JPH0447890Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は電子顕微鏡等の電子線装置に使用して
有効な仕切弁の改良に関する。

［従来の技術］ 一般に、電子顕微鏡等の電子線装置において
は、フイラメント交換の際、鏡体内全体をリーク
しないで交換を可能とするために、電子銃室と鏡
体との境に仕切弁を設けて、電子銃室を真空に保
たれた鏡体から切離せるように構成されている。

かかる装置に使用される仕切弁としては、弁体
の開閉時に、弁体と弁座とがすべり合うことによ
るＯリングパツキングの脱落や弁体と弁座との接
触面の損傷による真空漏れを防止しなければなら
ない。そこで、従来においては例えば実開昭57−
45155号のように電子線通過穴を有する弁座の直
下に状のテコ体を回転可能に取付け、このテコ
体と弁座との間にピストン軸に上下動可能に保持
されたＯリングパツキングを有したロツク板を配
置させると共に、ピストン軸をテコ体に当接させ
た状態において、さらにピストン軸を移動させる
ことによりテコ体を半時計方向に回転させてロツ
ク板を弁座に押圧するようになした構造のものが
提案されている。

［考案が解決しようとする問題点］ このように構成すれば、弁体とロツク板とがす
べり合うことがなくなり、Ｏリングパツキングの
脱落等を防止することができる。しかしながら、
その反面において、電子線の光軸に対して非対称
な形状をした字状のテコ体を、電子線通路上に
置かなければならない。そのため、このテコ体を
非磁性体で形成したとしても電子線に悪影響を及
ぼし、ビームの形状が歪んだり、ビームが不正に
偏向されたりして、分解能の低下を招く恐れがあ
る。

本考案はこのような欠点を解決することのでき
る仕切弁を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本考案は電子線通
過用穴に垂直な平面及びこの平面に略垂直な側面
を有する弁座と、該弁座に密着されることにより
前記穴を遮断するためのＯリングパツキングを有
する弁体と、一端に該弁体を回動可能に支持した
Ｌ字状のテコ体と、該テコ体の略中間部を回転可
能に保持した移動軸と、該移動軸を往復動させる
ための駆動手段とを備え、前記移動軸の移動によ
り弁体が弁座の穴と対向する位置におかれたと
き、テコ体の他端が弁座の側面に当接してこのテ
コ体が回転することにより弁体を弁座に押圧する
ように構成することを特徴とする。

［実施例］ 第１図は本考案の一実施例を示す断面図であ
り、１は電子顕微鏡の鏡体である。２はこの鏡体
の中心部に形成された電子線通過用穴、３は弁座
で、この弁座は前記穴２に対して垂直な平面４及
びこの平面に対して垂直な側面５を有している。
６はＬ字状に形成されたテコ体で、その中間部が
ピン７を介して移動軸８の先端に回転可能に保持
されている。また。このテコ体６の一端（作用
点）の下面にはボール９が植設してあると共に、
第２図にその側面図を示すようにこのボールに当
接させた状態で弁体１０が２つのスプリング１１
ａ，１１ｂによつて支持されている。さらに、こ
のテコ体６の他端（力点）にもボール１２が植設
してある。前記弁体１０のテコ体６への支持にあ
たつては、弁体側に凹部１３を形成して、この凹
部内にテコ体を移動可能に嵌合させ、弁体がテコ
体に対して左右方向に外れないようになしてあ
る。１４は弁体１０に取付けた真空シール用のＯ
リングパツキングである。前記移動軸８は鏡体１
の側壁を気密を保つた状態で摺動可能に貫通さ
れ、その先端はエアーシリンダ１５内のピストン
に連結されている。

１６は移動軸８の弁体１０が取付けられている
部分に固定された板バネで、この板バネはテコ体
６の作用点側を常に押し上げる、つまり常に弁体
１０を平面４から離す役目を果している。また、
この板バネ１６の上端部分Ｃは水平方向に折曲げ
られていて、テコ体６の回転角を規制するストツ
パの役目も果している。

１７ａ，１７ｂは第３図に示すようにテコ体６
の力点側の両側面を挟持することにより、このテ
コ体の移動をガイドするためのガイドブロツクで
ある。

今、弁体１０が電子線の光軸Ｚから離されてい
る状態においては、テコ体６の作用点側は板バネ
１６により押し上げられ、第１図に示すように弁
体１０が弁座３の水平面４よりも上側に位置して
いる。しかして、エアーシリンダ１５を駆動させ
て、移動軸８を電子線光軸Ｚ側に移動させ、第１
図にその状態を示すように弁体１０が穴２の直上
に位置すると、テコ体６の力点側に設けたボール
１２が弁座の側面５に当接する。この状態におい
て、さらに、移動軸８を同方向に移動させれば、
テコ体６に反時計方向（板バネ１６の押圧力に抗
する方向）の回転力が生じるため、テコ体の作用
点側が下方に押し下げられ、第４図にその状態を
示すように弁体１０が弁座３の平面４に押付けら
れて、電子線通過用穴２が閉鎖される。

次に、第４図の状態から移動軸８を前述とは逆
の方向、つまり電子線光軸Ｚから離れる方向に移
動させると、先ず、テコ体６に加えられていた反
時計方向の回転力が解除されるため、テコ体６は
板バネ１６により時計方向に回転させられる。こ
れにより弁体１０は弁座３の水平面４上をすべる
ことなく、上方に引張られて弁座３から切離され
る。しかして、第１図にその状態を示すようにテ
コ体６が板バネ１６の上端部Ｃ部分に当接する
と、テコ体は移動軸８と一緒に移動するため、弁
体１０は電子線光軸Ｚ部分から取除かれ、電子線
通過用穴が完全に開放される。

尚、前述の説明では弁座に対して弁体を上方か
ら押付ける場合について述べたが、弁座に対して
弁体を下方向から押付ける場合についても同様に
実施することができる。この場合においては、弁
体及びテコ体の自重によつてテコ体には、常に弁
体を弁座から切離す方向の回転力が加えられてい
るため、第１図の実施例のように板バネによつて
テコ体に、弁体を弁座から切離す方向の回転力を
加える必要はない。

［考案の効果］ 以上のようになせば、弁座と対向する位置に置
かれた弁体を弁座に押付けるためのテコ体を、従
来のように電子線通路上に設置する必要がなくな
る。その結果、ビーム形状が歪んだり、ビームが
不正に偏向されるのを防止することができるた
め、分解能の低下を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は第１図のAA断面図、第３図は第１図のBB
断面図、第４図は動作を説明するための図であ
る。 １……鏡体、２……電子線通過用穴、３……弁
座、４……平面、５……側面、６……テコ体、７
……ピン、８……移動軸、９，１２……ボール、
１０……弁体、１１ａ，１１ｂ……スプリング、
１３……凹部、１４……Ｏリングパツキング、１
５……エアーシリンダ、１６……板バネ、１７
ａ，１７ｂ……ガイドブロツク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電子線通過用穴に垂直な平面及びこの平面に略
   垂直な側面を有する弁座と、該弁座に密着される
   ことにより前記穴を遮断するためのＯリングパツ
   キングを有する弁体と、一端に該弁体を回動可能
   に支持したＬ字状のテコ体と、該テコ体の略中間
   部を回転可能に保持した移動軸と、該移動軸を往
   復動させるための駆動手段とを備え、前記移動軸
   の移動により弁体が弁座の穴と対向する位置にお
   かれたとき、テコ体の他端が弁座の側面に当接し
   てこのテコ体が回転することにより弁体を弁座の
   平面に押圧するように構成してなる電子線装置に
   おける仕切弁。