JPH0442208A - テレセントリック投影レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、微細パターンを露光面に焼き付ける工程に
おける使用に適したテレセントリック投影レンズ、特に
２波長に対して収差が良好に補正された投影レンズに関
する。

（従来の技術とその課題） この種のレンズとしては、例えばステッパー用の投影レ
ンズが挙げられる。ここで、ステッパーとは、フォトマ
スク上に形成された微細パターンをフォトレジストが塗
布された基板上に焼付ける装置であり、このステッパー
では水銀ランプの輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）が光源とし
て用いられている。これは、フォトレジストの感光波長
帯が紫外域であることに起因するものである。また、フ
ォトレジストへの微細パターンの焼付けに際しては、ス
テッパーに対して高解像力が望まれる。そこで、ステッ
パー用の投影レンズは、通常単一波長（例えばｇ線）に
対してのみ収差補正が行われている。

しかしながら、露光時間を短縮して作業能率を高める点
では、焼付は時に使用する波長の種類を増やすことが好
ましい。すなわち、例えばｇ線のみで焼（＝Ｉけを行う
よりも、ｇ、ｈ線で焼付けを行う方がより効率的である
。しかも、定在波を防止してフォトレジストの深さ方向
における感光度合いを均一にする観点からも、従来より
周知のように、複数波長の光を利用することが望ましい
。

また、投影レンズとフォトレジストを塗布した基板との
距離が多少ずれたとしても、像の寸法がほぼ一定に保た
れるように、投影レンズは像側かテレセントリックとな
るように設計されていることが多い。たたし、物体側に
ついては、従来テレセントリックとされていないのが普
通である。というのも、物体側および像側の両方をテレ
セントリックとした場合には、物体距離および像距離を
変更したとしても、結像倍率を変化させることができず
、結像倍率は投影レンズのレンズ構成によって決定され
てしまう。そのため、レンズ加工において誤差が生じる
と、投影レンズの倍率が設計値と異なってしまう。また
、このようなレンズでは、倍率修正に関して適当な方法
が提案されておらず、倍率変化の修正が困難である。こ
のような事情に鑑みて、従来の投影レンズは像側のみテ
レセントリックとなっている。

しかしながら、上記のように像側のみをテレセントリッ
クとする場合、レンズの対称性を保ったままで、投影レ
ンズを設計することができなくなる。このことは、歪曲
収差をはじめとする諸収差を補正する上では、不利な条
件となる。つまり、対称なレンズの諸収差を補正するこ
とは比較的容易であるが、非対称なレンズでは、収差補
正が対称なレンズに比べて困難である。

（発明の目的） この発明は、上記課題を解決するためになされたもので
、歪曲収差をはじめとする諸収差を容易に補正すること
ができる対称型のテレセントリック投影レンズでありな
がら、レンズ加工の誤差にともなう倍率変化を容易に修
正することができる投影レンズを、提供することを目的
とする。

（目的を達成するための手段） この発明は、完全対称に配列された７群構成の投影レン
ズであって、上記目的を達成するために、物体側から像
側に順次配置された第１−ないし第３レンズ群からなる
前側レンズ系と、前記前側レンズ系の像側に配置され、
光軸方向に移動可能な第４レンズ系と、前記第４レンズ
系の像側に順次配置された第５ないし第７レンズ群から
なる後側レンズ系とを備え、さらに前記前側レンズ系の
後側焦点と前記後側レンズ系の前側焦点とを前記第４レ
ンズ系の近傍位置でほぼ一致させている。

請求項２の発明は、上記目的をより良好に達成するため
に、前記第１および第７レンズ群をそれぞれ単レンズに
よって構成し、前記第２．３．５６レンズ群をそれぞれ
２枚の単レンズを貼り合わせたものとし、前記第４レン
ズ群を３枚の１１ルンズを貼り合わせたものとし、しか
も、物体側から数えて１番目（１−１〜２０）のレンズ
面の曲率半径をｒ３、物体側から数えて１番目（ｉ−１
〜１９）のレンズ面と（ｉ＋１）番目のレンズ面との光
軸上のレンズ面間距離をｄ９、物体側から数えてｊ番目
（ｊ−１〜１３）のレンズのｇ線、ｈ線に対する屈折率
をそれぞれｎ　　、、　　ｎ　　、とするとｇＪ　　　
ｈＪ き、これらが、 （以下余白） ｒ　ｌ−２５５−７［１５ ｒｚ−−２９０，４６８ ｒｓ　＝８４．１１９ ｒ　４　＝−２３５，８Ｂ２ ｒ　５−８２６−７１８ ｒ　ｅ−１５８，４３５ ｒ７＝＝１２９．０４０ ｒｇ　””　４２．１８３ ｒｓ−８１，１５２ ｒ、ｏ＝　−６９，７５４ ｒ　、、　＝　６９．７５４ ｒ、２＝　−８１，＋５２ ｒ、３−−４２．１８３ ｒ　、４−−２９．０４０ ｒｌ５−１５３．４３５ ｒ　、６＝−８２６，７１８ ｒ、７＝　２８５．８６２ ｒ、８＝　−８４，１１９ ｒ、９＝　２９０．４６８ ｒ　２ｏ＝−２５５，７８５ ｄ、　＝　８．８２９ ６２＝４４．７３６ ｄ３＝１０．９２４ ｄ４＝　８．９４６ ｄ５＝２９．７６７ ｄ６＝　２．７１２ ６７−１．２８８ ｄ８−３５．５３６ ｄ９−９．０００ ｄ　、ｏ＝１８．０００ ｄｌ、＝　９．０００ ｄ、２＝３５．５３６ ｄ、３＝　７．２［１８ ｄ、４＝　２．７１２ ｄ　■５−２９．７８７ ６ｔｅ＝　３．９４６ ｄ、７＝１０．９２４ ｄ　、８−４４．７３６ ｄ１９＝　８．８２９ ｎｇｔ　”’　Ｉ・７５１７６ ｎｇ２″″１・７０９７１ ｎ　ｇ３−１・１３５７４２ ０ｇ４＝１．６３１０７ ｎ　ｇ５＝１−６６３８１ ｎｇｅ　＝ｔ、ｅｓ３ｔｅ ｎｇ７＝１・６３１０７ ｎｇ８”’　１・６３３１６ ｎ　ｇ９″″１・８Ｌ１８１ ｎｇｔｏ　−ｔ、ｅａｔｏｙ ｎｇ１１＝１．［１５７４２ ０ｇ１２　＝１・７０９７１ ｎｇｔａ　＝１．７５１７６ ｎ、、■＝　１．７５８２７ ｎｈ２＝　１．７＋５［１５ ｎｈ３＝　１．６８４３３ ｎｈ４””　１．６８７７６ ｎｈ５＝　１．８６９５１ ｎｈ６＝　１．６３７７８ ｎｈ７−１．６３７７６ ｎｈ８＝　１．６３７７８ ｎｈ９−１．．１３６９５１ ｎｈｉｏ　＝１．６８７７８ ｎｈｌ、　””１．８８４３３ ｎｈｌ２−１．７１５６５ ｎｈｌ３−１．７５８２７ を満足するようにしている。

また、請求項３の発明は、上記目的をより良好に達成す
るために、各レンズ群を前記請求項２の発明と同様に構
成するとともに、物体側から数えてｉ番目（ｉ＝１〜２
０）のレンズ面の曲率半径をｒｉ、物体側から数えてｉ
番目（ｉ−１〜１９）のレンズ面と（ｉ＋１）番目のレ
ンズ面との光軸上のレンズ面間距離をｄｌ、物体側から
数えてｊ番目（ｊ−１〜１３）のレンズのｇ線、ｈ線に
対する屈折率をそれぞれｎ　　、、　　ｎ　　、とする
とき、こｇＪ　　　ｈＪ れらが、 （以下余白） ｒ　Ｌ　＝２９４．９８０ ｒｚ　＝２８８．１．１７ ｒａ　””　８１．４９１ ｒ　４−−２７２−０８４ ｒｓ−２８８，２６２ ｒｅ−１５７，４９：１ ｒ７＝３３．６１５ ｒｅ、　＝４２．７６９ ｒｔａ　＝８４．１３３ ｒ、ｏ＝　−６５，６Ｂ１ ｒ　ｕ＝　６５．ｆｉ６１ ｒ、２＝−８４，１３３ ’ＩＳ悶−４２，７［１９ ｒ、４−−８３．６１５ ｒ１５＝　１５７．４９３ ’１６子−２８８．２６２ ｒ、７＝　２７２．０８４ ｒ、８＝　−８１，４９１ ｒ、９＝　２８８．１１７ ｒ　、、ｏ＝−２９４，９８Ｏ ｄ、　＝　８．２０Ｂ ｄ２＝８４．３０２ ｄ３−９．４２２ ６４＝　４．５２０ ６５＝３１．５１２ １＝　１．．３００ ｄ７＝　２．２５０ ｄ８＝３４．９５６ ｄ９＝　９．５００ ｄ　、ｏ＝１９．０００ ６１１＝　９．５００ ６．２＝４４．９５６ ｄ、３＝　２．２５０ ｄ１４＝　ＩＪＯＯ ｄ　１５−３１．５１２ ｄ、６＝　４．５２ｎ ｄ、７＝　９．４２２ ｄ　、８＝６４．３０２ ｄ、９＝　８．２０６ ｎ　ｇｌ　＝１−７５１７６ ｎ　ｇ２−１・７０９７１ ０ｇ３−１・８５７４２ ０ｇ４＝１・６３１Ｏ７ ｎｇ５＝ｔ、ｅｅａｇｔ ｎｇｅ　＝１・６５８１１ ｎ　ｇ７−１・６８１０７ １ｇ８＝１・６５［１１１ ｎｇ９−ｔ、ｅｅｓｓｔ ”ｇｔｏ　＝１．８８１０７ ’ｇ１１″″１・６５７４２ ０ｇ１２−１．７０９７１ ０ｇ１８″″１・７５１７Ｂ ｎｈｌ＝　１．７５８２７ ｎ、、２−１．７１５［！５ ｎｈ３−１．８Ｂ４３８ ”ｈ４　＝　１．１１３７７８ ｎｈ５＝　１．６６９５１ ’ｈｅ　＝　１．６６＋０４ ｎｈ７＝　１．８８７７８ ｎ、、８＝　１．８Ｂ＋０４ ｎｈ９−１．６６９５１ ｎｈｌｏ＝１．６３７７６ ｎｈ、、　−１，６８４３３ ｎｈ、２＝１．７１５６５ ｎｈ１３＝１．７５８２７ を満足するようにしている。

（作用） この発明によれば、投影レンズは完全対称となっている
。そのため、歪曲収差１倍率色収差およびメリディオナ
ルコマ収差はゼロとなり、またそれ以外の諸収差も小さ
くすることができる。しかも、第４レンズ群は光軸方向
に移動可能であるため、レンズ加工の誤差による倍率変
化に応じて前記第４レンズ群が光軸方向に移動されて、
その倍率変化が修正される。

（実施例） 第１図は、この発明にかかるテレセントリック投影レン
ズの第１実施例を示す図である。この投影レンズは完全
対称に配列された７群１３枚構成である。この投影レン
ズでは、第１図にその構成を示すように、物体側（第１
図左方）から像側（第１図右方）へ、第１ないし第１３
レンズ１１゜２１．２２，３１，３２，４１，４２，４
３，５１．５２，６１．６２．７１がこの順序で配列さ
れている。

同図に示すように、第ルンズ１１によって第ルンス群１
０が構成されている。また、第２゜第３レンズ２１．２
２が貼り合わされて第２レンズ群２０が構成されている
。さらに、第４．第５レンズ３１．．３２か貼り合わさ
れて第３レンズ群３０が構成されている。こうして、構
成された第１ないし第３レンズ群１０，２０．３０から
前側レンズ系ＬＰか形成されている。

また、第６ないし第８レンズ４１，４２．４３か貼り合
わされて第４レンズ１１４０が構成されている。なお、
この第４レンズ群４０は、光軸Ｚ方向に移動可能となる
ように構成されている。

サラに、第９．第１０レンズ５１．５２が貼り合わされ
て第５レンズ群５０が構成されている。

また、第１１．第１２レンズ６１．．６２が貼り合わさ
れて第６レンズ群６０が構成されている。さらに、第１
３レンズ７１によって第７レンズ群７０が構成されてい
る。こうして、構成された第５ないし第７レンズ群５０
，６０．７０から後側レンズ系ＬＲが形成されている。

なお、この投影レンズては、前側レンズ系Ｌ■。

の後側焦点と後側レンズ系ＬＲの前側焦点とが第４レン
ズ系４０の近傍位置てほぼ一致しており、物体側および
像側てテレセントリ・ツクとなっている。

第１表は上記のように構成された投影レンズのレンズデ
ータを示すものである。

（以下余白） ］　５ ｒ、　＝　２５５．７６５ ｒ２−２９０−４８８ ｒ３−８４．１１９ ｒ４″″−２３５・８６２ ｒ５＝　３２６．７＋８ ｒｅ、　−−１５３，４３５ ｒ−ｔ　＝２９．０４０ ｒｇ　””　４２．１８３ ｒｑ　＝　８１．１５２ ｒ、ｏ＝　−６９，７５４ ｒ、１＝　６９．７５４ ｒ、２＝　−８＋、１５２ ｒ１３＝　−４２，１８３ ｒ　■４＝　−２９，０４０ ’１５＝１５３−４３５ ｒ　、６＝−３２８，７１８ ｒ、７＝　２３５．８Ｂ２ ｒ、８＝　−８４，１１９ ｒ、９＝　２９０．４６８ ｒ　２ｏ−２５５，７８５ 弔 ｄ、　＝　８．８２９ ｄ２＝４４．７３６ ６３＝Ｉ０．９２４ ｄ４＝　３．９４６ ｄ５＝２９．７６７ ｄ６＝　２．７１２ ｄ７＝　７．２６８ ｄ８＝３５．５３６ ６９＝　９．０００ ｄ、ｏ＝１８．０ＯＯ ｄ、、＝　９．０００ ６．２＝３５．５３８ ｄ、３＝　７．２６８ ６．４−２．７１２ ６．５＝２９．７８７ ｄ、６−３．９４６ ｄ１７＝１０．９２４ ｄ　１８＝４４．７３［ｉ ｄ、９＝　８．８２９ 表 ｎｇ＋−Ｌ７５１７ｆｊ ｎ　ｇ２　＝１−７０９７１ ｎ　ｇ３−１６５７４２ ｎｇ４＝　１．６３１０７ ｎ　ｇ５−１・６Ｂ：１８１ ｎ　ｇ６″″１・８３３１６ ｎ　ｇ７−１６３’　０７ ｎ　ｇｓ−１−６３３１８ ｎｇｑ　＝１．６６３８１ ｎｇ、ｏ−１，６３１０７ ｎｇｌｌ＝１．８５７４２ ｎｇ、、、　−１，７０９７１ ｎｇ、３＝１．７５１７６ ｎ１１．　＝　１．７５８２７ ｎｈ、、　＝　１．７１５Ｂ５ ｎ、８＝　１．．８６４８３ ｎｈ４＝　１．Ｂ５７７８ ｎ　１，５　＝−］　、Ｂ６６９５１ ｎｈｅ　−１，６８７７８ ｎｈ７−１．８３７７６ ｎｈ８＝　１．８８７７８ ｎ、１９＝　１．８６９５Ｉ ｎ、、■ｏ＝１．６３７７６ ｎ、４．ｌ＝１．８６４．３３ ｎｈ、２−ｉ、、７１５６５ ｎｈ、３＝１．７５８２７ 同表において、ｒ、は物体側から数えてｉ番目（ｉ＝１
〜２０）のレンズ面の曲率半径を、ｄ。

は物体側から数えて１番目（ｉ−１〜１つ）のレンズ面
と（ｉ＋１）番［１のレンズ面との光軸Ｚ上のレンズ面
間距離を、ｎ　　、、　　ｎ　　は物体側から数ｇｊ　
　　ｂｊ えて５番目（ｊ−１〜１３）のレンズのｇ線、ｈ線に対
する屈折率をそれぞれ示している。

なお、上記のように構成されたテレセントリック投影レ
ンズの開口数（ＮＡ）は０．０５３であり、結像倍率は
（−１，０）倍であり、画面サイズは７１．０である。

第２図および第３図は、上記のように構成された投影レ
ンズの球面収差および非点収差をそれぞれ示す図である
。なお、第２図（および後で説明する第７図）において
、実線ｇおよび破線りはそれぞれｇ線、ｈ線に対する球
面収差を示している。

また、第３図（および後で説明する第８図）において、
実線ｇ　（Ｓ）　、　ｈ　（Ｓ）はそれぞれｇ線、ｈ線
についてのサジタル像面を、また破線ｇ（Ｍ）、ｈ（Ｍ
）はそれぞれｇ線、ｈ線についてのメリディオ］　８ ナル像面を示している。

第４図、第５図はそれぞれメリディオナル像面。

サジタル像面のコマ収差を示す図である。両図において
、実線ｇおよび破線りはそれぞれｇ線、ｈ線に対する結
果を示している。

第２図ないし第５図かられかるように、この実施例によ
れば、ｇ線、ｈ線の２波長において良好な解像力が全画
面にわたって得られる。また、第４レンズ群４０が光軸
Ｚ方向に移動可能となるように構成されているので、レ
ンズ加工の誤差等によって倍率が変化したとしても、第
４レンズ群４０の、光軸方向への移動によって倍率変化
を容易に修正することができる。その上、上記投影レン
ズは完全な対称系であるため、歪曲収差１倍率色収差お
よびメリディオナルコマ収差をゼロにすることができ、
さらにその他の諸収差も比較的容易に補正することがで
きる。

次に、その他の実施例について説明する。

その他の実施例としては、第６図に示すように、上記投
影レンズと同一のレンズ構成で、しかも曲率半径ｒ、、
レンズ面間距離ｄ１、屈折率ｎ　　ｌｌ＋１　　　　　
　　　　　　　　　　　　　１　　　　　　　　　　　
ｇＪｎ　ｈｊが以下の数値を満足するものがある。

（以下余白） ｒ　ｒ　＝２９４−９６Ｏ ｒ　２−−２８８．１１７ ｒａ　””　８１．４９１ ｒ　４−２’１２．０ｇ４ ｒｒ、　＝２８８．２８２ ｒｅ−１５７，４９８ ｒ７＝８３．ｆｉ１５ ｒｓ　””　４２．７６９ ｒｔａ−８４，１３３ ｒ、ロー　−６５，６８１ ｒ　Ｉ、＝　６５．６６１ ｒ、２−−８４．Ｂ１３ ｒ１３＝　−４２，７６９ ｒ１４＝　−３３，［１１５ ｒ、５−１５７．４９３ ｒ　Ｉ６−−２８８．２８２ ｒ１７−２７２．０８４ ｒ、８−−８１．４９１ ｒ　＋９　＝２８８−１１７ ｒ　、、ｏ＝−２９４，９６０ ｄｌ−８゜２０６ ｄ２−８４．３０２ ｄ３＝　９．４２２ ｄ４−４．５２０ ６５＝８１．５１２ １＝　１．３００ ｄ７＝　２．２５０ ｄ８−３４．９５８ ｄ９＝　９．５００ ｄ　、ロー１９．０００ ｄ、、−９，５００ ｄ　、、、−８４，９５８ ｄ、３−２．２５０ ｄ１４＝　１．３００ ｄ１５子３１．５１２ ｄ、８−４゜５２０ ｄ、７＝　９．４２２ ｄ　、８＝６４．３０２ ｄ、９−８．２０６ 第 表 ｎ　ｇｌ＝１−７５１７６ ｎ　ｇ２−１　・７０９７’ ０ｇ３″″ｌ・６５７４２ ｎｇ４＝１・［１３１０７ ｎ　ｇ５″′ｌ　・６６３８１ ｎ　ｇｅ−１−６５６１１ ｎｇｙ　””　１−８３１０７ ｎ　ｇｇ　′″″１−６５８１１ ｎｇ９雪ｔ、ｅｅａｓｔ ｎｇｌＯ−１，８３１０７ ｎｇ、■−１．ｌｉ５７４２ ｎｇ、２””１．７０９７１ ｎｇ１３−１．７５１７８ ｎｈ１＝　１．７５８２７ ｎｈ２−１．７１５６５ ｎｈ３−１．８８４Ｌｌ ｎｈ４＝　１．Ｂ５７７８ ｎｈ５−１．１３６９５１ ｎｈ６−１．６６１０４ ｎ、７”　１．６８７７８ ｎｈ８−１．［１Ｂ１０４ ｎｈ９−１．ｅｅ９５ｔ ｎｈ、ｏ＝１．Ｌ１７７６ ｎｈ、、　−１，１３ｆｉ４３８ ｎｈＩ２−１．７１５８５ ｎ、１３筺１．７５８２７ なお、上記のように構成されたテレセントリック投影レ
ンズの開口数（ＮＡ）は０．０５３であり、結像倍率は
（−１，０）倍であり、画面サイズは７１．０である。

第７図および第８図は、第６図に示す投影レンズの球面
収差および非点収差をそれぞれ示す図である。また、第
９図、第１０図はそれぞれメリディオナル像面、サジタ
ル像面のコマ収差を示す図である。

第７図ないし第１０図がらゎがるように、この実施例に
よっても、ｇ線、ｈ線の２波長において良好な解像力が
全画面にわたって得られる。また、この実施例は、先に
説明した第１実施例と同様な構成を採用するため、第１
実施例と同様の効果を奏することは言うまでもない。

なお、上記実施例では、ｇ線、ｈ線の２波長について説
明したが、これに限定されるものではなく、この発明に
したがって投影レンズを設計することによって任意の２
波長について上記と同様の効果を得ることができる。

（発明の効果） 以上のように、この発明によれば、投影レンズを完全対
称としているため、歪曲収差１倍率色収差およびメリデ
ィオナルコマ収差はゼロとなり、またそれ以外の諸収差
も小さくすることができる。

しかも、第４レンズ群を光軸方向に移動可能としている
ので、レンズ加工の誤差による倍率変化に応じて前記第
４レンズ群を光軸方向に移動させて、その倍率変化を修
正することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかるテレセントリック投影レンズ
の第１実施例を示す図であり、第２図および第３図はそ
れぞれその投影レンズの球面収差および非点収差をそれ
ぞれ示す図であり、 第４図および第５図はそれぞれメリディオナル像面、ザ
ジタル像面のコマ収差を示す図であり、第６図はこの発
明にかかるテレセントリック投影レンズの第２実施例を
示す図であり、第７図および第８図はそれぞれその投影
レンズの球面収差および非点収差をそれぞれ示す図であ
り、 第９図および第１０図はそれぞれメリディオナル像面、
サジタル像面のコマ収差を示す図である。 ］０・・・第ルンズ群、　２０・・第２レンズ群、３０
・・第３レンズ群、　４０・・・第４レンズ群、５０・
・・第５レンズ群、　６０・・・第６レンズ群、７０・
・・第７レンズ群、　Ｌ、・・・前側レンズ系、ＬＲ・
・・後側レンズ系、　　Ｚ　・・・光輔代理人　弁理士
　吉１１１．１茂明

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）完全対称に配列された７群構成の投影レンズであ
   って、 物体側から像側に順次配置された第１ないし第３レンズ
   群からなる前側レンズ系と、 前記前側レンズ系の像側に配置され、光軸方向に移動可
   能な第４レンズ系と、 前記第４レンズ系の像側に順次配置された第５ないし第
   ７レンズ群からなる後側レンズ系とを備え、 前記前側レンズ系の後側焦点と前記後側レンズ系の前側
   焦点とが前記第４レンズ系の近傍位置でほぼ一致するこ
   とを特徴とするテレセントリック投影レンズ。
2. （２）前記第１および第７レンズ群はそれぞれ単レンズ
   からなり、前記第２、３、５、６レンズ群はそれぞれ２
   枚の単レンズを貼り合わせたものであり、前記第４レン
   ズ群は３枚の単レンズを貼り合わせたものであり、 しかも、物体側から数えてｉ番目（ｉ＝１〜２０）のレ
   ンズ面の曲率半径をｒ＿ｉ、物体側から数えてｉ番目（
   ｉ＝１〜１９）のレンズ面と（ｉ＋１）番目のレンズ面
   との光軸上のレンズ面間距離をｄ＿ｉ、物体側から数え
   てｊ番目（ｊ＝１〜１３）のレンズのｇ線、ｈ線に対す
   る屈折率をそれぞれｎ＿ｇ＿ｊ、ｎ＿ｈ＿ｊとするとき
   、これらが、ｒ＿１＝２５５．７６５ｄ＿１＝８．８２
   ９ｎ＿ｇ＿１＝１．７５１７６ｎ＿ｈ＿１＝１．７５８
   ２７ｒ＿２＝−２９０．４６８ｄ＿２＝４４．７３６ｒ
   ＿３＝８４．１１９ｄ＿３＝１０．９２４ｎ＿ｇ＿２＝
   １．７０９７１ｎ＿ｈ＿２＝１．７１５６５ｒ＿４＝−
   ２３５．８６２ｄ＿４＝３．９４６ｎ＿ｇ＿３＝１．６
   ５７４２ｎ＿ｈ＿３＝１．６６４３３ｒ＿５＝３２６．
   ７１８ｄ＿５＝２９．７６７ｒ＿６＝−１５３．４３５
   ｄ＿６＝２．７１２ｎ＿ｇ＿４＝１．６３１０７ｎ＿ｈ
   ＿４＝１．６３７７６ｒ＿７＝２９．０４０ｄ＿７＝７
   ．２６８ｎ＿ｇ＿５＝１．６６３８１ｎ＿ｈ＿５＝１．
   ６６９５１ｒ＿８＝４２．１８３ｄ＿８＝３５．５３６
   ｒ＿９＝８１．１５２ｄ＿９＝９．０００ｎ＿ｇ＿６＝
   １．６３３１６ｎ＿ｈ＿６＝１．６３７７８ｒ＿１０＝
   −６９．７５４ｄ＿１＿０＝１８．０００ｎ＿ｇ＿７＝
   １．６３１０７ｎ＿ｈ＿７＝１．６３７７６ｒ＿１＿１
   ＝６９．７５４ｄ＿１＿１＝９．０００ｎ＿ｇ＿８＝１
   ．６３３１６ｎ＿ｈ＿８＝１．６３７７８ｒ＿１＿２＝
   −８１．１５２ｄ＿１＿２＝３５．５３６ｒ＿１＿３＝
   −４２．１８３ｄ＿１＿３＝７．２６８ｎ＿ｇ＿９＝１
   ．６６３８１ｎ＿ｈ＿８＝１．６６９５１ｒ＿１＿４＝
   −２９．０４０ｄ＿１＿４＝２．７１２ｎ＿ｇ＿１＿０
   ＝１．６３１０７ｎ＿ｈ＿１＿０＝１．６３７７６ｒ＿
   １＿５＝１５３．４３５ｄ＿１＿５＝２９．７６７ｒ＿
   １＿８＝−３２６．７１８ｄ＿１＿６＝３．９４６ｎ＿
   ｇ＿１＿１＝１．６５７４２ｎ＿ｈ＿１＿１＝１．６６
   ４３３ｒ＿１＿７＝２３５．８６２ｄ＿１＿７＝１０．
   ９２４ｎ＿ｇ＿１＿２＝１．７０９７１ｎ＿ｈ＿１＿２
   ＝１．７１５６５ｒ＿１＿８＝−８４．１１９ｄ＿１＿
   ８＝４４．７３６ｒ＿１＿９＝２９０．４６８ｄ＿１＿
   ９＝８．８２９ｎ＿ｇ＿１＿３＝１．７５１７６ｎ＿ｈ
   ＿１＿３＝１．７５８２７ｒ＿２＿０＝−２５５．７６
   ５ を満足する請求項１記載のテレセントリック投影レンズ
   。
3. （３）前記第１および第７レンズ群はそれぞれ単レンズ
   からなり、前記第２、３、５、６レンズ群はそれぞれ２
   枚の単レンズを貼り合わせたものであり、前記第４レン
   ズ群は３枚の単レンズを貼り合わせたものであり、 しかも、物体側から数えてｉ番目（ｉ＝１〜２０）のレ
   ンズ面の曲率半径をｒ＿ｉ、物体側から数えてｉ番目（
   ｉ＝１〜１９）のレンズ面と（ｉ＋１）番目のレンズ面
   との光軸上のレンズ面間距離をｄ＿ｉ、物体側から数え
   てｊ番目（ｊ＝１〜１３）のレンズのｇ線、れ線に対す
   る屈折率をそれぞれｎ＿ｇ＿ｊ、ｎ＿ｈ＿ｊとするとき
   、これらが、ｒ＿１＝２９４．９６０ｄ＿１＝８．２０
   ６ｎ＿ｇ＿１＝１．７５１７６ｎ＿ｈ＿１＝１．７５８
   ２７ｒ＿２＝−２８８．１１７ｄ＿２＝６４．３０２ｒ
   ＿３＝８１．４９１ｄ＿３＝９．４２２ｎ＿ｇ＿２＝１
   ．７０９７１ｎ＿ｈ＿２＝１．７１５６５ｒ＿４＝−２
   ７２．０８４ｄ＿４＝４．５２０ｎ＿ｇ＿３＝１．６５
   ７４２ｎ＿ｈ＿３＝１．６６４３３ｒ＿５＝２８８．２
   ６２ｄ＿５＝３１．５１２ｒ＿６＝−１５７．４９３ｄ
   ＿６＝１．３００ｎ＿ｇ＿４＝１．６３１０７ｎ＿ｈ＿
   ４＝１．６３７７６ｒ＿７＝３３．６１５ｄ＿７＝２．
   ２５０ｎ＿ｇ＿５＝１．６６３８１ｎ＿ｈ＿５＝１．６
   ６９５１ｒ＿８＝４２．７６９ｄ＿８＝３４．９５６ｒ
   ＿９＝８４．１３３ｄ＿９＝９．５００ｎ＿ｇ＿６＝１
   ．６５６１１ｎ＿ｈ＿６＝１．６６１０４ｒ＿１＿０＝
   −６５．６６１ｄ＿１＿０＝１９．０００ｎ＿ｇ＿７＝
   １．６３１０７ｎ＿ｈ＿７＝１．６３７７６ｒ＿１＿１
   ＝６５．６６１ｄ＿１＿１＝９．５００ｎ＿ｇ＿８＝１
   ．６５６１１ｎ＿ｈ＿８＝１．６６１０４ｒ＿１＿２＝
   −８４．１３３ｄ＿１＿２＝３４．９５６ｒ＿１＿３＝
   −４２．７６９ｄ＿１＿３＝２．２５０ｎ＿ｇ＿９＝１
   ．６６３８１ｎ＿ｈ＿８＝１．６６９５１ｒ＿１＿４＝
   −３３．６１５ｄ＿１＿４＝１．３００ｎ＿ｇ＿１＿０
   ＝１．６３１０７ｎ＿ｈ＿１＿０＝１．６３７７６ｒ＿
   １＿５＝１５７．４９３ｄ＿１＿５＝３１．５１２ｒ＿
   １＿６＝−２８８．２６２ｄ＿１＿６＝４．５２０ｎ＿
   ｇ＿１＿１＝１．６５７４２ｎ＿ｈ＿１＿１＝１．６６
   ４３３ｒ＿１＿７＝２７２．０８４ｄ＿１＿７＝９．４
   ２２ｎ＿ｇ＿１＿２＝１．７０９７１ｎ＿ｈ＿１＿２＝
   １．７１５６５ｒ＿１＿８＝−８１．４９１ｄ＿１＿８
   ＝６４．３０２ｒ＿１＿９＝２８８．１１７ｄ＿１＿９
   ＝８．２０６ｎ＿ｇ＿１＿３＝１．７５１７６ｎ＿ｈ＿
   １＿３＝１．７５８２７ｒ＿２＿０＝−２９４．９６０ を満足する請求項１記載のテレセントリック投影レンズ
   。