JPH0447653A - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents
透過型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0447653A JPH0447653A JP2152741A JP15274190A JPH0447653A JP H0447653 A JPH0447653 A JP H0447653A JP 2152741 A JP2152741 A JP 2152741A JP 15274190 A JP15274190 A JP 15274190A JP H0447653 A JPH0447653 A JP H0447653A
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- Japan
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- lens
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透過型電子顕微鏡に係り、特に元素分析などの
分析機能と、原子配列などの微細構造の超高分解能透過
像観察に好適な材物レンズ、試料室および試料微動装置
に関する。
分析機能と、原子配列などの微細構造の超高分解能透過
像観察に好適な材物レンズ、試料室および試料微動装置
に関する。
従来の透過型電子顕微鏡は対物レンズ、試料室、試料微
動装置、各−式から成っている。また、分析を主体とし
た装置の対物レンズと、超高分解能透過像観察用のそれ
とは本質的に異なった形状を持ち、異なった方式と機構
の試料微動装置を要する。従って従来の装置では、分解
能をある程度犠牲にした分析指向の装置にまとめるか、
もしくは分析機能を犠牲にした超高分解能指向の装置に
まとめるかのどちらかであった。−台の装置でその両者
を満足させるためには、対物レンズ、試料室、試料微動
装置を分析用と超高分解能用の各−式用意しておき必要
に応じ、交換する方法もある。しかしこの作業には交換
および交換後の微調整のための知識が必要である。さら
に、交換操作のため、高真空に保っておいた鏡体的構造
物を大気中にさらすことにより交換後の測定試料の試料
汚染が著しく増加した。
動装置、各−式から成っている。また、分析を主体とし
た装置の対物レンズと、超高分解能透過像観察用のそれ
とは本質的に異なった形状を持ち、異なった方式と機構
の試料微動装置を要する。従って従来の装置では、分解
能をある程度犠牲にした分析指向の装置にまとめるか、
もしくは分析機能を犠牲にした超高分解能指向の装置に
まとめるかのどちらかであった。−台の装置でその両者
を満足させるためには、対物レンズ、試料室、試料微動
装置を分析用と超高分解能用の各−式用意しておき必要
に応じ、交換する方法もある。しかしこの作業には交換
および交換後の微調整のための知識が必要である。さら
に、交換操作のため、高真空に保っておいた鏡体的構造
物を大気中にさらすことにより交換後の測定試料の試料
汚染が著しく増加した。
」二部従来技術はナノメータ領域の分析と超高分解能透
過像観察の両立については配慮がされおらず、ユーザー
はそれぞれの機能に妥協を強いられるか、もしくは煩雑
な対物レンズ、試料室、試料微動装置の交換操作を強い
られるかのどちらかであった。また、うまく交換操作が
行なえても、その後に生じる試料汚染の問題についても
配慮されず、交換後しばらくは観察中の試料汚染に悩ま
されるという問題があった。
過像観察の両立については配慮がされおらず、ユーザー
はそれぞれの機能に妥協を強いられるか、もしくは煩雑
な対物レンズ、試料室、試料微動装置の交換操作を強い
られるかのどちらかであった。また、うまく交換操作が
行なえても、その後に生じる試料汚染の問題についても
配慮されず、交換後しばらくは観察中の試料汚染に悩ま
されるという問題があった。
本発明の目的は対物レンズなどの複雑で繊細な部品の交
換操作、交換操作による試料汚染の増加などの問題を起
こさずにナノメータ領域の分析と原子配列などの超高分
解能透過像の観察の両立を実現することにある。
換操作、交換操作による試料汚染の増加などの問題を起
こさずにナノメータ領域の分析と原子配列などの超高分
解能透過像の観察の両立を実現することにある。
上記目的を達成するために、従来、電子顕微鏡鏡体中に
一組しか組み込まれていなかった対物レンズ、試料室、
試料微動装置を分析に適したものと超高分解能透過像観
察に適したものの二組もしくはそれ以上組み込むことに
したものである。
一組しか組み込まれていなかった対物レンズ、試料室、
試料微動装置を分析に適したものと超高分解能透過像観
察に適したものの二組もしくはそれ以上組み込むことに
したものである。
分析用の対物レンズ、試料室、試料微動装置が動作中に
だ超高分解能透過像観察用の対物レンズはその電流が弱
められ、その対物レンズ用の試料微動装置も動作が解除
される。また、超高分解能透過像観察用対物レンズが動
作中は分析用の対物レンズは弱められ、試料微動装置の
動作が解除される。このように一つのレンズが動作中は
他のレンズは弱められ、試料微動装置は動作が解除され
るので誤動作することがない。
だ超高分解能透過像観察用の対物レンズはその電流が弱
められ、その対物レンズ用の試料微動装置も動作が解除
される。また、超高分解能透過像観察用対物レンズが動
作中は分析用の対物レンズは弱められ、試料微動装置の
動作が解除される。このように一つのレンズが動作中は
他のレンズは弱められ、試料微動装置は動作が解除され
るので誤動作することがない。
以下、本発明の一実施例を第１−図〜第３図により説明
する。透過型電子顕微鏡］−には電子銃２およびそれか
ら発せられる電子線３を収束する収束レンズ４が配置さ
れている。その収束レンズ４の下に第ｊ一対物レンズ５
．第１試料室６．第１試料微動装置７と試料８を支持し
ている第１試料ホールダ９と試料８の元素分析を行なう
ための分析器１０、その下に第２対物レンズ１１．第２
試料室１２、第２試料微動装置１３．第２試料ホールダ
１４、中間レンズ１５．投射レンズ１６．観察室１７、
蛍光板１８がある。
する。透過型電子顕微鏡］−には電子銃２およびそれか
ら発せられる電子線３を収束する収束レンズ４が配置さ
れている。その収束レンズ４の下に第ｊ一対物レンズ５
．第１試料室６．第１試料微動装置７と試料８を支持し
ている第１試料ホールダ９と試料８の元素分析を行なう
ための分析器１０、その下に第２対物レンズ１１．第２
試料室１２、第２試料微動装置１３．第２試料ホールダ
１４、中間レンズ１５．投射レンズ１６．観察室１７、
蛍光板１８がある。
第２図は本実施例のうち、試料８の微小部元素分析を行
なう場合を示す。電子線３は収束レンズ４および強励磁
した第１対物レンズ５の前方磁界によってナノメータ領
域まで縮小され試料面上に照射される。試料８から発生
するＸ線などの信号は分析器１０によって受けられる。
なう場合を示す。電子線３は収束レンズ４および強励磁
した第１対物レンズ５の前方磁界によってナノメータ領
域まで縮小され試料面上に照射される。試料８から発生
するＸ線などの信号は分析器１０によって受けられる。
第２対物レンズは弱励磁され、長焦点の拡大レンズとし
て作用する。第２試料ホールダ１４は第２試料室１２か
ら抜き取られる。第２試料微動装置は動作が停止される
。
て作用する。第２試料ホールダ１４は第２試料室１２か
ら抜き取られる。第２試料微動装置は動作が停止される
。
第３図は試料中の原子配列などの超高分解能透過像を観
察する場合を示す。試料８は第２試料微動装置１３に連
結された第２試料ホールダ１４に固定される。第２対物
レンズ］１によって焦点合わせされた透過像は中間レン
ズ１５によって拡大される。第１試料ホールダ９は動作
の停止した第１−試料微動装置７から抜き取られる。第
１対物レンズ５は試料８の電子線３による照射領域の調
整に用いる。
察する場合を示す。試料８は第２試料微動装置１３に連
結された第２試料ホールダ１４に固定される。第２対物
レンズ］１によって焦点合わせされた透過像は中間レン
ズ１５によって拡大される。第１試料ホールダ９は動作
の停止した第１−試料微動装置７から抜き取られる。第
１対物レンズ５は試料８の電子線３による照射領域の調
整に用いる。
第１対物レンズ５と第２対物レンズ１１との使い分けは
」二部の通りであるが、第１試料室６、第１試料ホール
ダ９、第１試料微動装置７は反射Ｘ線や照射電子線など
の分析上弊害となるノイズの発生が少ないもので構成さ
れている。また第一試料室６は分析器１０を最適の位置
に取付けられるような構成を有している。
」二部の通りであるが、第１試料室６、第１試料ホール
ダ９、第１試料微動装置７は反射Ｘ線や照射電子線など
の分析上弊害となるノイズの発生が少ないもので構成さ
れている。また第一試料室６は分析器１０を最適の位置
に取付けられるような構成を有している。
これに対し第２対物レンズ１１−は像の分解能を最優先
したものとなっており、第２試料ホールダ１４、第２試
料微動装置１３は試料８の機械的安定性を最優先した構
造となっている。
したものとなっており、第２試料ホールダ１４、第２試
料微動装置１３は試料８の機械的安定性を最優先した構
造となっている。
本発明によれば、１台の透過型電子顕微鏡にナノメータ
領域の極微小部の元素分析などが可能な、いわゆる分析
電子顕微鏡と、原子配列などの超微細構造を観察するた
めの超高分解能電子顕微鏡の、ふたつの装置の機能を持
たせることができる。これは装置購入費用、運転コスト
、設置に必要な場所の広さなどを半減して、且つ従来と
同じ成果が得られることを意味する。
領域の極微小部の元素分析などが可能な、いわゆる分析
電子顕微鏡と、原子配列などの超微細構造を観察するた
めの超高分解能電子顕微鏡の、ふたつの装置の機能を持
たせることができる。これは装置購入費用、運転コスト
、設置に必要な場所の広さなどを半減して、且つ従来と
同じ成果が得られることを意味する。
また、従来の装置でも対物レンズ、試料室、試料微動装
置などを］−大交換すれば１台の装置で分析用と超高分
解能用の両方に使い分けることができるが、レンズなど
の交換操作は複雑で、しかも両機能を十分発揮させるに
は熟練した技術者による調整が必要であり、一般ユーザ
ーの行なえる操作ではなかった。本発明はそのような複
雑な操作からユーザーを解放する効果もある。
置などを］−大交換すれば１台の装置で分析用と超高分
解能用の両方に使い分けることができるが、レンズなど
の交換操作は複雑で、しかも両機能を十分発揮させるに
は熟練した技術者による調整が必要であり、一般ユーザ
ーの行なえる操作ではなかった。本発明はそのような複
雑な操作からユーザーを解放する効果もある。
第１図は本発明の構成による透過型電子顕微鏡のレイア
ラｈを示す図、第２図は分析用に用いられる場合の対物
レンズとその周辺の部品、装置のレイアラＩ・を示す図
、第３図は超高分解能観察に用いられる場合のレイアウ
トを示す図である。
ラｈを示す図、第２図は分析用に用いられる場合の対物
レンズとその周辺の部品、装置のレイアラＩ・を示す図
、第３図は超高分解能観察に用いられる場合のレイアウ
トを示す図である。
Claims (1)
- １、電子銃により発せられた電子線と、その電子線を収
束する収束レンズと、その下に置かれた試料室と試料の
焦点合わせおよび像の拡大のための対物レンズと拡大レ
ンズ系より成る鏡体において、複数個の対物レンズ、試
料室、試料微動装置を有することを特徴とする透過型電
子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2152741A JP3064335B2 (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2152741A JP3064335B2 (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 透過型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447653A true JPH0447653A (ja) | 1992-02-17 |
| JP3064335B2 JP3064335B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=15547147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2152741A Expired - Fee Related JP3064335B2 (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3064335B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009193833A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Hitachi Ltd | 前方磁界を結像レンズとして用いる電子線観察装置および試料観察方法 |
| KR20170081249A (ko) * | 2014-12-10 | 2017-07-11 | 오지 홀딩스 가부시키가이샤 | 흡수성 물품 |
-
1990
- 1990-06-13 JP JP2152741A patent/JP3064335B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009193833A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Hitachi Ltd | 前方磁界を結像レンズとして用いる電子線観察装置および試料観察方法 |
| KR20170081249A (ko) * | 2014-12-10 | 2017-07-11 | 오지 홀딩스 가부시키가이샤 | 흡수성 물품 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3064335B2 (ja) | 2000-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |