JPH044752U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044752U JPH044752U JP4614690U JP4614690U JPH044752U JP H044752 U JPH044752 U JP H044752U JP 4614690 U JP4614690 U JP 4614690U JP 4614690 U JP4614690 U JP 4614690U JP H044752 U JPH044752 U JP H044752U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- device sections
- sections
- markers
- defective
- wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す平面図、第２
図は本考案の実施例２を示す平面図、第３図は従
来の素子の平面図である。 １，１１……化合物ＦＥＴ素子のゲート電極、
１，１２……化合物ＦＥＴ素子のドレイン電極、
３，１３……化合物ＦＥＴ素子のソース電極、４
，１４……ゲート電極１のボンデイングパツド部
、５，１５……ドレイン電極２のボンデイングパ
ツド部、６，１６……ソース電極３のボンデイン
グパツド部、７，８……不良マーカ専用パターン
、９……打刻傷。
図は本考案の実施例２を示す平面図、第３図は従
来の素子の平面図である。 １，１１……化合物ＦＥＴ素子のゲート電極、
１，１２……化合物ＦＥＴ素子のドレイン電極、
３，１３……化合物ＦＥＴ素子のソース電極、４
，１４……ゲート電極１のボンデイングパツド部
、５，１５……ドレイン電極２のボンデイングパ
ツド部、６，１６……ソース電極３のボンデイン
グパツド部、７，８……不良マーカ専用パターン
、９……打刻傷。
Claims (1)
- 多数の素子区画形成済みウエーハの素子区画内
に、不良マーカの専用パターンを形成したことを
特徴とする化合物半導体素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4614690U JPH044752U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4614690U JPH044752U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044752U true JPH044752U (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=31560968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4614690U Pending JPH044752U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044752U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53111939U (ja) * | 1977-02-16 | 1978-09-06 |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP4614690U patent/JPH044752U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53111939U (ja) * | 1977-02-16 | 1978-09-06 |