JPH0444636A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0444636A JPH0444636A JP2151958A JP15195890A JPH0444636A JP H0444636 A JPH0444636 A JP H0444636A JP 2151958 A JP2151958 A JP 2151958A JP 15195890 A JP15195890 A JP 15195890A JP H0444636 A JPH0444636 A JP H0444636A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- metal thin
- recording medium
- fluorine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒
体に関し、硬質炭素膜中にフッ素原子を含む構造にする
ことにより低湿環境でのスチル耐久性、走行耐久性を著
しく改善した磁気記録媒体に関する。
体に関し、硬質炭素膜中にフッ素原子を含む構造にする
ことにより低湿環境でのスチル耐久性、走行耐久性を著
しく改善した磁気記録媒体に関する。
従来の技術
従来、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体
においては、様々な方法により耐蝕性。
においては、様々な方法により耐蝕性。
スチル耐久性、走行耐久性の向上が続けられてきた。た
とえば、第１に強磁性金属薄膜上にカルボン酸系５ リ
ン系の滑剤層を設ける、第２に同様に非磁性金属の保護
膜を設ける、第３に同様にＳ ＋ ０２膜を設ける等で
ある。しかし、これらの保護膜ではもう一歩走行耐久性
と耐蝕性が改善されないのが現状である。そこで最近で
は、ダイヤモンド状炭素膜を薄膜型の磁気記録媒体の保
護膜として用いることも検討されている。
とえば、第１に強磁性金属薄膜上にカルボン酸系５ リ
ン系の滑剤層を設ける、第２に同様に非磁性金属の保護
膜を設ける、第３に同様にＳ ＋ ０２膜を設ける等で
ある。しかし、これらの保護膜ではもう一歩走行耐久性
と耐蝕性が改善されないのが現状である。そこで最近で
は、ダイヤモンド状炭素膜を薄膜型の磁気記録媒体の保
護膜として用いることも検討されている。
発明が解決しようとする課題
上記ダイヤモンド状炭素膜を用いる技術は走行耐久性を
著しく向上させる効果はあるが、その厚みによるスペー
シングロスにより薄膜型の磁気記録媒体の特徴である短
波長記録の高出力に大きなマイナスとなり、実用性に欠
ける。具体的には、ダイヤモンド状炭素膜による走行耐
久性の向上には、この膜厚が２００〜３００人必要であ
り、このため８ｍビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）規格
の５ＭＨｚのＹ−出力で約３．０〜４．０ｄＢ出力が低
下してしまっていた。
著しく向上させる効果はあるが、その厚みによるスペー
シングロスにより薄膜型の磁気記録媒体の特徴である短
波長記録の高出力に大きなマイナスとなり、実用性に欠
ける。具体的には、ダイヤモンド状炭素膜による走行耐
久性の向上には、この膜厚が２００〜３００人必要であ
り、このため８ｍビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）規格
の５ＭＨｚのＹ−出力で約３．０〜４．０ｄＢ出力が低
下してしまっていた。
本発明は上記課題を解決するもので、スベーシンクロス
を減少させるとともに、低湿環境での走行耐久性、スチ
ル耐久性に優れた高出力の金属薄膜型の磁気記録媒体を
従供することを目的とする。
を減少させるとともに、低湿環境での走行耐久性、スチ
ル耐久性に優れた高出力の金属薄膜型の磁気記録媒体を
従供することを目的とする。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明は、非磁性基板上に強
磁性金属薄膜を形成し、この強磁性金属薄膜上に炭化水
素のプラズマ重合膜を形成し、このプラズマ重合膜上に
フッ素含有硬質炭素膜を形成し、さらに最上保護層とし
て潤滑剤層を形成したものである。
磁性金属薄膜を形成し、この強磁性金属薄膜上に炭化水
素のプラズマ重合膜を形成し、このプラズマ重合膜上に
フッ素含有硬質炭素膜を形成し、さらに最上保護層とし
て潤滑剤層を形成したものである。
作用
本発明は上記のように、強磁性金属薄膜の上に炭化水素
のプラズマ重合膜を形成し、この上にフッ５Ｆ’原子を
含んだ硬質炭素膜を形成し、さらにこの上に潤滑剤層を
形成することにより低湿環境でのスチル耐久性、走行耐
久性を改善し、これら保護膜にもとづく出力低下を約１
．０ｄＢ程度に抑えることができるものである。
のプラズマ重合膜を形成し、この上にフッ５Ｆ’原子を
含んだ硬質炭素膜を形成し、さらにこの上に潤滑剤層を
形成することにより低湿環境でのスチル耐久性、走行耐
久性を改善し、これら保護膜にもとづく出力低下を約１
．０ｄＢ程度に抑えることができるものである。
実施例
以下、本発明の磁気記録媒体の一実施例を図面に基づい
て説明する。
て説明する。
ポリエチレンテレフタレートフィルム等からなる非磁性
基板１の上面に強磁性金属薄膜２を形成し、この強磁性
金属薄膜２の上に炭化水素のプラズマ重合膜３を形成し
、さらにその上にフッ素原子を含んだフッ素含有硬質炭
素膜４を形成し、さらにその上に最上保護層として潤滑
剤層５を重ねて形成するものである。一方、非磁性基板
１の下面にはバックコート層６を形成して磁気記録媒体
としたものである。そして上記フッ素含有硬質炭素膜４
を形成するには、アルゴンと一般的な炭化水素とフッ素
含有炭化水素、たとえばＣＨ２Ｆ２ＣＦ□、Ｃ−Ｃ３Ｆ
６．ＣＨＦ３．Ｃ，Ｆ６等を混合して混合ガスとして導
入してもよく、またアルゴンとフッ素含有炭化水素だけ
でフッ素含有硬質炭素膜を成膜してもよい。
基板１の上面に強磁性金属薄膜２を形成し、この強磁性
金属薄膜２の上に炭化水素のプラズマ重合膜３を形成し
、さらにその上にフッ素原子を含んだフッ素含有硬質炭
素膜４を形成し、さらにその上に最上保護層として潤滑
剤層５を重ねて形成するものである。一方、非磁性基板
１の下面にはバックコート層６を形成して磁気記録媒体
としたものである。そして上記フッ素含有硬質炭素膜４
を形成するには、アルゴンと一般的な炭化水素とフッ素
含有炭化水素、たとえばＣＨ２Ｆ２ＣＦ□、Ｃ−Ｃ３Ｆ
６．ＣＨＦ３．Ｃ，Ｆ６等を混合して混合ガスとして導
入してもよく、またアルゴンとフッ素含有炭化水素だけ
でフッ素含有硬質炭素膜を成膜してもよい。
これらのフッ素含有硬質炭素膜は膜自体の中にフッ素原
子を含むために膜自体の滑り性がよく、湿度の低い環境
で磁気ヘッド材料と薄膜媒体表面とが凝着するのを防ぎ
、走行耐久性、スチル耐久性を改善することができる。
子を含むために膜自体の滑り性がよく、湿度の低い環境
で磁気ヘッド材料と薄膜媒体表面とが凝着するのを防ぎ
、走行耐久性、スチル耐久性を改善することができる。
そのため硬質炭素膜自体を薄くすることが可能となり、
６０〜１００人の厚みで十分な信転性が得られるもので
ある。
６０〜１００人の厚みで十分な信転性が得られるもので
ある。
以下に具体的に説明する。
異常に大きな突起のない表面粗さの制御された５００−
中温のポリエチレンテレフタレートフィルム、たとえば
表面最大粗さ２００〜３００人、中心線平均粗さ２５〜
５０人、山伏突起の密度が１、ｍｎ（当り１０” 〜１
．ＯＱ個の非磁性基板１上に、真空蒸着法により酸素を
導入しながらＣｏ（８０）〜Ｎｉ （２０）の強磁性金
属薄膜２を２０００人形成した後、この強磁性金属薄膜
２上へ真空度０．１Ｔｏｒｒ、１５ＫＨｚの周波数で出
力５００■の条件でプロパンを原料としてプラズマ重合
膜３を１０人形成する０次に、このプラズマ重合膜３上
へメタン、パーフロロシクロブタン、アルゴンの混合ガ
スを原料として放電管の内圧０．３ Ｔｏｒｒ真空度で
、ＩＫＨｚの交流周波数を用い、電圧２０００ポルト、
ＤＣ電圧をプラス８００ボルト印加してプラズマＣＶＤ
法によりフッ素原子を含んだフッ素含有硬質炭素膜４を
１００人形成する。この時のガス流量は８０ＳＣＣＭか
ら２００ＳＣＣＭでちる。これをサンプルＡとする。そ
の他のサンプルとしては、アルゴンとパーフロロシクロ
ブタンだけのガスから成膜したサンプルをＢとし、ＣＨ
ＣＦ４．アルゴンのガスからのものをサンプル０１ＣＨ
，、ＣＨ２Ｆ２．アルゴンのガスからのものをサンプル
Ｄ、Ｃ２Ｆ６とアルゴンのガスからのものをサンプルＥ
とした。
中温のポリエチレンテレフタレートフィルム、たとえば
表面最大粗さ２００〜３００人、中心線平均粗さ２５〜
５０人、山伏突起の密度が１、ｍｎ（当り１０” 〜１
．ＯＱ個の非磁性基板１上に、真空蒸着法により酸素を
導入しながらＣｏ（８０）〜Ｎｉ （２０）の強磁性金
属薄膜２を２０００人形成した後、この強磁性金属薄膜
２上へ真空度０．１Ｔｏｒｒ、１５ＫＨｚの周波数で出
力５００■の条件でプロパンを原料としてプラズマ重合
膜３を１０人形成する０次に、このプラズマ重合膜３上
へメタン、パーフロロシクロブタン、アルゴンの混合ガ
スを原料として放電管の内圧０．３ Ｔｏｒｒ真空度で
、ＩＫＨｚの交流周波数を用い、電圧２０００ポルト、
ＤＣ電圧をプラス８００ボルト印加してプラズマＣＶＤ
法によりフッ素原子を含んだフッ素含有硬質炭素膜４を
１００人形成する。この時のガス流量は８０ＳＣＣＭか
ら２００ＳＣＣＭでちる。これをサンプルＡとする。そ
の他のサンプルとしては、アルゴンとパーフロロシクロ
ブタンだけのガスから成膜したサンプルをＢとし、ＣＨ
ＣＦ４．アルゴンのガスからのものをサンプル０１ＣＨ
，、ＣＨ２Ｆ２．アルゴンのガスからのものをサンプル
Ｄ、Ｃ２Ｆ６とアルゴンのガスからのものをサンプルＥ
とした。
比較のためにフッ素原子を含まないダイヤモンド状炭素
膜を保護膜と（−だサンプルも試作し、プロパンとアル
ゴンのガスを原料としたものをサンプルＦ、メタンとア
ルゴンのガスを原料としたものをサンプルＧとした。
膜を保護膜と（−だサンプルも試作し、プロパンとアル
ゴンのガスを原料としたものをサンプルＦ、メタンとア
ルゴンのガスを原料としたものをサンプルＧとした。
これらのサンプル（Ａ−Ｇ）上へ溶媒と混合し塗工乾燥
する方法または真空蒸着法などの周知のコーティング法
により、フッ素含有カルボン酸系の潤滑剤を５０人塗布
して潤滑剤層５を形成し、その後スリッターにより１／
２インチ幅に裁断した。このようにして作成した１／２
インチＶＴＲ用金属薄膜型の磁気テープを松下電器産業
■製のＭｎＶＴＲにより評価した。
する方法または真空蒸着法などの周知のコーティング法
により、フッ素含有カルボン酸系の潤滑剤を５０人塗布
して潤滑剤層５を形成し、その後スリッターにより１／
２インチ幅に裁断した。このようにして作成した１／２
インチＶＴＲ用金属薄膜型の磁気テープを松下電器産業
■製のＭｎＶＴＲにより評価した。
なお、スチル耐久性は２３°Ｃ−１０％の環境で測定し
、出力が初期に比べて３ｄＢ低下した時までの時間を分
単位で表示した。その結果をフッ素含有硬質炭素膜の効
果として次の表にまとめて示す。
、出力が初期に比べて３ｄＢ低下した時までの時間を分
単位で表示した。その結果をフッ素含有硬質炭素膜の効
果として次の表にまとめて示す。
Ｃ以 下 余 白）
上記の表のサンプルＡ−Ｅから明らかなように、フッ素
原子を含む硬質炭素Ｉｆｆ（１００人）４を形成するこ
とにより、−船釣なダイヤモンド状炭素膜を用いた場合
よりも低湿環境でのスチル耐久性を改善し、かつ保護膜
厚みを薄くできるため出力の高い磁気記録媒体を得るこ
とができる。
原子を含む硬質炭素Ｉｆｆ（１００人）４を形成するこ
とにより、−船釣なダイヤモンド状炭素膜を用いた場合
よりも低湿環境でのスチル耐久性を改善し、かつ保護膜
厚みを薄くできるため出力の高い磁気記録媒体を得るこ
とができる。
発明の効果
上記実施例から明らかなように、本発明によれば硬質保
護膜にもとづく出力の低下を極力抑えて低湿環境でのス
チル耐久性の高い金属薄膜型の磁気記録媒体を得ること
ができるものである。
護膜にもとづく出力の低下を極力抑えて低湿環境でのス
チル耐久性の高い金属薄膜型の磁気記録媒体を得ること
ができるものである。
図は本発明による磁気記録媒体の一実施例の概略的な断
面図である。 ｌ・・・・・・非磁性基板、２・・・・・・強磁性金属
薄膜、３・・・・・・プラズマ重合膜、４・・・・・・
フッ素含有硬質炭素膜、５・・・・・・潤滑剤層。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名フｌ：ｆｈ
柊ふ救 ５Ｔ！’五五＋丁全ｌ賃★−且ｆ ７′ラス゛マ自（（５川（ ７・ｆｆ％Ｇ腎■更１ｔづげｊ７１（ 拷侃骨勧１
面図である。 ｌ・・・・・・非磁性基板、２・・・・・・強磁性金属
薄膜、３・・・・・・プラズマ重合膜、４・・・・・・
フッ素含有硬質炭素膜、５・・・・・・潤滑剤層。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名フｌ：ｆｈ
柊ふ救 ５Ｔ！’五五＋丁全ｌ賃★−且ｆ ７′ラス゛マ自（（５川（ ７・ｆｆ％Ｇ腎■更１ｔづげｊ７１（ 拷侃骨勧１
Claims (1)
- 非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成し、この強磁性金
属薄膜上に炭化水素のプラズマ重合膜を形成し、このプ
ラズマ重合膜上にフッ素含有硬質炭素膜を形成し、さら
に最上保護層として潤滑剤層を形成した磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2151958A JPH0444636A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2151958A JPH0444636A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0444636A true JPH0444636A (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=15529932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2151958A Pending JPH0444636A (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444636A (ja) |
-
1990
- 1990-06-11 JP JP2151958A patent/JPH0444636A/ja active Pending
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