・・・
・・第１゜第２バルブ、５．６・・・・・・第１．第２
シャフト、７８・・・・・・第１．第２アーム、９．１
０・・・・・・第１．第２枢支軸、１１・・・・・・第
１室（第１成膜室）、１２・・・・・・第２室（第２成
膜室またはロードロック室）、１３・・・・・・ナツト
、１４・・・・・・押しボルト、１５・・・・・・支持
部、１６・・・・・・軸受、１７・・・・・・ガイドブ
ツシュ、１８・・・・・・ガイドポスト、１９・・・・
・・ガイド受け。箋ｑ図毫

Claims

【特許請求の範囲】

（１）第１、第２室（１１、１２）にそれぞれ第１、第
２ボディ（１、２）を相対向して取付け、第１、第２室
（１１、１２）にそれぞれ連通する第１、第２ボディ（
１、２）の開口（１ａ、２ａ）を開閉する第１、第２バ
ルブ（３、４）を設け、第１、第２ボディ（１、２）に
それぞれ回転可能に第１、第２シャフト（５、６）で第
１、第２アーム（７、８）を枢支し、この第１、第２ア
ーム（７、８）の先端部にそれぞれ第１、第２バルブ（
３、４）を第１、第２枢支軸（９、１０）で取付けてな
る真空装置用両圧対応型ロードロックバルブ。
（２）第１、第２ボディ（１、２）はガイドポスト（１
８）でガイドされ、両者間の距離調整手段を備えている
請求項第１項記載の真空装置用両圧対応型ロードロック
バルブ。