JPS62201937U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62201937U JPS62201937U JP1986090515U JP9051586U JPS62201937U JP S62201937 U JPS62201937 U JP S62201937U JP 1986090515 U JP1986090515 U JP 1986090515U JP 9051586 U JP9051586 U JP 9051586U JP S62201937 U JPS62201937 U JP S62201937U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- wafer
- pedestal
- metal foil
- brazed
- Prior art date
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- Granted
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Description
第１図は本案装置の１例の平面図、第２図はそ
の―線截断面図、第３図はその要部の拡大し
た截断側面図、第４図はそのパツド部分の平面図
である。 １…ウエハ、３…冷却手段、４…台座、５…パ
ツド、５ａ…金属箔、５ｂ…各個所、５ｃ…各中
間部。
の―線截断面図、第３図はその要部の拡大し
た截断側面図、第４図はそのパツド部分の平面図
である。 １…ウエハ、３…冷却手段、４…台座、５…パ
ツド、５ａ…金属箔、５ｂ…各個所、５ｃ…各中
間部。
Claims (1)
- イオン注入その他の真空処理を施されるウエハ
を、冷却管その他の冷却手段を有する台座上に、
中間のパツドを介して当接して支承させる式のも
のにおいて、該パツドをアルミニウムその他の金
属箔の１枚或は積層する複数枚で構成させ、これ
を適宜間隔の複数個所において、ろう付、接着そ
の他により該台座側に結着させると共にその各中
間部を略山形に上方に隆起させて成るウエハの支
承装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986090515U JPH0449814Y2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986090515U JPH0449814Y2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201937U true JPS62201937U (ja) | 1987-12-23 |
| JPH0449814Y2 JPH0449814Y2 (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=30950454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986090515U Expired JPH0449814Y2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0449814Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP1986090515U patent/JPH0449814Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449814Y2 (ja) | 1992-11-24 |