JPH0442295U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0442295U JPH0442295U JP8403190U JP8403190U JPH0442295U JP H0442295 U JPH0442295 U JP H0442295U JP 8403190 U JP8403190 U JP 8403190U JP 8403190 U JP8403190 U JP 8403190U JP H0442295 U JPH0442295 U JP H0442295U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball bearing
- leaf spring
- molecular pump
- turbo molecular
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す側断面図、第
２図は玉軸受が熱変形した状態を示す側断面図、
第３図は従来のターボ分子ポンプを示す側断面図
、第４図はその玉軸受の支持構造を示す側断面図
、第５図及び第６図はそれぞれ冷却後の玉軸受の
位置を示す側断面図である。 ２……ロータ、３……回転軸、４，５……ラジ
アル磁気軸受、５……スラスト磁気軸受、８……
保護用玉軸受、１１……板ばね、１２……保持板
、ｃ……隙間。
２図は玉軸受が熱変形した状態を示す側断面図、
第３図は従来のターボ分子ポンプを示す側断面図
、第４図はその玉軸受の支持構造を示す側断面図
、第５図及び第６図はそれぞれ冷却後の玉軸受の
位置を示す側断面図である。 ２……ロータ、３……回転軸、４，５……ラジ
アル磁気軸受、５……スラスト磁気軸受、８……
保護用玉軸受、１１……板ばね、１２……保持板
、ｃ……隙間。
Claims (1)
- 磁気軸受で支持されたロータと、ステータとで
構成された磁気浮上型ターボ分子ポンプにおいて
、前記磁気軸受の保護用玉軸受を板ばねにより支
持すると共に、該板ばねを保持板により隙間を設
けて保持したことを特徴とするターボ分子ポンプ
の保護用玉軸受の支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8403190U JPH0442295U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8403190U JPH0442295U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442295U true JPH0442295U (ja) | 1992-04-09 |
Family
ID=31632184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8403190U Pending JPH0442295U (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0442295U (ja) |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP8403190U patent/JPH0442295U/ja active Pending