JPH0244446Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は電子顕微鏡等において、試料の汚染を
防止するための試料汚染防止装置に関する。

［従来の技術］ 電子顕微鏡等においては、試料の汚染を防止す
るため試料の近傍を低温に保たれた金属で被い、
試料の近傍まで飛行してきた汚染原因となる粒子
を前記金属に吸着させトラツプして試料の汚染を
防止している。第２図は、例えばトツプエントリ
ー型の試料装置に適合させるように製作された従
来の試料汚染防止装置を示すもので、図中１は試
料ステージ、２は電子レンズを構成するためのポ
ールピースユニツトで、該ポールピースユニツト
２は対物レンズの上磁極片２ａ、対物レンズの下
磁極片２ｂをスペーサ３を介して対向させ一体的
に組み立てたものである。４は試料ステージ１の
受けに挿入されたトツプエントリー型の試料筒
で、５は試料筒４に保持された試料である。６は
例えば銅（Cu）で形成された外側冷却フインで
あり、冷却フイン６の内側には同じ部材で形成さ
れた内側冷却フイン７が備えられている。これら
の冷却フインは、鏡体８の大気側に設けられた液
体窒素容器９に可撓性の熱伝導部材１０と熱伝導
棒１１とを介して接続されており、極めて低い温
度に保たれるため有効に前記粒子をトラツプする
ことができる。

［考案が解決しようとする問題点］ しかし乍らこのように構成された従来装置で
は、ポールピースユニツトを交換して例えば観察
倍率を標準倍率80万倍から超高倍率120万倍とし
て観察する場合には、内側冷却フインをその都度
取外してポールピースユニツトを交換しなければ
ならずポールピースユニツトの交換作業が繁雑に
なる欠点があつた。

本考案は以上の欠点を解消するためになされた
もので、ポールピースユニツトの交換作業を容易
にした試料汚染防止装置を提供することを目的と
している。

［問題点を解決するための手段］ 本問題点を解決するための本考案の構成は、一
対の磁極片を一体的に固定したポールピースユニ
ツトと、該ユニツトを囲むように配置された筒状
冷却フインと、該冷却フインを伝熱部材を介して
大気側より冷却する冷却手段と、該両磁極片と熱
的に遮断された状態で該一対の磁極片の間に位置
するように該ユニツトに一体的に取付けられた冷
却トラツプとを備え、前記ユニツトを冷却フイン
に挿入した際に該冷却トラツプが該冷却フインに
熱接触するように構成されていることを特徴とし
ている。

［実施例］ 以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。

第１図は本考案の一実施例の構成図であり、第
２図の従来装置と同一構成要素には同一番号を付
してその説明を省略する。第１図において、１２
は前記対物レンズの上磁極片２ａと対物レンズの
下磁極片２ｂとを接続するためのスペーサで、該
スペーサ１２には断熱材１３を介して例えばベリ
リユウム銅（BeCu）で形成された弾性力を有す
るＵ字状のヒートコンダクタ（熱伝導体）１４
ａ，１４ｂが断熱ビス１５ａ，１５ｂによつて取
付けられている。１６ａ，１６ｂはスペーサ１２
を貫通しヒートコンダクタ１４ａ，１４ｂにろう
付等により固定された冷却トラツプで、それぞれ
の冷却トラツプの先端部は前記試料筒４の試料保
持部分に最接近するように固定されている。

このように構成された装置では、スペーサ１２
に取付けられヒートコンダクタ１４ａ，１４ｂが
冷却フイン６の内側に適当な押圧力で接触し、上
磁極片２ａ、下磁極片２ｂ、スペーサ１２及びヒ
ートコンダクタ等で構成されるポールピースユニ
ツト２Ａと冷却フイン６とは挿脱可能に形成され
ている。このように構成するとにより、ポールピ
ースユニツト２Ａが冷却フイン６内に挿入された
状態では、冷却トラツプ１６ａ，１６ｂはヒート
コンダクタ１４ａ，１４ｂ及び冷却フイン６を介
して極めて低い温度に保たれる。従つて、試料の
近傍まで飛行してきた汚染原因となる粒子を冷却
トラツプに吸着させて捕獲できるため、試料の汚
染を防止することができる。

さて、このように構成された装置では、例えば
観察倍率を変えて観察するためポールピースユニ
ツトを交換する場合、内側冷却フインをその都度
取外すことなく、ポールピースユニツトを冷却フ
インに挿脱するだけでポールピースユニツトを容
易に交換し得る。

尚、本実施例においては、トツプエントリー型
の試料装置に本考案を適合させた例について詳述
したが、サイドエントリー型の試料装置に適合さ
せることもでき、この場合には、冷却トラツプと
略同一平面上に試料保持棒を直角に配置するよう
に構成すれば良い。

又、上述した実施例においては、弾性体をスペ
ーサに固定するようにしたが、冷却トラツプをス
ペーサに熱的に遮断して固定すると共に、冷却ト
ラツプに冷却フインとの熱接触用の弾性体を取り
付けるようにしても良い。

更に又、冷却トラツプの外側の一部を板バネ状
に形成して弾性体に代えるようにしても良い。

［考案の効果］ 以上詳述したように本考案によれば、ポールピ
ースユニツトを交換して試料像を観察する装置に
おいて、内側冷却フインを取外すことなくポール
ピースユニツトを交換できる装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
従来装置の構成図である。 １：試料ステージ、２Ａ：ポールピースユニツ
ト、２ａ：上磁極片、２ｂ：下磁極片、４：試料
筒、５：試料、６：冷却フイン、８：鏡体、９：
液体窒素容器、１０：熱伝導部材、１１：熱伝導
棒、１２：スペーサ、１３：断熱材、１４ａ，１
４ｂ：ヒートコンダクタ、１５ａ，１５ｂ：断熱
ビス、１６ａ，１６ｂ：冷却トラツプ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一対の磁極片を一体的に固定したポールピース
   ユニツトと、該ユニツトを囲むように配置された
   筒状冷却フインと、該冷却フインを伝熱部材を介
   して大気側より冷却する冷却手段と、該両磁極片
   と熱的に遮断された状態で該一対の磁極片の間に
   位置するように該ユニツトに一体的に取付けられ
   た冷却トラツプとを備え、前記ユニツトを冷却フ
   インに挿入した際に該冷却トラツプが該冷却フイ
   ンに熱接触するように構成されていることを特徴
   とする電子顕微鏡等の試料汚染防止装置。