JPH0539559Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は電子顕微鏡等に使用される試料汚染防
止装置の改良に関する。

［従来技術］ 電子顕微鏡等においては、第２図に示すような
試料汚染防止装置が使用されている。第２図にお
いて、１は対物レンズ上磁極片、２は下磁極片
で、これらの上下磁極片はスペーサ３により接続
されている。４は前記スペーサに穿された孔３ａ
より前記対物レンズ上磁極片１と下磁極片２との
間隙に挿入される例えば銅（Cu）で形成された
冷却板である。該冷却板４の対物レンズの上下磁
極片間に挿入される一方の先端部分には電子線通
過孔４ａが形成されており、他方には支持腕４ｂ
が形成されている。５ａ，５ｂは熱伝導率の低い
例えばテフロンで形成された断熱部材で、該断熱
部材５ａ，５ｂに支持腕４ｂが挟まれ固定ネジ６
によつてスペーサ３に固定されている。７は冷却
板４を冷却するための図示外の冷却装置に接続さ
れた熱伝導用網線である。

このように構成された試料汚染防止装置では、
熱伝導用網線７により冷却板４を極低温に冷却し
て、電子線通過孔や試料周辺を低温に保つて汚染
分子をこの冷却板に吸着させて試料の汚染を防止
している。

［考案が解決しようとする問題点］ ところでこのように構成された装置では、冷却
板４が冷却されると、冷却板４や断熱部材５ａ，
５ｂが熱収縮する。この冷却による熱収縮量は、
第３図に示すように支持腕４ｂの厚さをａとし熱
収縮量をΔa，断熱部材５ａと５ｂのそれぞれの
厚さをｂとし熱収縮量をそれぞれΔbとし、固定
ネジ６は断熱部材５ａ，５ｂによつて完全に断熱
されているものとすれば、これらの全熱収縮量は
Δa＋2Δbとなり、この熱収縮により各部材の間
に間隙ができガタが生じる。このガタによつて、
冷却板４の電子線通過孔側の先端部が下方に傾き
下磁極片２に接触してしまう。そのため、冷却板
４の温度が上昇して電子線通過孔や試料周辺の汚
染分子の吸着効率が低下して試料の汚染を充分に
防止できない欠点があつた。

本考案は以上の点に鑑みなされたもので、冷却
板等の熱収縮による冷却板の対物レンズ下磁極片
への接触による冷却能力の低下を避け試料周辺の
汚染分子の吸着効率の低下を防止した電子顕微鏡
等に使用される試料汚染防止装置を提供すること
を目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本目的を達成するため本考案は、対物レンズの
上下磁極片を接続するためのスペーサと、該スペ
ーサに穿たれた孔から前記上下磁極片間隙内に挿
入された冷却板とを備え、該冷却板は支持腕を有
しており、該支持腕は断熱材を介して前記スペー
サにネジ止めされている電子顕微鏡等の試料汚染
防止装置において、該冷却板は前記スペーサより
も光軸側の位置で支持部材の一端に固定されてお
り、該支持部材は前記冷却板に沿つて配置されて
いると共にその他端は前記スペーサに固定されて
おり、該支持部材の該両端間の熱収縮量が前記固
定点と前記ネジ止め位置間の前記冷却板の熱収縮
量以上になるように前記支持部材が選ばれている
ことを特徴としている。

［実施例］ 第１図は本考案の一実施例の構成図であり、第
２図に示す従来装置と同一構成要素には同一番号
が付されている。第１図において、８は冷却板４
に沿つて配置されたポリイミド樹脂等の断熱材で
形成された支持部材で、該支持部材８の一端は前
記冷却板４にピン９によつて固定されており、他
端は前記スペーサ３に支持されている。

このように構成された装置において、冷却板４
が冷却されると、冷却板４，断熱部材５ａ，５ｂ
及び支持部材８が熱収縮する。ここで、第１図に
示す冷却板４と支持部材８との固定点イから前記
支持腕４ｂと断熱部材５ｂの接触面ロまでの冷却
板４のｃ部分は、矢印Ｒの向きにΔcだけ熱収縮
する。又、支持腕４ｂと耐熱部材５ａ，５ｂも前
述したようにΔa＋2Δbだけ熱収縮する。ところ
で、今仮に支持部材８の熱収縮が無いとすれば、
支持部材８とスペーサ３との接触面Ａには、Δa
＋2Δb＋Δcの間隙が形成されガタが生ずること
になる。しかしながら、支持部材８は実際には温
度の低下と共に固定点イから見ると矢印Ｌの向き
に熱収縮する。この熱収縮量は、固定点イと前記
接触面Ａとの長さをｄとするとΔdとなる。この
支持部材８の熱収縮によつて、冷却板４がＲ方向
に移動する。この冷却板４の移動により支持腕４
ｂが断熱部材５ａをＲ方向に移動させて固定ネジ
６を押圧する。従つて、Δa＋2Δb＋Δc≦Δdの関
係、即ち、支持部材８の固定点イと接触面Ａ間の
熱収縮量Δdが前記熱収縮量Δa＋2Δb＋Δc以上に
なるように支持部材を選択することにより、前記
熱収縮によるΔa＋2Δb＋Δcの微小間隙は該支持
部材８の熱収縮によつて吸収されるためガタが生
じることはなく冷却板４の電子線通過孔側の先端
部が対物レンズ下磁極片２に接触してしまうこと
は防止される。

［考案の効果］ 以上詳述したように本考案装置においては、支
持部材の熱収縮量を冷却板や断熱部材の熱収縮量
以上になるように選んで配置したため、冷却板等
の熱収縮による冷却板の対物レンズ下磁極片への
接触による冷却能力の低下を避けることができ、
これにより試料周辺の汚染分子の吸着効率の低下
を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の構成略図、第２図
は従来装置構成図、第３図は従来装置の要部を表
わす図である。 １……対物レンズ上磁極片、２……対物レンズ
下磁極片、３……スペーサ、４……冷却板、５
ａ，５ｂ……断熱部材、６……固定ネジ、７……
熱伝導用網線、８……支持部材、９……固定ピ
ン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対物レンズの上下磁極片を接続するためのスペ
   ーサと、該スペーサに穿たれた孔から前記上下磁
   極片間隙内に挿入された冷却板とを備え、該冷却
   板は支持腕を有しており、該支持腕は断熱材を介
   して前記スペーサにネジ止めされている電子顕微
   鏡等の試料汚染防止装置において、該冷却板は前
   記スペーサよりも光軸側の位置で支持部材の一端
   に固定されており、該支持部材は前記冷却板に沿
   つて配置されていると共にその他端は前記スペー
   サに固定されており、該支持部材の該両端間の熱
   収縮量が前記固定点と前記ネジ止め位置間の前記
   冷却板の熱収縮量以上になるように前記支持部材
   が選ばれていることを特徴とする電子顕微鏡等の
   試料汚染防止装置。