JPH044660B2 - - Google Patents
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- JPH044660B2 JPH044660B2 JP26665586A JP26665586A JPH044660B2 JP H044660 B2 JPH044660 B2 JP H044660B2 JP 26665586 A JP26665586 A JP 26665586A JP 26665586 A JP26665586 A JP 26665586A JP H044660 B2 JPH044660 B2 JP H044660B2
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- magnetic
- plastic film
- electrode
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁性媒体の製造装置に関するものであ
る。
る。
近年、磁気記録の高密度化の要求に伴い、磁性
層が磁性材料のみによつて形成される、いわゆる
磁性薄膜媒体の研究が盛んに行なわれるようにな
つてきている。この磁性薄膜媒体がプラスチツク
フイルム上に形成されるフロツピーデイスク及び
磁気テープ等の製造装置は、従来、第４図に示さ
れるような構造をしている。すなわち、ステンレ
ス等の導電性の金属からなる真空容器１０内に、
長尺のプラスチツクフイルム１１を搬送する機構
（以下、搬送機構と略称す）と、プラスチツクフ
イルム１１上に磁性材料を堆積させる機構（以
下、堆積機構と略称す）を有する。搬送機構は、
供給リール１２、巻取リール１３、２つのガイド
ロール１４及び１５、及びキヤン１６から構成さ
れ、供給リール１２より繰り出されたプラスチツ
クフイルム１１は、図示の如く、ガイドロール１
４、キヤン１６及びガイドロール１５を介して巻
取リール１３に巻き取られる。堆積機構はキヤン
１６に近接して配置された蒸発源（ターゲツト）
１７を有し、キヤン１６の外周面に沿つて走行す
るプラスチツクフイルム１１上に真空蒸着法、ス
パツタリング法、イオンプレーテイング法等によ
つて磁性材料からなる磁性薄膜を連続して形成さ
せる。
層が磁性材料のみによつて形成される、いわゆる
磁性薄膜媒体の研究が盛んに行なわれるようにな
つてきている。この磁性薄膜媒体がプラスチツク
フイルム上に形成されるフロツピーデイスク及び
磁気テープ等の製造装置は、従来、第４図に示さ
れるような構造をしている。すなわち、ステンレ
ス等の導電性の金属からなる真空容器１０内に、
長尺のプラスチツクフイルム１１を搬送する機構
（以下、搬送機構と略称す）と、プラスチツクフ
イルム１１上に磁性材料を堆積させる機構（以
下、堆積機構と略称す）を有する。搬送機構は、
供給リール１２、巻取リール１３、２つのガイド
ロール１４及び１５、及びキヤン１６から構成さ
れ、供給リール１２より繰り出されたプラスチツ
クフイルム１１は、図示の如く、ガイドロール１
４、キヤン１６及びガイドロール１５を介して巻
取リール１３に巻き取られる。堆積機構はキヤン
１６に近接して配置された蒸発源（ターゲツト）
１７を有し、キヤン１６の外周面に沿つて走行す
るプラスチツクフイルム１１上に真空蒸着法、ス
パツタリング法、イオンプレーテイング法等によ
つて磁性材料からなる磁性薄膜を連続して形成さ
せる。
しかしながら、このような従来の製造装置で
は、突起や欠陥の多い表面平坦性の悪い磁性薄膜
媒体しか得られなかつた。その原因としては、プ
ラスチツクフイルム１１上に付着しなかつた不要
の磁性材料が影響していると考えられている。す
なわち、第５図に示されるように、この不要な磁
性材料１８は真空容器１０内で非弾性衝突を繰り
返し、最終的に真空容器１０内壁のあらゆる箇所
に付着する。この不要な磁性材料１８は付着力が
弱いので、微弱な振動によつてあらゆる箇所から
数μｍから数mmの大きさの粉となつて剥離し、ゴ
ミとしてキヤン１６やプラスチツクフイルム１１
上に付着する。このゴミ１８が、第６図ａに示さ
れるように、キヤン１６とプラスチツクフイルム
１１との間に入つて突起をつくつたり、第６図ｂ
に示されるように、プラスチツクフイルム１１上
に付着したゴミ１８の上から磁性材料が付着して
欠陥となつたり等をひき起し、磁性媒体の表面平
坦性を悪化させていた。従つて、従来の製造装置
では、磁性媒体を多く製造すればする程、磁性媒
体の表面平坦性が悪くなり、実用的ではなくなる
という欠点を有する。
は、突起や欠陥の多い表面平坦性の悪い磁性薄膜
媒体しか得られなかつた。その原因としては、プ
ラスチツクフイルム１１上に付着しなかつた不要
の磁性材料が影響していると考えられている。す
なわち、第５図に示されるように、この不要な磁
性材料１８は真空容器１０内で非弾性衝突を繰り
返し、最終的に真空容器１０内壁のあらゆる箇所
に付着する。この不要な磁性材料１８は付着力が
弱いので、微弱な振動によつてあらゆる箇所から
数μｍから数mmの大きさの粉となつて剥離し、ゴ
ミとしてキヤン１６やプラスチツクフイルム１１
上に付着する。このゴミ１８が、第６図ａに示さ
れるように、キヤン１６とプラスチツクフイルム
１１との間に入つて突起をつくつたり、第６図ｂ
に示されるように、プラスチツクフイルム１１上
に付着したゴミ１８の上から磁性材料が付着して
欠陥となつたり等をひき起し、磁性媒体の表面平
坦性を悪化させていた。従つて、従来の製造装置
では、磁性媒体を多く製造すればする程、磁性媒
体の表面平坦性が悪くなり、実用的ではなくなる
という欠点を有する。
本発明の目的は、表面平坦性の良好な磁性媒体
を連続して製造することのできる磁性媒体の製造
装置を提供することにある。
を連続して製造することのできる磁性媒体の製造
装置を提供することにある。
本発明による磁性媒体の製造装置は、導電性金
属からなる真空容器内に、長尺のプラスチツクフ
イルムを搬送する手段と、このプラスチツクフイ
ルム上に磁性材料を堆積させる手段を有する磁性
媒体の製造装置において、真空容器内に電極を設
けると共に、真空容器と電極との間に高周波電力
を投入する手段とを設けることによつて、真空容
器内壁に弱く付着した不要な磁性材料を取り除い
た状態で磁性媒体を連続して製造することが出来
ることを特徴とする。
属からなる真空容器内に、長尺のプラスチツクフ
イルムを搬送する手段と、このプラスチツクフイ
ルム上に磁性材料を堆積させる手段を有する磁性
媒体の製造装置において、真空容器内に電極を設
けると共に、真空容器と電極との間に高周波電力
を投入する手段とを設けることによつて、真空容
器内壁に弱く付着した不要な磁性材料を取り除い
た状態で磁性媒体を連続して製造することが出来
ることを特徴とする。
以下、本発明の実施例について図面を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図を参照して、本発明の一実施例による磁
性媒体の製造装置は、従来と同様の搬送機構と堆
積機構とを有し、同一の機能を有するものには同
一参照符号を付してある。本実施例の製造装置
は、更に、真空容器１０内の適当な場所、本実施
例では上部に２個の電極２０，２０が設けられて
いる。電極２０と真空容器１０との間には、高周
波電源２１より高周波電力が投入される。
性媒体の製造装置は、従来と同様の搬送機構と堆
積機構とを有し、同一の機能を有するものには同
一参照符号を付してある。本実施例の製造装置
は、更に、真空容器１０内の適当な場所、本実施
例では上部に２個の電極２０，２０が設けられて
いる。電極２０と真空容器１０との間には、高周
波電源２１より高周波電力が投入される。
第２図を参照すると、高周波電力を投入するた
めの電気回路の一例が示されている。この電気回
路は、電極２０と真空容器１０との間にDCバイ
アスを発生させないように、カツトコンデンサを
介さないで、高周波電力を電極２０へ投入する回
路である。高周波電源２１の両端にコンデンサ２
２が接続され、電極２０と真空容器１０間にコン
デンサ２３が接続されており、これらコンデンサ
２２及び２３間にそれぞれコイル２４及び２５が
接続されている。コイル２４と２５の一端は互い
に接続されている。この回路を介して高周波電力
を電極２０に投入し、真空容器１０内にArガス
を導入して放電を行う（以下、この工程を放電工
程という。）。
めの電気回路の一例が示されている。この電気回
路は、電極２０と真空容器１０との間にDCバイ
アスを発生させないように、カツトコンデンサを
介さないで、高周波電力を電極２０へ投入する回
路である。高周波電源２１の両端にコンデンサ２
２が接続され、電極２０と真空容器１０間にコン
デンサ２３が接続されており、これらコンデンサ
２２及び２３間にそれぞれコイル２４及び２５が
接続されている。コイル２４と２５の一端は互い
に接続されている。この回路を介して高周波電力
を電極２０に投入し、真空容器１０内にArガス
を導入して放電を行う（以下、この工程を放電工
程という。）。
本発明は、この放電工程をプラスチツクフイル
ム１１上に磁性材料を堆積させる工程の前に行う
と、得られる磁性薄膜媒体の表面平坦性が飛躍的
に向上することを見出した。その原因については
まだよくわかつていないが、本発明者は次のよう
に考えている。
ム１１上に磁性材料を堆積させる工程の前に行う
と、得られる磁性薄膜媒体の表面平坦性が飛躍的
に向上することを見出した。その原因については
まだよくわかつていないが、本発明者は次のよう
に考えている。
すなわち、清浄な真空容器の内壁は電導体であ
るため、DCバイアスが生じず、Arイオンによる
衝撃は受けない。しかし、ゴミの原因となりやす
い付着力の弱い不要な磁性材料は、チヤージアツ
プによりDCバイアスを生じるために、選択的に
Arイオンによるスパツタが行われ、ゴミとなる
前にたたき出されるので、真空容器の内壁が洗浄
される。
るため、DCバイアスが生じず、Arイオンによる
衝撃は受けない。しかし、ゴミの原因となりやす
い付着力の弱い不要な磁性材料は、チヤージアツ
プによりDCバイアスを生じるために、選択的に
Arイオンによるスパツタが行われ、ゴミとなる
前にたたき出されるので、真空容器の内壁が洗浄
される。
第３図に、第１図に示す本発明による製造装置
で製造された磁性媒体の表面粗さａと、第４図に
示す従来の製造装置で製造された磁性媒体の表面
粗さｂを表面粗さ計で測定した結果を示す。従来
の場合ｂ、磁性媒体の表面粗さが1μHmaxであつ
たのに対し、本発明の場合ａ、磁性媒体の表面粗
さが70ÅHmaxであつた。従つて、明らかに、本
発明の製造装置によつて製造された磁性媒体の表
面平坦性が向上していることがわかる。
で製造された磁性媒体の表面粗さａと、第４図に
示す従来の製造装置で製造された磁性媒体の表面
粗さｂを表面粗さ計で測定した結果を示す。従来
の場合ｂ、磁性媒体の表面粗さが1μHmaxであつ
たのに対し、本発明の場合ａ、磁性媒体の表面粗
さが70ÅHmaxであつた。従つて、明らかに、本
発明の製造装置によつて製造された磁性媒体の表
面平坦性が向上していることがわかる。
なお、本発明において、電極２０を設置する場
所は、洗浄を必要とする場所であれば良く、本実
施例に制限されない。また、高周波電力を投入す
るための電気回路においても、電極２０と真空容
器１０との間にDCバイアスが印加されないよう
なものであれば良く、本実施例に制限されない。
所は、洗浄を必要とする場所であれば良く、本実
施例に制限されない。また、高周波電力を投入す
るための電気回路においても、電極２０と真空容
器１０との間にDCバイアスが印加されないよう
なものであれば良く、本実施例に制限されない。
以上述べたように、本発明によれば、極めて表
面平坦性の良い磁性媒体を再現性良く連続して得
ることができるという効果がある。
面平坦性の良い磁性媒体を再現性良く連続して得
ることができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例による磁性媒体の製
造装置の概略構造を示す縦断面図、第２図は本発
明で使用される高周波電力を投入するための電気
回路の一例を示す回路図、第３図ａ及びｂは本発
明及び従来の製造装置により製造された磁性媒体
の表面粗さの結果を示す図、第４図は従来の磁性
媒体の製造装置の概略構造を示す縦断面図、第５
図は第４図の装置の問題点を説明するための縦断
面図、第６図ａ及びｂは従来の問題点を説明する
ための図である。 １０……真空容器、１１……プラスチツクフイ
ルム、１２……供給リール、１３……巻取リー
ル、１４，１５……ガイドロール、１６……キヤ
ン、１７……蒸発源（ターゲツト）、１８……ゴ
ミ（不要な磁性材料）、２０……電極、２１……
高周波電源、２２，２３……コンデンサ、２４，
２５……コイル。
造装置の概略構造を示す縦断面図、第２図は本発
明で使用される高周波電力を投入するための電気
回路の一例を示す回路図、第３図ａ及びｂは本発
明及び従来の製造装置により製造された磁性媒体
の表面粗さの結果を示す図、第４図は従来の磁性
媒体の製造装置の概略構造を示す縦断面図、第５
図は第４図の装置の問題点を説明するための縦断
面図、第６図ａ及びｂは従来の問題点を説明する
ための図である。 １０……真空容器、１１……プラスチツクフイ
ルム、１２……供給リール、１３……巻取リー
ル、１４，１５……ガイドロール、１６……キヤ
ン、１７……蒸発源（ターゲツト）、１８……ゴ
ミ（不要な磁性材料）、２０……電極、２１……
高周波電源、２２，２３……コンデンサ、２４，
２５……コイル。
Claims (1)
- １ 導電性金属からなる真空容器内に、長尺のプ
ラスチツクフイルムを搬送する手段と、該プラス
チツクフイルム上に磁性材料を堆積させる手段を
有する磁性媒体の製造装置において、前記真空容
器内に電極を設けると共に、前記真空容器と該電
極との間に高周波電力を投入する手段を設けたこ
とを特徴とする磁性媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26665586A JPS63122019A (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | 磁性媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26665586A JPS63122019A (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | 磁性媒体の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63122019A JPS63122019A (ja) | 1988-05-26 |
| JPH044660B2 true JPH044660B2 (ja) | 1992-01-29 |
Family
ID=17433846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26665586A Granted JPS63122019A (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | 磁性媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63122019A (ja) |
-
1986
- 1986-11-11 JP JP26665586A patent/JPS63122019A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63122019A (ja) | 1988-05-26 |
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