JPH044060U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044060U JPH044060U JP4440090U JP4440090U JPH044060U JP H044060 U JPH044060 U JP H044060U JP 4440090 U JP4440090 U JP 4440090U JP 4440090 U JP4440090 U JP 4440090U JP H044060 U JPH044060 U JP H044060U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- base plate
- vacuum chamber
- cooling structure
- refrigerant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例によるスパツタ装置
の基板冷却構造を示す模式的断面図、第２図は従
来のスパツタ装置の基板冷却構造を示す模式的断
面図である。 図において、１は真空チヤンバ、１−１は真空
ポンプ、２は基板ホルダ、２ａはベースプレート
、２ｂは流路、４は絶縁基板、１１はノズル、１
２は逆止弁、１３は冷媒、を示す。
の基板冷却構造を示す模式的断面図、第２図は従
来のスパツタ装置の基板冷却構造を示す模式的断
面図である。 図において、１は真空チヤンバ、１−１は真空
ポンプ、２は基板ホルダ、２ａはベースプレート
、２ｂは流路、４は絶縁基板、１１はノズル、１
２は逆止弁、１３は冷媒、を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 逆止弁１２を具備し、真空ポンプ１−１と
連結した真空チヤンバ１と、 加熱用のヒータを備えたベースプレート２ａを
冷却する第一冷媒用の流路２ｂを軸部に設けて、
上記真空チヤンバ１を貫通させて垂設する基板ホ
ルダ２と、 上記ベースプレート２ａに取着された絶縁基板
４の面に不活性ガス等の第二冷媒１３を噴射する
ノズル１１とから構成したことを特徴とするスパ
ツタ装置の基板冷却構造。 (2) 上記第二冷媒１３に窒素ガスを使用したこ
とを特徴とする請求項１記載のスパツタ装置の基
板冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4440090U JPH0650539Y2 (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | スパッタ装置の基板冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4440090U JPH0650539Y2 (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | スパッタ装置の基板冷却構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044060U true JPH044060U (ja) | 1992-01-14 |
| JPH0650539Y2 JPH0650539Y2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=31557668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4440090U Expired - Lifetime JPH0650539Y2 (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | スパッタ装置の基板冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650539Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05238881A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-17 | Hoxan Corp | ガスソース分子線エピタキシー装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6354790B2 (ja) | 2015-05-29 | 2018-07-11 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 高強度高靭性鋼管用鋼板の製造方法及び高強度高靭性鋼管用鋼板 |
-
1990
- 1990-04-24 JP JP4440090U patent/JPH0650539Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05238881A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-17 | Hoxan Corp | ガスソース分子線エピタキシー装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0650539Y2 (ja) | 1994-12-21 |
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