JPH0448437A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0448437A JPH0448437A JP15285890A JP15285890A JPH0448437A JP H0448437 A JPH0448437 A JP H0448437A JP 15285890 A JP15285890 A JP 15285890A JP 15285890 A JP15285890 A JP 15285890A JP H0448437 A JPH0448437 A JP H0448437A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、ざらに詳しく
は、ハード磁気ディスク用の長手薄膜媒体の製造方法に
関するものである。
は、ハード磁気ディスク用の長手薄膜媒体の製造方法に
関するものである。
［従来の技術］
ハード磁気ディスク用の高記録密度媒体として、塗布媒
体に代わってスパッタ法による薄膜媒体が現在主流とな
ってきている。高記録密度を実現するため、この薄膜媒
体は高出力、高記録密度特性等が要求されている。これ
らの特性を向上させるにはその媒体の磁気特性として、
保磁力、角形比が大きく、ざらにディスクの円周方向へ
の異方性も大きい必要がある。
体に代わってスパッタ法による薄膜媒体が現在主流とな
ってきている。高記録密度を実現するため、この薄膜媒
体は高出力、高記録密度特性等が要求されている。これ
らの特性を向上させるにはその媒体の磁気特性として、
保磁力、角形比が大きく、ざらにディスクの円周方向へ
の異方性も大きい必要がある。
そこで、上記特性を得るため、基板としてディスク円周
方向にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ基板を用い、
糾Ａｒガスで基板を逆スパッタにより表面をエツチング
後、下地膜としてＣｒ膜を形成し、次にＣｒ１ｌを再び
逆スパッタにより表面をエツチング後、磁性膜としてＣ
０ＮｉＣｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成し媒体を作製
する方法が提案されている（電子情報通信学会技術研究
報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭＢ８−９２．１９
８８年〉。
方向にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ基板を用い、
糾Ａｒガスで基板を逆スパッタにより表面をエツチング
後、下地膜としてＣｒ膜を形成し、次にＣｒ１ｌを再び
逆スパッタにより表面をエツチング後、磁性膜としてＣ
０ＮｉＣｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成し媒体を作製
する方法が提案されている（電子情報通信学会技術研究
報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭＢ８−９２．１９
８８年〉。
［発明が解決しようとする課題Ｊ
上記の従来のスパッタ法による薄膜媒体作製技術におい
ても、媒体の保磁力、角形比、円周方向への異方性は良
好なレベルにあるが、更に超高記録密度の実現のために
それらを改善する必要がある。
ても、媒体の保磁力、角形比、円周方向への異方性は良
好なレベルにあるが、更に超高記録密度の実現のために
それらを改善する必要がある。
本発明の目的は、更に超高記録密度実現のため、媒体の
保磁力、ディスク円周方向への異方性を改善した磁気記
録媒体の製造方法を提供することにある。
保磁力、ディスク円周方向への異方性を改善した磁気記
録媒体の製造方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は、基板上に、スパッタ法によりＣｒの下地膜と
ＣｏＣｒＴａまたはＣＯＮ ｉ Ｑｒの磁性膜からなる
薄膜媒体を作製する磁気記録媒体の製造方法において、
Ａｒガスと水素ガスからなる混合ガスを雰囲気として基
板を逆スパッタにより表面をエツチングした後、Ｏｒよ
りなる下地膜を形成する工程と、Ａｒガスと水素ガスか
らなる混合ガスを雰囲気として前記Ｃｒ膜を逆スパッタ
により表面をエツチングした後、ＣｏＣｒＴａまたはＣ
ｏＮｉＣｒよりなる磁性膜を形成する工程とを備えてな
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。
ＣｏＣｒＴａまたはＣＯＮ ｉ Ｑｒの磁性膜からなる
薄膜媒体を作製する磁気記録媒体の製造方法において、
Ａｒガスと水素ガスからなる混合ガスを雰囲気として基
板を逆スパッタにより表面をエツチングした後、Ｏｒよ
りなる下地膜を形成する工程と、Ａｒガスと水素ガスか
らなる混合ガスを雰囲気として前記Ｃｒ膜を逆スパッタ
により表面をエツチングした後、ＣｏＣｒＴａまたはＣ
ｏＮｉＣｒよりなる磁性膜を形成する工程とを備えてな
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。
［作用］
本発明では、基板上にスパッタ法によりＣｒの下地膜と
ＣｏＣｒＴａまたはＣＯＮ ｒ ｃｒの磁性膜からなる
薄膜媒体を作製する際に、基板およびＯｒ下地膜の逆ス
パッタ時にＡｒガスと水素ガスからなる混合ガスを雰囲
気として行う。ここで添加する水素ガスは、磁気特性劣
化の原因となっている基板およびＣｒ膜表面の酸化物を
化学反応を利用して取り除くことができる。その結果、
添加水素ガスの影響により、保磁力およびディスク円周
方向への異方性をさらに高めた媒体の作製か可能である
。
ＣｏＣｒＴａまたはＣＯＮ ｒ ｃｒの磁性膜からなる
薄膜媒体を作製する際に、基板およびＯｒ下地膜の逆ス
パッタ時にＡｒガスと水素ガスからなる混合ガスを雰囲
気として行う。ここで添加する水素ガスは、磁気特性劣
化の原因となっている基板およびＣｒ膜表面の酸化物を
化学反応を利用して取り除くことができる。その結果、
添加水素ガスの影響により、保磁力およびディスク円周
方向への異方性をさらに高めた媒体の作製か可能である
。
［実施例］
以下に、本発明の実施例について説明する。
実施例１
本実施例では、磁性膜がＣｏＣｒＴａ膜の場合について
説明する。本実施例に用いたスパッタ装置はＲＦマグネ
トロン方式のものである。ターゲットは下地膜用として
３ＮのＣｒターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（
１２ａｔ％Ｃｒ、２ａｔ％Ｔａ＞合金ターゲットをそれ
ぞれ用いた。また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗ざ
Ｒｍａｘ＝４００人＞ Ｎ ｉ Ｐ／Ａｆｆｉ基板を用
いた。
説明する。本実施例に用いたスパッタ装置はＲＦマグネ
トロン方式のものである。ターゲットは下地膜用として
３ＮのＣｒターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（
１２ａｔ％Ｃｒ、２ａｔ％Ｔａ＞合金ターゲットをそれ
ぞれ用いた。また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗ざ
Ｒｍａｘ＝４００人＞ Ｎ ｉ Ｐ／Ａｆｆｉ基板を用
いた。
まず、本発明の実施例１によるスパッタ条件を第１表に
示す。また、比較のために、従来と同様に基板およびＣ
ｒ膜の逆スパッタ時にも純Ａｒガスで作製した以外は第
１表と同じ条件で作製した媒体を比較例１とし、これら
２種類について、磁気特性を試料振動型磁化測定器（Ｖ
ＳＭ）によって測定した。その結果を第２表に示す。こ
れから、本実施例の媒体は、従来より磁気特性で、特に
保磁力およびディスクの円周方向への異方性が改善され
ていることがわかった。
示す。また、比較のために、従来と同様に基板およびＣ
ｒ膜の逆スパッタ時にも純Ａｒガスで作製した以外は第
１表と同じ条件で作製した媒体を比較例１とし、これら
２種類について、磁気特性を試料振動型磁化測定器（Ｖ
ＳＭ）によって測定した。その結果を第２表に示す。こ
れから、本実施例の媒体は、従来より磁気特性で、特に
保磁力およびディスクの円周方向への異方性が改善され
ていることがわかった。
第１表
（以下余白）
第２表
様に、従来より磁気特性で、とくに保磁力およびディス
クの円周方向への異方性が改善されていることがわかっ
た。
クの円周方向への異方性が改善されていることがわかっ
た。
第３表
実施例２
次に、磁性膜がＣＯＮ ｉ Ｃｒ膜の場合について説明
する。
する。
磁性膜用としＴＣＯＮ ｉ Ｃｒ （２０ａｔ％Ｎ１０
ａｔ％Ｃｒ）合金ターゲットを用いた以外は、下地膜
のターゲットおよび基板について実施例１と同様とした
。また、スパッタ条件も第３表に示したように、Ｃ０Ｎ
ｉＣｒ以外は実施例１と同様とした。また、比較のため
に、従来と同様に基板およびＣｒ膜の逆スパッタ時にも
純Ａｒガスで作製した以外は第３表と同じ条件で作製し
た媒体を比較例２とし、これら２種類について、磁気特
性をＶＳＭによって測定した。その結果を第４表に示す
。これから、本実施例の媒体も実施例１と同（以下余白
） 第４表 ［発明の効果］ 本発明の製造方法により作製した磁気記録媒体は、基板
およびＣｒ膜の逆スパッタ時にＡｒと水素との混合ガス
を用いることにより、従来より磁気特性、特に保磁力お
よびディスクの円周方向への異方性が改善され、従来に
比べて再生出力、記録密度等が更に改善された。
ａｔ％Ｃｒ）合金ターゲットを用いた以外は、下地膜
のターゲットおよび基板について実施例１と同様とした
。また、スパッタ条件も第３表に示したように、Ｃ０Ｎ
ｉＣｒ以外は実施例１と同様とした。また、比較のため
に、従来と同様に基板およびＣｒ膜の逆スパッタ時にも
純Ａｒガスで作製した以外は第３表と同じ条件で作製し
た媒体を比較例２とし、これら２種類について、磁気特
性をＶＳＭによって測定した。その結果を第４表に示す
。これから、本実施例の媒体も実施例１と同（以下余白
） 第４表 ［発明の効果］ 本発明の製造方法により作製した磁気記録媒体は、基板
およびＣｒ膜の逆スパッタ時にＡｒと水素との混合ガス
を用いることにより、従来より磁気特性、特に保磁力お
よびディスクの円周方向への異方性が改善され、従来に
比べて再生出力、記録密度等が更に改善された。
Claims (1)
- （１）基板上に、スパッタ法によりＣｒの下地膜とＣｏ
ＣｒＴａまたはＣｏＮｉＣｒの磁性膜からなる薄膜媒体
を作製する磁気記録媒体の製造方法において、Ａｒガス
と水素ガスからなる混合ガスを雰囲気として基板を逆ス
パッタにより表面をエッチングした後、Ｃｒよりなる下
地膜を形成する工程と、Ａｒガスと水素ガスからなる混
合ガスを雰囲気として前記Ｃｒ膜を逆スパッタにより表
面をエッチングした後、ＣｏＣｒＴａまたはＣｏＮｉＣ
ｒよりなる磁性膜を形成する工程とを備えてなることを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15285890A JPH0448437A (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15285890A JPH0448437A (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448437A true JPH0448437A (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=15549663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15285890A Pending JPH0448437A (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0448437A (ja) |
-
1990
- 1990-06-13 JP JP15285890A patent/JPH0448437A/ja active Pending
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