JPH0449814Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0449814Y2 JPH0449814Y2 JP9051586U JP9051586U JPH0449814Y2 JP H0449814 Y2 JPH0449814 Y2 JP H0449814Y2 JP 9051586 U JP9051586 U JP 9051586U JP 9051586 U JP9051586 U JP 9051586U JP H0449814 Y2 JPH0449814 Y2 JP H0449814Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- wafer
- pedestal
- metal foil
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は主としてシリコンウエハをイオン注入
処理に備えて台座上に支承させる支承装置に関す
る。
処理に備えて台座上に支承させる支承装置に関す
る。
（従来の技術）
本願出願人は先はこの種装置として、例えば実
願昭60−79261（実開昭61−196526号）に見られる
ように、イオン注入その他の真空処理を施される
ウエハを、冷却管その他の冷却手段を有する台座
上に、中間のパツドを介して当接して支承させる
式のものにおいて、該パツドをアルミニウムその
他の金属箔の積層体で構成させ、かくて該パツド
の優れた熱伝導性により、該ウエハの温度上昇を
可及的減少させる式のものを提案した。
願昭60−79261（実開昭61−196526号）に見られる
ように、イオン注入その他の真空処理を施される
ウエハを、冷却管その他の冷却手段を有する台座
上に、中間のパツドを介して当接して支承させる
式のものにおいて、該パツドをアルミニウムその
他の金属箔の積層体で構成させ、かくて該パツド
の優れた熱伝導性により、該ウエハの温度上昇を
可及的減少させる式のものを提案した。
（考案が解決しようとする問題点）
この場合、該パツドと、該台座とは互に分離自
在に重合される式を一般としたもので、かゝるも
のでは両者間に多少とも接触抵抗が存して伝熱性
を損い勝ちであり、かくてこれを更に改善すべき
要求が存する。
在に重合される式を一般としたもので、かゝるも
のでは両者間に多少とも接触抵抗が存して伝熱性
を損い勝ちであり、かくてこれを更に改善すべき
要求が存する。
（問題点を解決するための手段）
本考案はかゝる要求に適合する装置を得ること
をその目的としたもので、イオン注入その他の真
空処理を施されるウエハを、冷却管その他の冷却
手段を有する台座上に、中間のパツドを介して当
接して支承させる式のものにおいて、該パツドを
アルミニウムその他の金属箔の１枚或は積層する
複数枚で構成させ、これを適宜間隔の複数個所に
おいて、ろう付、接着その他により該台座側に結
着させると共にその各中間部を略山形に上方に隆
起させて成る。
をその目的としたもので、イオン注入その他の真
空処理を施されるウエハを、冷却管その他の冷却
手段を有する台座上に、中間のパツドを介して当
接して支承させる式のものにおいて、該パツドを
アルミニウムその他の金属箔の１枚或は積層する
複数枚で構成させ、これを適宜間隔の複数個所に
おいて、ろう付、接着その他により該台座側に結
着させると共にその各中間部を略山形に上方に隆
起させて成る。
（実施例）
本考案実施の１例を別紙図面に付説明する。
図面で１はシリコンその他のウエハ、２はこれ
にその前面から作用するイオンビームを示し、該
ウエハ１はその下側の冷却管その他の冷却手段３
を有する台座４上に、中間のパツド５を介して当
接させて支承されるようにした。
にその前面から作用するイオンビームを示し、該
ウエハ１はその下側の冷却管その他の冷却手段３
を有する台座４上に、中間のパツド５を介して当
接させて支承されるようにした。
図面で６はその前面の押え板、７はその背面の
ばねを示す。該パツド５はアルミニウムその他の
金属箔５ａの１枚或は積層する複数枚から成るも
ので、この点は先に提案したものと特に異ならな
い。
ばねを示す。該パツド５はアルミニウムその他の
金属箔５ａの１枚或は積層する複数枚から成るも
ので、この点は先に提案したものと特に異ならな
い。
本考案によれば、該パツド５を適宜間隔の複数
個所５ｂにおいて、ろう付接着その他により該台
座４側に結着させると共に、その各中間部５ｃを
略山形に上方に隆起させるようにした。
個所５ｂにおいて、ろう付接着その他により該台
座４側に結着させると共に、その各中間部５ｃを
略山形に上方に隆起させるようにした。
図示のものにつき、詳述するに、該パツド５は
金属箔５ａの積層する複数枚から成り、該複数枚
は各個所５ｂにおいて例えばインジウムをろう材
とするろう付処理を施されて金属箔５ａ相互が結
着されると共に全体として該台座４側にも結着さ
れるようにし、その各中間部５ｃにおいては、該
金属箔５ａは互に分離して全体として略山形に上
方に隆起した状態となるようにした。
金属箔５ａの積層する複数枚から成り、該複数枚
は各個所５ｂにおいて例えばインジウムをろう材
とするろう付処理を施されて金属箔５ａ相互が結
着されると共に全体として該台座４側にも結着さ
れるようにし、その各中間部５ｃにおいては、該
金属箔５ａは互に分離して全体として略山形に上
方に隆起した状態となるようにした。
尚図示のものでは、第１図に明示するように全
体としてターンテーブル８から成りこれに前記し
た台座４が円周方向の複数個に用意されるもの
で、かくて該ウエハ１の複数個が順次に処理自在
に備えられるようにした。図中９は該テーブル８
の中心の回転軸を示す。
体としてターンテーブル８から成りこれに前記し
た台座４が円周方向の複数個に用意されるもの
で、かくて該ウエハ１の複数個が順次に処理自在
に備えられるようにした。図中９は該テーブル８
の中心の回転軸を示す。
（作用）
その作用を説明するに、ウエハ１はその前面に
イオンビーム２を照射させてイオン注入処理を施
されるもので、この際生ずる熱はその背面のパツ
ド５を介して台座４に導かれて冷却手段３により
冷却され、かくて該ウエハ１は比較的低温に保た
れる。この点は従来のものと特に異ならないが、
かゝる作動に際し、該パヅト５は金属箔５ａから
成ると共に、各個所５ｂにおいて台座４側に結着
されるもので、それ自体熱伝導性に優れると共に
該台座４との間に各個所５ｂを介しての良好な伝
熱が得られて全体として冷却手段３により冷却を
良好にすることが出来、更に各中間部５ｃの山形
の隆起は該ウエハ１を弾性的に保持してそれとの
間に良好な接触を得られる。
イオンビーム２を照射させてイオン注入処理を施
されるもので、この際生ずる熱はその背面のパツ
ド５を介して台座４に導かれて冷却手段３により
冷却され、かくて該ウエハ１は比較的低温に保た
れる。この点は従来のものと特に異ならないが、
かゝる作動に際し、該パヅト５は金属箔５ａから
成ると共に、各個所５ｂにおいて台座４側に結着
されるもので、それ自体熱伝導性に優れると共に
該台座４との間に各個所５ｂを介しての良好な伝
熱が得られて全体として冷却手段３により冷却を
良好にすることが出来、更に各中間部５ｃの山形
の隆起は該ウエハ１を弾性的に保持してそれとの
間に良好な接触を得られる。
（考案の効果）
このように本考案によるときは、パツドをアル
ミニウムその他の金属箔で構成させると共に、こ
れを適宜間隔の各個所で台座側にろう付その他で
結着させ、更にその各中間部を略山形に隆起させ
るもので、該パツドと該台座とが端に接触するの
みの場合に比し、両者間の熱伝導性を向上させ得
ると共に、該パツドと該ウエハとの間にも良好な
接触を得ることが出来かくて全体として該ウエハ
に良好な冷却を与えることが可能であり、その構
成は簡単で廉価に得られる等の効果を有する。
ミニウムその他の金属箔で構成させると共に、こ
れを適宜間隔の各個所で台座側にろう付その他で
結着させ、更にその各中間部を略山形に隆起させ
るもので、該パツドと該台座とが端に接触するの
みの場合に比し、両者間の熱伝導性を向上させ得
ると共に、該パツドと該ウエハとの間にも良好な
接触を得ることが出来かくて全体として該ウエハ
に良好な冷却を与えることが可能であり、その構
成は簡単で廉価に得られる等の効果を有する。
第１図は本案装置の１例の平面図、第２図はそ
の−線截断面図、第３図はその要部の拡大し
た截断側面図、第４図はそのパツド部分の平面図
である。 １……ウエハ、３……冷却手段、４……台座、
５……パツド、５ａ……金属箔、５ｂ……各個
所、５ｃ……各中間部。
の−線截断面図、第３図はその要部の拡大し
た截断側面図、第４図はそのパツド部分の平面図
である。 １……ウエハ、３……冷却手段、４……台座、
５……パツド、５ａ……金属箔、５ｂ……各個
所、５ｃ……各中間部。
Claims (1)
- イオン注入その他の真空処理を施されるウエハ
を、冷却管その他の冷却手段を有する台座上に、
中間のパツドを介して当接して支承させる式のも
のにおいて、該パツドをアルミニウムその他の金
属箔の１枚或は積層する複数枚で構成させ、これ
を適宜間隔の複数個所において、ろう付、接着そ
の他により該台座側に結着させると共にその各中
間部を略山形に上方に隆起させて成るウエハの支
承装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9051586U JPH0449814Y2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9051586U JPH0449814Y2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201937U JPS62201937U (ja) | 1987-12-23 |
| JPH0449814Y2 true JPH0449814Y2 (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=30950454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9051586U Expired JPH0449814Y2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0449814Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP9051586U patent/JPH0449814Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62201937U (ja) | 1987-12-23 |
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