JPH0448870Y2

JPH0448870Y2 -

Info

Publication number: JPH0448870Y2
Application number: JP1987022487U
Authority: JP
Priority date: 1987-02-18
Filing date: 1987-02-18
Publication date: 1992-11-17
Also published as: JPS63130183U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は、光学レンズ、プリズム、フオトマス
クブランク用透明基板、フオトマスクブランク、
シリコンウエハ、液晶表示装置用大型ガラス基板
等の被洗浄物を洗浄する装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の洗浄装置は、第４図に示すように、界面
活性剤を含有してなる洗浄液１を収容する洗浄槽
２と、洗浄槽２の上部に配設されたオーバーフロ
ー液収容部３と、オーバーフロー液用配管４と、
洗浄液１の入つた回収タンク５と、回収タンク５
の上側の開口部を塞ぐ蓋６と、ポンプ７と、配管
８と、フイルタ９と、超音波発生器１０と、排出
配管１１と、ドレンバルブ１２とを具備してな
る。

上記した洗浄装置においては、洗浄液１で満た
された洗浄槽２内に超音波発生器１０によつて超
音波（図示せず。）を発生し、洗浄液１内に浸漬
した被洗浄物Ａを洗浄する。ところで、被洗浄物
Ａを洗浄することによつて洗浄槽２内の洗浄液１
は汚染されてくるので、洗浄液１を清浄化するた
めに、回収タンク５から配管８を通して回収タン
ク５内の洗浄液１をポンプ７により送り出し、フ
イルタ９を通過させることによつて清浄化して、
洗浄槽２内に供給する。そして、所定の収容液量
を越えて洗浄槽２から溢れて流出した洗浄液１
を、オーバーフロー液収容部３で収集し、オーバ
ーフロー液用配管４を通して回収タンク５内に回
収する。

また、洗浄槽２内の洗浄液１の全量を回収タン
ク５内に回収する場合には、ドレンバルブ１２を
開栓し、排出配管１１を通して回収する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来の洗浄装置においては、上記したように、
洗浄槽２から溢れて流出した洗浄液１を、オーバ
ーフロー液収容部３で収集し、オーバーフロー液
用配管４を通して回収タンク５内に回収し、ま
た、洗浄液１の全量を回収タンク５内に回収する
場合には、ドレンバルブ１２を開栓し、排出配管
１１を通して回収しているため、以下に記すよう
な問題点がある。

すなわち、界面活性剤を含有してなる洗浄液１
は、洗浄液１の周囲の空気を洗浄液１中に取り込
んだ場合に、泡を発生する性質（いわゆる、「発
泡性」）を有する。このため、洗浄槽２から溢れ
て流出した洗浄液１が、空気の侵入したオーバー
フロー液用配管４内を流下するとき、及びオーバ
ーフロー液用配管４の出水口４ａ（第４図参照。）
から回収タンク５内の洗浄液１の液面へ落下した
ときに、洗浄液１は大量の泡を発生し、その結
果、回収タンク５内には、回収された洗浄液１か
ら発生した大量の泡が充満してしまう。また、同
様に、洗浄槽２内の洗浄液１が、前記した排出配
管１１内を通つて、その出水口１１ａ（第４図参
照。）から回収タンク５内の洗浄液１の液面へ落
下したときにも、洗浄液１は大量の泡を発生し、
その結果、回収タンク５内には大量の泡が充満し
てしまう。以上のように、回収された洗浄液１か
ら発生した大量の泡が回収タンク５内に充満して
しまうと、回収タンク５の上部の開口部は前記し
た蓋６によつて塞がれているのにもかかわらず、
回収タンク５と蓋６との間隙から大量の泡が噴出
してくる。すると、噴出した大量の泡が、ポンプ
７や超音波発生器１０を構成する電気部品（図示
せず。）に接触してその電気系統の短絡等を引き
起こし、ポンプ７や超音波発生器１０を故障させ
てしまうことが発生する。

なお、回収タンク５と蓋６との間隙から泡が噴
出することを防止するために、回収タンク５を蓋
６によつて完全に密封してしまうことが考えられ
る。しかし、回収タンク５を蓋６によつて完全に
密封して泡の噴出を防止することは、実際上非常
に困難である。また、蓋６による回収タンク５の
密封の度合いが高くなると、オーバーフロー液用
配管４あるいは排出配管１１を通して洗浄液１が
回収タンク５内に流入することに伴つて、密封さ
れた回収タンク５内の空気圧が高くなるため、洗
浄液１はオーバーフロー液用配管４内を流下しに
くくなり、さらに、洗浄液１を排出配管１１を通
して回収タンク５内に回収する場合にも洗浄液１
の回収速度が大幅に低下してしまつたりして、不
都合が生じてしまう。

本考案は、以上のような事情を鑑みてなされた
ものであり、発泡性を有する洗浄液を用いた場合
でも洗浄液の発泡を防止して、被洗浄物を洗浄す
ることができる洗浄装置を提供することを目的と
する。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、上記した目的を達成するためになさ
れたものであり、洗浄液を収容する洗浄槽と、前
記洗浄槽の所定収容液量を越えて流出する前記洗
浄液を収容する容器と、前記容器内に配置された
液面スイツチと、前記容器内からの前記洗浄液の
流出を規制する制御手段とを具備してなり、且つ
前記液面スイツチの開閉駆動と前記制御手段の規
制作動とを連動したことを特徴とする洗浄装置で
ある。

〔作用〕

本考案の洗浄装置によれば、洗浄液が周囲の空
気を洗浄液中に取り込むことを防止して、洗浄液
の発泡が防止される。

〔実施例〕

本考案の実施例による洗浄装置は、第１図に示
すように、洗浄液１３を収容する洗浄槽１４と、
洗浄槽１４の上部に配設されたオーバーフロー液
収容部１５と、洗浄槽１４の所定収容液量を越え
て流出する洗浄液を収容する容器１６と、容器１
６内に配置された液面スイツチとしての浮動子ス
イツチ１７と、オーバーフロー液用配管１８と、
オーバーフロー液用配管１８の途中に設けられ、
洗浄液の流出を規制する手段としての電磁弁１９
と、電磁弁１９の開閉作動を制御するための電磁
弁制御機構２０と、洗浄液１３を収容した回収タ
ンク２１と、回収タンク２１の上側の開口部を塞
いで回収タンク２１内にゴミやホコリが侵入する
ことを防止するための蓋２２と、ポンプ２３と、
配管２４と、フイルタ２５と、超音波発生器２６
と、排出配管２７と、ドレンバルブ２８とを具備
してなる。なお、浮動子スイツチ１７と電磁弁制
御機構２０とは配線２９によつて連絡され、ま
た、電磁弁制御機構２０と電磁弁１９とは配線３
０によつて連絡されている。また、オーバーフロ
ー液用配管１８の出水口１８ａ及び排出配管２７
の出水口２７ａは、回収タンク２１に収容された
洗浄液１３中に入つている。

洗浄液１３は界面活性剤を含有してなる中性洗
剤（例；和光純薬社製のNCW−601）であり、
電磁弁１９は所定の駆動信号によつて開閉作動す
る自動バルブ（例；TLV(株)製のMBF7）であり、
電磁弁１９を構成する弁（図示せず。）の開閉を
行つて洗浄液１３を流通させるかあるいは全く流
通させない機能を有する。また、洗浄槽１４、オ
ーバーフロー液収容部１５、容器１６、オーバー
フロー液用排出配管１８、回収タンク２１、蓋２
２、配管２４及び排出配管２７は、ステンレス製
である。また、容器１６内が所定の液面まで洗浄
液１３によつて満たされているときには、浮動子
スイツチ１７の浮動子１７ａ（第１図及び第２図
参照。）が所定位置まで上昇して、浮動子スイツ
チ１７は開駆動（ON状態）となつて、ON信号
を発生し、一方、容器１６内が所定の液面まで洗
浄液１３によつて満たされていないときには、浮
動子１７ａが下降して浮動子スイツチ１７は閉駆
動（OFF状態）となつてOFF信号を発生する。

次に、本例の洗浄装置を用いて被洗浄物を洗浄
する過程について説明する。

先ず、洗浄液１３で満たされた洗浄槽１４内に
被洗浄物３１（第１図参照。）を浸漬し、超音波
発生器２６により超音波を発生して洗浄液１３に
その超音波（図示せず。）を伝搬させ、被洗浄物
３１を洗浄する。

被洗浄物３１を洗浄することによつて洗浄槽１
４内の洗浄液１３は汚染されてくるので、その洗
浄液１３を清浄化するために、回収タンク２１か
ら配管２４を通して回収タンク２１内の洗浄液１
３をポンプ２３によつて送り出し、フイルタ２５
を通過させることによつて清浄化して洗浄槽１４
内に供給する。そして、所定の収容液量を超えて
洗浄槽１４から溢れて流出した洗浄液１３は、オ
ーバーフロー液収容部１５（第１図及び第２図参
照。）で収集されつつ、容器１６内に流入する。
このとき、容器１６内が所定の液面まで洗浄液１
３によつて満たされているときには、浮動子スイ
ツチ１７は開駆動となつてON信号を発生し、そ
のON信号は配線２９を通して電磁弁制御機構２
０に伝達される。そして、電磁弁制御機構２０は
配線３０を通して電磁弁１９の弁（図示せず。）
を開ける信号を伝達するので、電磁弁１９の弁が
開き、容器１６内の洗浄液１３はオーバーフロー
液用配管１８を通つて回収タンク２１内へ流下す
る。すると、容器１６内の洗浄液１３の液面が前
記した所定の液面より低くなり、浮動子スイツチ
１７は閉駆動となつてOFF信号を発生し、その
OFF信号は配線２９を通して電磁弁制御機構２
０に伝達される。そして、電磁弁制御機構２０は
配線３０を通して電磁弁１９の弁を閉める信号を
伝達するので、電磁弁１９の弁が閉まり、容器１
６内の洗浄液１３はオーバーフロー液用配管１８
を通つて回収タンク２１内へ流下しない。次い
で、洗浄槽１４から溢れて流出した洗浄液１３が
容器１６内に流入し続けているので、容器１６内
は再び前記した所定の液面まで洗浄液１３によつ
て満たされる。すると、浮動子スイツチ１７は再
び開駆動となり、以下、上記したと同様に浮動子
スイツチ１７は閉駆動または開駆動して、容器１
６内の洗浄液１３の液面は、前記した所定の液面
から浮動子スイツチ１７が閉駆動となる時の液面
の範囲内に収まる。なお、浮動子スイツチ１７が
閉駆動となる時の液面は、オーバーフロー液用配
管１８の取水口１８ｂより高く設定しておき、容
器１６内には常に洗浄液１３が入つているように
する。従つて、容器１６内の洗浄液１３がオーバ
ーフロー液用配管１８を通つて流下する際、取水
口１８ｂから空気がオーバーフロー液用配管１８
内へ侵入することがなく、オーバーフロー液用配
管１８内を流下する洗浄液１３が空気を取り込ん
で発泡することが防止される。また、オーバーフ
ロー液用配管１８の出水口１８ａは、回収タンク
２１内に収容された洗浄液１３中に位置している
ので、出水口１８ａから流出する洗浄液１３が空
気を取り込んで発泡することも防止される。

また、洗浄槽１４内の洗浄液１３を排出配管２
７を通して回収タンク２１内に回収する際にも、
排出配管２７の出水口２７ａが回収タンク２１内
に収容された洗浄液１３中に位置しているので、
出水口２７ａから流出する洗浄液１３が空気を取
り込んで発泡することも防止される。

以上のように、本実施例の洗浄装置によれば、
オーバーフロー液用配管１８内を流下する洗浄液
１３が発泡すること、オーバーフロー液用配管１
８の出水口１８ａから流出する洗浄液１３が発泡
すること、及び排出配管２７の出水口２７ａから
流出する洗浄液１３が発泡することが防止されて
いるので、洗浄液１３から発生する泡が回収タン
ク２１内に充満することがない。従つて、回収タ
ンク２１から泡が噴出して、ポンプ２３や超音波
発生器２６等の故障を引き起こすこともない。ま
た、フイルタ２５を通して清浄化された洗浄液１
３を洗浄槽１４内に供給し、さらに超音波発生器
２６により洗浄槽１４内の洗浄液１３に超音波を
伝搬して被洗浄物３１を洗浄しているので、被洗
浄物３１を清浄に洗浄することができる。

本考案は、上記した実施例に限定されるもので
はない。

上記実施例中では、オーバーフロー液用配管１
８の途中に電磁弁１９を設けたが、第３図に示す
ように、オーバーフロー液用配管１８に連通する
第２のオーバーフロー液用配管３２を取り付け、
第２オーバーフロー液用配管３２の途中に手動弁
３３を設けてもよい。なお、この手動弁３３は、
手動でその弁の開閉の度合いを制御することがで
き、手動弁３３を通過する洗浄液１３の流量を規
制することができる。以上のように手動弁３３を
設け、その弁を必要な程度開けておくことによつ
て、容器１６内から回収タンク２１へ所定の流量
の洗浄液１３を常時流下させておけば、浮動子ス
イツチ１７の開閉駆動の頻度を減少させることが
できる。従つて、浮動子スイツチ１７及び浮動子
スイツチ１７の開閉駆動と連動して開閉作動する
電磁弁１９の寿命を伸ばすことができる。また、
オーバーフロー液用配管１８の途中に電磁弁１９
に代えて、所定の流量の洗浄液１３を常時流通さ
せながら弁の開閉作動を行う流量調整バルブを設
けてもよく、さらに流量調整バルブと前記した手
動弁３３とを並列に配置してもよい。要は、オー
バーフロー液用配管１８の途中に洗浄液１３の流
出を規制する制御手段が設けられていればよい。

また、電磁弁１９の代わりに、エアー弁やモー
タ弁等の、洗浄液１３の流出を規制する制御手段
を用いてもよい。

また、液面スイツチとしては、浮動子スイツチ
１７の代わりに、容器１６内に対向する一対の電
極を配置し、容器１６内が所定の液面まで洗浄液
１３で満たされたときに電極間が導通して開駆動
となり、所定の液面より少ない量になつたときに
閉駆動となるものを用いてもよい。

洗浄液としては、上記実施例中に例示したもの
以外に、例えば関東化学(株)製のシカクリーン
TMK−６等の界面活性剤を含有してなる洗浄液
を用いてもよく、また、イソプロピルアルコー
ル、酸やアルカリ溶液又は純水等の洗浄液を用い
たとしてもよい。

上記実施例中では、洗浄槽１４の上部にオーバ
ーフロー液収容部１５を配設したが、洗浄槽１４
から溢れて流出した洗浄液１３の全量が直接容器
１６内に流入するようにすれば、オーバーフロー
液収容部１５を省略してもよい。

また、洗浄槽１４から溢れて流出する洗浄液１
３の液面と、オーバーフロー液収容部１５及び容
器１６内に流入した洗浄液１３の液面との高さは
小さい程好ましい。何故ならば、洗浄槽１４から
溢れて流出する洗浄液１３が、周囲の空気を取り
込んで発泡することが抑制されるからである。

上記実施例中では、回収タンク２１内にゴミや
ホコリが侵入することを防止するために、回収タ
ンク２１の上側の開口部を蓋２２によつて塞いだ
が、回収タンク２１内での泡の発生が防止されて
いることから、上記実施例中の洗浄装置にとつて
蓋２２は必須のものではない。また、洗浄効果の
低下を考慮しなければ超音波発生器２６は省略し
てもよい。また、洗浄槽１４、オーバーフロー液
収容部１５、容器１６、オーバーフロー液用配管
１８、回収タンク２１、蓋２２、配管２４及び排
出配管２７は、ステンレス以外の金属や塩化ビニ
ルや弗素樹脂等から製作してもよい。

〔考案の効果〕

本考案の洗浄装置によれば、発泡性を有する洗
浄液を用いた場合でも洗浄液の発泡を防止して、
被洗浄物を確実に清浄に洗浄することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例による洗浄装置を示す
図、第２図は同実施例の洗浄装置の一部を示す斜
視図、第３図は実施例の変形例による洗浄装置を
示す図、及び第４図は従来の洗浄装置を示す図で
ある。１３……洗浄液、１４……洗浄槽、１６……容
器、１７……浮動子スイツチ、１８……オーバー
フロー液用配管、１９……電磁弁、２０……電磁
弁制御機構、２９，３０……配線。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

洗浄液を収容する洗浄槽と、前記洗浄槽の所定
収容液量を越えて流出する前記洗浄液を収容する
容器と、前記容器内に配置された液面スイツチ
と、前記容器内からの前記洗浄液の流出を規制す
る制御手段とを具備してなり、且つ前記液面スイ
ツチの開閉駆動と前記制御手段の規制作動とを連
動したことを特徴とする洗浄装置。