JPH0442920Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0442920Y2 JPH0442920Y2 JP8787785U JP8787785U JPH0442920Y2 JP H0442920 Y2 JPH0442920 Y2 JP H0442920Y2 JP 8787785 U JP8787785 U JP 8787785U JP 8787785 U JP8787785 U JP 8787785U JP H0442920 Y2 JPH0442920 Y2 JP H0442920Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed
- cam
- frame
- claw
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案はダイボンダ、又はワイヤーボンダ等の
半導体製造装置において特に短冊状のリードフレ
ームを一定量づつピツチ送りをする機構に関す
る。
半導体製造装置において特に短冊状のリードフレ
ームを一定量づつピツチ送りをする機構に関す
る。
従来、この種の送り機構は送りに要するカムを
一回転させ、レバーを介して送りツメの移動を行
なつていた。
一回転させ、レバーを介して送りツメの移動を行
なつていた。
上述した従来の送り機構はリードフレームの機
種変更に際し送り量が変わる場合は、フレーム送
りカムの変換、又はレバーの比を変化させて送り
量の変更に対応しているので、カムの製作、交
換、調整等を必要とする欠点がある。
種変更に際し送り量が変わる場合は、フレーム送
りカムの変換、又はレバーの比を変化させて送り
量の変更に対応しているので、カムの製作、交
換、調整等を必要とする欠点がある。
本考案はフレーム送りツメの移動量を任意に調
整可能としてリードフレームの機種変更に対処し
うる半導体製造装置を提供するものである。
整可能としてリードフレームの機種変更に対処し
うる半導体製造装置を提供するものである。
本考案はカム面に変形等速度曲線を有し、正
転・逆転させて、フレーム送りツメの移動を行な
うフレーム送りカムと、パルス数を変えることに
よりフレーム送りツメの移動量を任意に設定する
ことが可能な送りカム駆動用ステツピングモータ
又はDCサーボモータとを備えたことを特徴とす
る送り量可変機構を有する半導体製造装置であ
る。
転・逆転させて、フレーム送りツメの移動を行な
うフレーム送りカムと、パルス数を変えることに
よりフレーム送りツメの移動量を任意に設定する
ことが可能な送りカム駆動用ステツピングモータ
又はDCサーボモータとを備えたことを特徴とす
る送り量可変機構を有する半導体製造装置であ
る。
次に本考案の一実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第１図ａ，ｂ，ｃにおいて、フレーム送りカム
４をプーリ３、ベルト２を介してステツピングモ
ータ（又はDCサーボモータ）１にて駆動する。
フレーム送りツメ１５は送りブロツク１２に固定
されており、送りブロツク１２はレバー５を介し
て左右動作を行なう。送りブロツク１２とカムフ
オロア６はスプリング７により常に密着状態にあ
り、送りブロツク１２にはスプリング１３により
送り方向に荷重をかける。またフレーム送りカム
４のカム面には変形等速度曲線を施す。８はヒー
タ釜、１４はフレーム送りレールである。
４をプーリ３、ベルト２を介してステツピングモ
ータ（又はDCサーボモータ）１にて駆動する。
フレーム送りツメ１５は送りブロツク１２に固定
されており、送りブロツク１２はレバー５を介し
て左右動作を行なう。送りブロツク１２とカムフ
オロア６はスプリング７により常に密着状態にあ
り、送りブロツク１２にはスプリング１３により
送り方向に荷重をかける。またフレーム送りカム
４のカム面には変形等速度曲線を施す。８はヒー
タ釜、１４はフレーム送りレールである。
また、パイロツトピン上下動作ステツピングモ
ータ１１を正・逆回転させることにより、パイロ
ツトピン上下カム１０を介してパイロツトピン９
の上下を行ない、リードフレームの穴部に挿入し
リードフレームの位置決めをする。
ータ１１を正・逆回転させることにより、パイロ
ツトピン上下カム１０を介してパイロツトピン９
の上下を行ない、リードフレームの穴部に挿入し
リードフレームの位置決めをする。
本考案の送り機構は送り駆動モータをステツピ
ングモータ（又はDCサーボモータ）１にするこ
とにより、送りカム４の回転を行ないモータ正転
時は送りレバー５を介してフレーム送りに要する
ツメ１５を送り方向に移動させる。さらにモータ
１を逆転させることにより、送りツメ１５が反対
方向に移動し原点位置に戻る運動をする。
ングモータ（又はDCサーボモータ）１にするこ
とにより、送りカム４の回転を行ないモータ正転
時は送りレバー５を介してフレーム送りに要する
ツメ１５を送り方向に移動させる。さらにモータ
１を逆転させることにより、送りツメ１５が反対
方向に移動し原点位置に戻る運動をする。
以上説明したように本考案はフレーム送り駆動
モータ１ステツピングモータ（又はDCサーボモ
ータ）を用いることによりフレーム送りツメの移
動量を任意に短時間に、且つデイジタル的に設定
することが可能となり、リードフレームの機種切
換に際しフレキシブル化が計られ簡単なキーボー
ド操作により対応できる。また、フレーム送りカ
ムの曲線には変形等速度曲線を採用することによ
り、設定パルスと送りツメの移動は１：１でリニ
アな設定が可能となり、送り量設定の簡略化がで
きる効果がある。
モータ１ステツピングモータ（又はDCサーボモ
ータ）を用いることによりフレーム送りツメの移
動量を任意に短時間に、且つデイジタル的に設定
することが可能となり、リードフレームの機種切
換に際しフレキシブル化が計られ簡単なキーボー
ド操作により対応できる。また、フレーム送りカ
ムの曲線には変形等速度曲線を採用することによ
り、設定パルスと送りツメの移動は１：１でリニ
アな設定が可能となり、送り量設定の簡略化がで
きる効果がある。
第１図ａは本考案の一実施例を示す正面図、ｂ
は平面図、ｃは側面図である。 １……フレーム送り用ステツピングモータ、２
……ベルト、３……プーリ、４……フレーム送り
カム、５……送りレバー、６……カムフオロア、
７……スプリング、８……ヒータ釜、９……パイ
ロツトピン、１０……パイロツトピン上、下動作
カム、１１……パイロツトピン上下動作ステツピ
ングモータ、１２……送りブロツク、１３……ス
プリング、１４……フレーム送りレール、１５…
…フレーム送りツメ。
は平面図、ｃは側面図である。 １……フレーム送り用ステツピングモータ、２
……ベルト、３……プーリ、４……フレーム送り
カム、５……送りレバー、６……カムフオロア、
７……スプリング、８……ヒータ釜、９……パイ
ロツトピン、１０……パイロツトピン上、下動作
カム、１１……パイロツトピン上下動作ステツピ
ングモータ、１２……送りブロツク、１３……ス
プリング、１４……フレーム送りレール、１５…
…フレーム送りツメ。
Claims (1)
- カム面に変形等速度曲線を有し、正転・逆転さ
せてフレーム送りツメの移動を行なうフレーム送
りカムと、パルス数を変えることによりフレーム
送りツメの移動量を任意に設定することが可能な
送りカム駆動用ステツピングモータ又はDCサー
ボモータとを備えたことを特徴とする送り量可変
機構を有する半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8787785U JPH0442920Y2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8787785U JPH0442920Y2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203547U JPS61203547U (ja) | 1986-12-22 |
| JPH0442920Y2 true JPH0442920Y2 (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=30640497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8787785U Expired JPH0442920Y2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0442920Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP8787785U patent/JPH0442920Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61203547U (ja) | 1986-12-22 |
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