JPH0439655Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は電子顕微鏡等の試料汚染防止装置の改
良に関する。

［従来技術］ 電子顕微鏡等では、試料の汚染を防止するた
め、試料の近傍を低温に保たれた金属で被い、試
料近傍まで飛来して来た汚染原因となる粒子を前
記金属に吸着させトラツプしている。

この様な装置では、前記冷却トラツプを冷媒が
収納された冷媒容器に熱伝導棒等により熱的に接
続し、該熱伝導棒を断熱材等で被つて鏡筒等で支
持するようにしている。

［考案が解決しようとする問題点］ 従つて、該熱伝導棒と断熱材等の支持部材との
接触面積が大きく、冷媒容器内の冷媒の沸騰によ
る振動は熱伝導棒、支持部材等を介して鏡筒等に
伝わり、更に鏡筒等に支持された試料ステージに
伝わるため、試料が振動することとなり、特に高
分解能の電子顕微鏡等では試料の振動によつて像
の分解能が低下する等の欠点があつた。

本考案は以上の点に鑑みなされたもので、冷媒
容器に熱的に接続された冷却トラツプを試料近傍
に配置した装置において、該冷媒容器内の冷媒の
沸騰による試料の振動を防止した電子顕微鏡等の
試料汚染防止装置を提供することを目的としてい
る。

［問題点を解決するための手段］ 本目的を達成するための本考案は、熱伝導棒に
その一端が支持され光軸に垂直な方向から対物レ
ンズの上下磁極片間に挿入される冷却フインと、
該冷却フインの他端を支持するため光軸に垂直な
方向から挿入される支持軸と、該熱伝道棒に熱的
に接続された冷媒容器と、該冷媒容器と熱伝導棒
を包囲し鏡筒に接続された真空容器とを備え、前
記熱伝導棒壁面と鏡筒に取り付けられた支持筒と
の間に間隙が設けられており、該熱伝導棒を前記
支持軸に押圧するための弾性体が該間隙内に収納
されていることを特徴としている。

［実施例］ 以下本考案の実施例を図面を用いて詳述する。

第１図は本考案の一実施例を示す構成断面図で
ある。第１図において、１は試料２を保持する試
料筒、３は対物レンズ上磁極片、４は対物レンズ
下磁極片で、該試料筒１は鏡筒５に支持された試
料ステージ６によつて前記対物レンズ上磁極片３
の電子線通過孔３ａに挿入されている。７は対物
レンズ上磁極片３と対物レンズ下磁極片４の間隙
に挿入された冷却フインである。該冷却フイン７
は第２図に示すように前記試料筒１が挿入される
孔７ａを有しており、該冷却フイン７の一端は光
軸Ｚに垂直な方向よりビス１０によつて熱的に接
続された熱伝導棒１１によつて支持されており、
その他端は光軸Ｚに垂直な方向より前記鏡筒５を
真空を保持して貫通する支持軸９にルビー球８を
介して支持されている。１２は熱伝導棒１１を鏡
体５に支持すると共に、該熱伝導棒１１よりの熱
が鏡体５に伝わらないように断熱するための例え
ばベークライトで形成された支持筒である。又、
熱伝導棒１１と支持筒１２との間には間隙ｇが形
成されている。又、支持筒１２は熱伝導棒１１を
接触部分イ及びロにおいてのみ支持している。第
１図のＡ−A′断面及びＢ−B′断面を示す第３図
及び第４図より明らかなように、これらの部分に
は複数の排気孔ｓが形成されている。１３は該熱
伝導棒１１と液体窒素容器１４とを熱的に接続す
るための網線であり、１５は液体窒素容器１４を
収納する真空容器である。１６は熱伝導棒１１を
常に支持軸９に向けて押圧するスプリングであ
る。１７は支持軸９の挿入量を調整するためのナ
ツト体である。１８は対物レンズヨーク、１９は
対物レンズコイルである。２０及び２１は鏡筒５
内及び真空容器１５内の真空を保持するＯリング
である。

このように構成された装置では、試料２の近傍
に飛来した試料を汚染する粒子を、試料筒１の近
傍に配置された冷却フイン７に吸着させてトラツ
プしている。ここで、熱伝導棒１１はスプリング
１６のバネ圧力によつて常に支持軸９に向けて押
圧されているため、ナツト体１７を例えば右に回
転させると支持軸９が前記スプリング１６のバネ
圧力に打勝つて移動するため、冷却フイン７を矢
印Ｒ方向に移動させることができる。又、ナツト
体１７を前記とは逆に左に回転させると支持軸９
が前記スプリング１６のバネ圧力によつて移動す
るため、冷却フイン７を矢印Ｌ方向に移動させる
ことができる。そのため、該冷却フイン７の試料
筒１に対する位置を調整できる。又、上記スプリ
ングの押圧により該冷却フイン７や熱伝導棒１１
の熱収縮によつて冷却フイン７とルビー球８との
間に間隙ができることがないから、冷却フイン７
を常に両持ちでしつかりと支持することができ、
磁極片３または４に冷却フイン７が接触すること
はない。従つて、冷却フインを低温に保持するこ
とができると共に試料への振動の伝達を押えるこ
とができる。更に、熱伝導棒１１と支持筒１２と
の間には間隙ｇが形成されると共に、熱伝導棒１
１を支持軸９側に押圧するためのスプリング１６
が間隙ｇ内に収納され、該熱伝導棒１１はイ，ロ
部分及びスプリング１６によつてのみ接触するだ
けであるため、熱伝導棒と鏡筒に取り付けられた
支持部材等との接触面積が大きい従来装置に比較
して冷媒の沸騰による振動が熱伝導棒等を介して
鏡筒側に伝わりにくく、試料の振動に基因する分
解能の低下を押えることができる。更に又、上記
接触部分が少ないことから、鏡筒側より冷却フイ
ンへの熱の流入が少なく冷却フインを低温に保持
することができる。

尚、本考案は上記実施例に限定されず、冷却フ
インに孔を設け、この孔に冷却フインの挿入方向
とは垂直な方向からサイドエントリー試料ホルダ
ーを挿入するようにした試料装置にも本考案は同
様に適用することができる。

［考案の効果］ 以上詳述した様に本考案によれば、冷媒容器に
熱的に接続された冷却トラツプを試料近傍に配置
した装置において、該冷却トラツプに接続された
熱伝導棒と該熱伝導棒を支持する支持筒との間に
間隙を形成すると共に、熱伝導棒を支持軸に押圧
するためのスプリングをこの間隙内に収容するよ
うにしたため、冷媒の沸騰による振動が熱伝導棒
等を介して試料に伝わりにくく、従つて、高分解
能の電子顕微鏡像を観察する場合でも試料の振動
によつて像の分解能が低下することはない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構成断面図、
第２図は冷却フインと支持軸及び熱伝導棒等の係
合状態を説明するための図、第３図はＡ−A′断
面、第４図はＢ−B′断面である。 １……試料、２……試料筒、３……対物レンズ
上磁極片、４……対物レンズ下磁極片、５……鏡
筒、６……試料ステージ、７……冷却フイン、８
……ルビー球、９……支持軸、１０……ビス、１
１……熱伝導棒、１２……支持筒、１３……網
線、１４……液体窒素容器、１５……真空容器、
１６……スプリング、１７……ナツト体、１８…
…対物レンズヨーク、１９……対物レンズコイ
ル、２０，２１……Ｏリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 熱伝導棒にその一端が支持され光軸に垂直な方
   向から対物レンズの上下磁極片間に挿入される冷
   却フインと、該冷却フインの他端を支持するため
   光軸に垂直な方向から挿入される支持軸と、該熱
   伝道棒に熱的に接続された冷媒容器と、該冷媒容
   器と熱伝導棒を包囲し鏡筒に接続された真空容器
   とを備え、前記熱伝導棒側面と鏡筒に取り付けら
   れた支持筒との間に間隙が設けられており、該熱
   伝導棒を前記支持軸に押圧するための弾性体が該
   間隙内に収納されていることを特徴とする電子顕
   微鏡等の試料汚染防止装置。