JPH0446546U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0446546U JPH0446546U JP8770290U JP8770290U JPH0446546U JP H0446546 U JPH0446546 U JP H0446546U JP 8770290 U JP8770290 U JP 8770290U JP 8770290 U JP8770290 U JP 8770290U JP H0446546 U JPH0446546 U JP H0446546U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- rotating shaft
- wafers
- shaft
- wafer carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は、本考案の一実施例を示す回転軸の斜
視図、第２図は、回転軸の回転角度が０°の状態
を示す断面図、第３図は、回転軸の回転角度が９
０°の状態を示す断面図、第４図は、回転軸の回
転角度が１８０°の状態を示す断面図、第５図は
、回転軸の回転角度が２７０°の状態を示す断面
図、第６図は、従来のウエハキヤリアの一例を説
明するための図である。 １……回転軸、４……第一の突起、５……第二
の突起、６……第三の突起、８……ウエハキヤリ
ア、１２……第一群のウエハ、１３……第二群の
ウエハ、１４……第三群のウエハ。
視図、第２図は、回転軸の回転角度が０°の状態
を示す断面図、第３図は、回転軸の回転角度が９
０°の状態を示す断面図、第４図は、回転軸の回
転角度が１８０°の状態を示す断面図、第５図は
、回転軸の回転角度が２７０°の状態を示す断面
図、第６図は、従来のウエハキヤリアの一例を説
明するための図である。 １……回転軸、４……第一の突起、５……第二
の突起、６……第三の突起、８……ウエハキヤリ
ア、１２……第一群のウエハ、１３……第二群の
ウエハ、１４……第三群のウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハを収納して搬送するためのウエハキヤリ
アにおいて、 上記ウエハキヤリアの下部に上記ウエハの並び
方向に沿つて回転軸を回転自在に配設し、上記ウ
エハを上記回転軸でもつて下方から支持するとと
もに、 上記回転軸が回転させられたときに上記ウエハ
を上方に持ち上げる突起を上記回転軸上に複数個
形成し、 かつ上記複数の突起の突出方向を予め定めた分
類方法に従つて複数種類に分けることにより、上
記回転軸の回転角度に応じて選択されたウエハの
みが上記突起により上方に持ち上げられるように
したことを特徴とするウエハキヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8770290U JPH0446546U (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8770290U JPH0446546U (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0446546U true JPH0446546U (ja) | 1992-04-21 |
Family
ID=31820295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8770290U Pending JPH0446546U (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0446546U (ja) |
-
1990
- 1990-08-22 JP JP8770290U patent/JPH0446546U/ja active Pending
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