JPH0442914Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0442914Y2 JPH0442914Y2 JP12885486U JP12885486U JPH0442914Y2 JP H0442914 Y2 JPH0442914 Y2 JP H0442914Y2 JP 12885486 U JP12885486 U JP 12885486U JP 12885486 U JP12885486 U JP 12885486U JP H0442914 Y2 JPH0442914 Y2 JP H0442914Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- workpiece
- mounting table
- illuminator
- wrapping
- Prior art date
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- Expired
Links
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、例えばシリコンウエハーの研磨工程
における欠け等の不良品を自動画像計測処理によ
つて判別する装置の照明装置として好適なもので
ある。
における欠け等の不良品を自動画像計測処理によ
つて判別する装置の照明装置として好適なもので
ある。
従来ラツピング後のシリコンウエハーの欠け等
の不良品を検査する際、シリコンウエハーの下方
から照明するが、シリコンウエハーに水玉状に付
いたラツピング液が照明器に落ちて照明器が汚
れ、照度が落ちて見にくくなつたり、更に照明器
の中央にワーク載置台があるため拭き取りに時間
が掛かる欠点がある。又、自動画像計測装置で画
像処理をすると汚れがノイズとして検出されるた
め、その都度汚れを拭き取らなければならないの
で作業効率が悪く、自動化がむずかしい等の欠点
があつた。
の不良品を検査する際、シリコンウエハーの下方
から照明するが、シリコンウエハーに水玉状に付
いたラツピング液が照明器に落ちて照明器が汚
れ、照度が落ちて見にくくなつたり、更に照明器
の中央にワーク載置台があるため拭き取りに時間
が掛かる欠点がある。又、自動画像計測装置で画
像処理をすると汚れがノイズとして検出されるた
め、その都度汚れを拭き取らなければならないの
で作業効率が悪く、自動化がむずかしい等の欠点
があつた。
本考案は上記欠点に鑑み、簡単な構成で照明器
がラツピング液などの汚れた液で汚さないように
して自動化が出来る照明装置を提案することであ
る。
がラツピング液などの汚れた液で汚さないように
して自動化が出来る照明装置を提案することであ
る。
本考案は、ケース体に液体を溜めるようにした
液体溜部と上記液体を循環させる液体循環機構
と、上記液体溜部の液体の上面より上方に突出し
てワークの外径より小径に形成されたワークを載
置するワーク載置台と、上記液体を介して光を照
射する光源とを有することにある。
液体溜部と上記液体を循環させる液体循環機構
と、上記液体溜部の液体の上面より上方に突出し
てワークの外径より小径に形成されたワークを載
置するワーク載置台と、上記液体を介して光を照
射する光源とを有することにある。
以上、図示の一実施例で本考案を説明する。照
明装置は第１図、第２図でケース体１の上部に液
体２を溜めるようにした液体溜部３が固定されて
液体溜部３に液体循環機構の供給側ボート４及び
排出側ポート５から複数本のパイプ６，７を介し
て液体２が循環供給されている。第１図では４ケ
所の注入口６ａと３ケ所の排出口７ａが設けられ
ている。液体溜部３上面にはワーク載置台８が密
着固定され、液体溜部３の下側には上方に向けて
光を放射する光源の照明器９が設けられ、ワーク
載置台８に載せられたワーク１０は液体溜部３の
底板３ａと液体２を透過した照明器９の光源で照
射される。
明装置は第１図、第２図でケース体１の上部に液
体２を溜めるようにした液体溜部３が固定されて
液体溜部３に液体循環機構の供給側ボート４及び
排出側ポート５から複数本のパイプ６，７を介し
て液体２が循環供給されている。第１図では４ケ
所の注入口６ａと３ケ所の排出口７ａが設けられ
ている。液体溜部３上面にはワーク載置台８が密
着固定され、液体溜部３の下側には上方に向けて
光を放射する光源の照明器９が設けられ、ワーク
載置台８に載せられたワーク１０は液体溜部３の
底板３ａと液体２を透過した照明器９の光源で照
射される。
上記液体２はどのような液体でもよいが、例え
ばフロン、アルコール等が用いられる。
ばフロン、アルコール等が用いられる。
上記液体溜部３の底部３ａには拡散効果を持つ
材料が用いられて底板３ａを透過した光は均一の
光になるようにするとよい。
材料が用いられて底板３ａを透過した光は均一の
光になるようにするとよい。
上記ワーク載置台８は液体２の上面より上方に
突出する高さにすると共に、外径はワーク載置台
８上に載せる例えば10cm×10cm又はφ10cmのワー
ク１０の外径より小径のφ8cmに形成されている。
突出する高さにすると共に、外径はワーク載置台
８上に載せる例えば10cm×10cm又はφ10cmのワー
ク１０の外径より小径のφ8cmに形成されている。
上記照明装置を用いてワーク１０の自動画像処
理がなされる時はワーク１０の上方に図示しない
自動画像計測装置が設けられ、ワーク１０として
例えばラツピング後のラツピング液が水玉状に付
着したシリコンウエハーがラツピング面を下側に
してワーク載置台８上に図示しないロボツトで載
せられて光源の照明器９の光が照射される。
理がなされる時はワーク１０の上方に図示しない
自動画像計測装置が設けられ、ワーク１０として
例えばラツピング後のラツピング液が水玉状に付
着したシリコンウエハーがラツピング面を下側に
してワーク載置台８上に図示しないロボツトで載
せられて光源の照明器９の光が照射される。
この時水玉状に付着したラツピング液がワーク
載置台８に載せられたシヨツクでシリコンウエハ
ーから離れて落下しても下は循環する液体２が注
入口６ａから排出口７ａに向かつて流れているの
でラツピング液は希釈されると共に一箇所に溜ま
らないので照度が一様な光で照射されることにな
る。ラツピングによる欠けなどの画像計測処理が
終了したワーク１０はロボツトにより次工程へ送
られる。
載置台８に載せられたシヨツクでシリコンウエハ
ーから離れて落下しても下は循環する液体２が注
入口６ａから排出口７ａに向かつて流れているの
でラツピング液は希釈されると共に一箇所に溜ま
らないので照度が一様な光で照射されることにな
る。ラツピングによる欠けなどの画像計測処理が
終了したワーク１０はロボツトにより次工程へ送
られる。
上記のように照明装置が構成されるとラツピン
グ液で照明器９が汚されることが防止されるので
汚れを拭き取る必要がなく、常に照度が一様な光
で照射されるから計測処理を自動化することが出
来て作業効率が著しく向上され、自動画像計測処
理において汚れによるノイズによつて誤つた判定
などが起こらない。
グ液で照明器９が汚されることが防止されるので
汚れを拭き取る必要がなく、常に照度が一様な光
で照射されるから計測処理を自動化することが出
来て作業効率が著しく向上され、自動画像計測処
理において汚れによるノイズによつて誤つた判定
などが起こらない。
上記説明の構造ではワーク載置台８の内側には
液体２が流れないが、流れるように構成してもよ
い。
液体２が流れないが、流れるように構成してもよ
い。
更に液体溜部３の高さを高くして液体２を流
し、液体２の中に防水した照明器９を入れてワー
ク１０を照射してもよい。
し、液体２の中に防水した照明器９を入れてワー
ク１０を照射してもよい。
液体２は液体循環機構の供給側ポート４及び排
出側ポート５で流量が調整され、逆方向に液体２
を流すように構成してもよい。
出側ポート５で流量が調整され、逆方向に液体２
を流すように構成してもよい。
本考案は上述のように構成されたから、ワーク
に付着した汚れた液が落下しても流れる液体で希
釈されると共に一箇所に溜まることがなく流され
るので照明の照度が一様な光でワークが照明さ
れ、汚れを拭き取る作業が不要であるから画像計
測処理を自動化することが出来て作業効率が著し
く向上される等実用上優れた効果を奏する照明装
置を提供することが出来る。
に付着した汚れた液が落下しても流れる液体で希
釈されると共に一箇所に溜まることがなく流され
るので照明の照度が一様な光でワークが照明さ
れ、汚れを拭き取る作業が不要であるから画像計
測処理を自動化することが出来て作業効率が著し
く向上される等実用上優れた効果を奏する照明装
置を提供することが出来る。
図面は本考案の一実施例が示され、第１図は照
明装置の平面図、第２図は照明装置要部断面側面
図である。 １……ケース体、２……液体、３……液体溜
部、４，５，６，７……液体循環機構、８……ワ
ーク載置台、９……光源の照明器、１０……ワー
ク。
明装置の平面図、第２図は照明装置要部断面側面
図である。 １……ケース体、２……液体、３……液体溜
部、４，５，６，７……液体循環機構、８……ワ
ーク載置台、９……光源の照明器、１０……ワー
ク。
Claims (1)
- ケース体に液体を溜めるようにした液体溜部と
上記液体を循環させる液体循環機構と、上記液体
溜部の液体の上面より上方に突出してワークの外
径より小径に形成されたワークを載置するワーク
載置台と、上記液体を介して光を照射する光源と
を有する照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12885486U JPH0442914Y2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12885486U JPH0442914Y2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336036U JPS6336036U (ja) | 1988-03-08 |
| JPH0442914Y2 true JPH0442914Y2 (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=31024898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12885486U Expired JPH0442914Y2 (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0442914Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP12885486U patent/JPH0442914Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6336036U (ja) | 1988-03-08 |
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