JPH0450756A - アミンセンサ - Google Patents
アミンセンサInfo
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- JPH0450756A JPH0450756A JP16033890A JP16033890A JPH0450756A JP H0450756 A JPH0450756 A JP H0450756A JP 16033890 A JP16033890 A JP 16033890A JP 16033890 A JP16033890 A JP 16033890A JP H0450756 A JPH0450756 A JP H0450756A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の利用分野１
この発明は、アンモニア、トリメチルアミン、アニリン
等のアミン化合物のセンサに関する。
等のアミン化合物のセンサに関する。
［従来技術］
アンモニア、トリメチルアミン、アニリン等のアミン化
合物は代表的な悪臭物質の１つであり、その臭いは鮮魚
類の腐敗臭として知られている。
合物は代表的な悪臭物質の１つであり、その臭いは鮮魚
類の腐敗臭として知られている。
アミン化合物を代表するものとしてトリメチルアミンを
用いることが一般的であり、鮮魚類から発生するトリメ
チルアミン濃度を測定し、魚介類の鮮度判定を行うこと
が提案されている。しかしながら、半導体ガスセンサの
アミン化合物への感度は低く、魚介類の鮮度判定への応
用は困難であるなお特開昭６０−２０２．３４５号は、
ＷＯ３に２〜１０重量％のＲｕＯ２を添加したガスセン
サを開示している。このガスセンサは一酸化炭素用のガ
スセンサであり、２〜１０重量％のＲｕｂ、添加は、Ｒ
ｕ／Ｗの原子比に換算すると３．５〜１７原子％の添加
に相当する。発明者らはこのガスセンサの追試を行った
が、センサはアミン感度を示さなかった（第３図、第４
図参照）。
用いることが一般的であり、鮮魚類から発生するトリメ
チルアミン濃度を測定し、魚介類の鮮度判定を行うこと
が提案されている。しかしながら、半導体ガスセンサの
アミン化合物への感度は低く、魚介類の鮮度判定への応
用は困難であるなお特開昭６０−２０２．３４５号は、
ＷＯ３に２〜１０重量％のＲｕＯ２を添加したガスセン
サを開示している。このガスセンサは一酸化炭素用のガ
スセンサであり、２〜１０重量％のＲｕｂ、添加は、Ｒ
ｕ／Ｗの原子比に換算すると３．５〜１７原子％の添加
に相当する。発明者らはこのガスセンサの追試を行った
が、センサはアミン感度を示さなかった（第３図、第４
図参照）。
［発明の課題］
この発明の課題は、アミン化合物に高感度な半導体ガス
センサを提供することにある。
センサを提供することにある。
［発明の構成］
この発明では、ＷＯｌにＲｕ／Ｗの原子比で０゜０１〜
０．６ （Ｒｕ／Ｗ ａ ｔ ｍ、％）のＲｕＯ’２を
添加する。ＷＯ８はアミン感度の高い金属酸化物半導体
であり、これにＲｕ／Ｗの原子比で０．０１原子％以上
のＲｕＯ２を添加するとアミン感度が著しく向上し、０
．６％原子程度まで高いアミン感度が得られる。以下Ｒ
ｕ／Ｗの原子比を％単位で表した単位を、単に％あるい
は原子％という。なおＷＯ，の火蓋は２３１．９、Ｒｕ
５ｔの火蓋は１３３、１であり、Ｒｕ／Ｗで１原子％の
Ｒｕ Ｏ２は０．５７Ｒｕ０２／ＷＯ，重量％に相当す
る。一方ＩＷ子％を越えるＲｕＯ２添加では、アミン感
度は失われてしまう。
０．６ （Ｒｕ／Ｗ ａ ｔ ｍ、％）のＲｕＯ’２を
添加する。ＷＯ８はアミン感度の高い金属酸化物半導体
であり、これにＲｕ／Ｗの原子比で０．０１原子％以上
のＲｕＯ２を添加するとアミン感度が著しく向上し、０
．６％原子程度まで高いアミン感度が得られる。以下Ｒ
ｕ／Ｗの原子比を％単位で表した単位を、単に％あるい
は原子％という。なおＷＯ，の火蓋は２３１．９、Ｒｕ
５ｔの火蓋は１３３、１であり、Ｒｕ／Ｗで１原子％の
Ｒｕ Ｏ２は０．５７Ｒｕ０２／ＷＯ，重量％に相当す
る。一方ＩＷ子％を越えるＲｕＯ２添加では、アミン感
度は失われてしまう。
Ｒｕｂ、に変えＰｔやＰｃｌ、 Ｉ ｒ、Ａｕを用いて
も、アミンへの増感作用は得られない。
も、アミンへの増感作用は得られない。
［実施例］
センサの調製
タングステン酸アンモニウムを５００℃で熱分解し、粉
砕後に塩化ルテニウム（４価）水溶液を含浸させ、５０
０℃で塩化ルテニウムを熱分解した。塩化ルテニウムを
含浸させたＷＯ，をアルミナパイプの表面に塗布し、７
００°Ｃで５分間焼結し、センサとした。塩化ルテニウ
ムに変え、塩化白金酸、Ｐｃｔの王水溶液、塩化イリジ
ウム、塩化金酸の各水溶液を加え、比較例のセンサとし
た。
砕後に塩化ルテニウム（４価）水溶液を含浸させ、５０
０℃で塩化ルテニウムを熱分解した。塩化ルテニウムを
含浸させたＷＯ，をアルミナパイプの表面に塗布し、７
００°Ｃで５分間焼結し、センサとした。塩化ルテニウ
ムに変え、塩化白金酸、Ｐｃｔの王水溶液、塩化イリジ
ウム、塩化金酸の各水溶液を加え、比較例のセンサとし
た。
またタングステン酸アンモニウムに変え、ＷＯ。
を出発母材としたものを用い、同様のセンサを調製した
。更にＷＯ３に変え、スズ酸のゾルを５００℃で熱分解
したものを用い、同様に塩化ルテニウムの水溶液を含浸
させ、熱分解後に焼結してセンサとした。
。更にＷＯ３に変え、スズ酸のゾルを５００℃で熱分解
したものを用い、同様に塩化ルテニウムの水溶液を含浸
させ、熱分解後に焼結してセンサとした。
ＷＯ３の調整方法やＲｕＯ２の添加方法、あるいはセン
サの構造は任意である。またセンサには、アルミナゾル
、シリカゾル等のバインダーを焼結時に加えても良い。
サの構造は任意である。またセンサには、アルミナゾル
、シリカゾル等のバインダーを焼結時に加えても良い。
なおタングステン酸アンモニウムを出発材料としたもの
も、ＷＯ，を出発材料としたものも、同等の結果を示し
たので、以下タングステン酸アンモニウムを出発材料と
するセンサについて説明する。
も、ＷＯ，を出発材料としたものも、同等の結果を示し
たので、以下タングステン酸アンモニウムを出発材料と
するセンサについて説明する。
第８図に、センサの構造を示す。２はＲｕＯ２を添加し
たＷＯｓの厚膜、４はアルミナパイプ、６゜８は一対の
電極、１０はヒータである。
たＷＯｓの厚膜、４はアルミナパイプ、６゜８は一対の
電極、１０はヒータである。
−性
第１図に、ＷＯ，に０．１＊子％のＲｕｂ、を加えたセ
ンサについて、２８０℃での結果を示す。結果は、エタ
ノール１ｏＯｐｐｒｎ中での抵抗値Ｒ０を基準に示す。
ンサについて、２８０℃での結果を示す。結果は、エタ
ノール１ｏＯｐｐｒｎ中での抵抗値Ｒ０を基準に示す。
水素への感度は低く、トリメチルアミン（Ｔ Ｍ Ａ
） 、 Ｎ Ｈｓ 、エタノールにほぼ同等の感度を示
す。
） 、 Ｎ Ｈｓ 、エタノールにほぼ同等の感度を示
す。
第２図に、同じセンサについて３５０℃での結果を示す
。この温度でも、ＴＭＡやＮＨ，への感度は高い。
。この温度でも、ＴＭＡやＮＨ，への感度は高い。
第３図に、Ｒｕ Ｏｘ ／ Ｗ Ｏｓ系センサについて
、Ｒｕ０ｚ濃度の影響を示す。測定温度は２８０℃、縦
軸は各１１００ｐｐのガスへの感度を示す。０、Ｏ１尿
原子のＲｕ添加でアミン感度は著しく増加し、０．１原
子％付近に最適値があり、０．５＊子％でも高いアミン
感度が得られる。しかし１原子％以上の添加では、アミ
ン感度は失われる。
、Ｒｕ０ｚ濃度の影響を示す。測定温度は２８０℃、縦
軸は各１１００ｐｐのガスへの感度を示す。０、Ｏ１尿
原子のＲｕ添加でアミン感度は著しく増加し、０．１原
子％付近に最適値があり、０．５＊子％でも高いアミン
感度が得られる。しかし１原子％以上の添加では、アミ
ン感度は失われる。
第４図に、Ｒｕ Ｏｔ ／ Ｗ Ｏｓ系センサについて
、３５０℃でのＲｕｂ、濃度の影響を示す。第３図と同
様、ｏ、ｏｉ〜０．５原子％で、高いアミン感度が得ら
れる。
、３５０℃でのＲｕｂ、濃度の影響を示す。第３図と同
様、ｏ、ｏｉ〜０．５原子％で、高いアミン感度が得ら
れる。
第５図に、ＷＯ３に対する各０．１原子％の添加効果を
示す（測定温度２８０℃）。Ｒｕ Ｏｓ以外の添加物で
は、アミンへの感度は低い。第６図に、３５０℃の測定
温度での結果を示す。ＲｕＯｘ以外では、アミン感度は
低い。
示す（測定温度２８０℃）。Ｒｕ Ｏｓ以外の添加物で
は、アミンへの感度は低い。第６図に、３５０℃の測定
温度での結果を示す。ＲｕＯｘ以外では、アミン感度は
低い。
第７図に、４３０℃でのＴＭＡへの応答特性を示す。縦
軸はセンサ抵抗Ｒｓを示す。
軸はセンサ抵抗Ｒｓを示す。
ＳｎＯ，／ＲｕＯ２センサとＷＯ３／Ｒｕ０ｚセンサの
比較結果を表１に示す。測定温度は２８０℃である。
比較結果を表１に示す。測定温度は２８０℃である。
表 １
ＳｎＯ□系
０．１原子％Ｒｕｂ。
１．０原子％Ｒｕ Ｏ２
ＷＯ３系
０．１原子％Ｒｕ０１ ３５ ９０ ４０１．
０＊子％Ｒｕ５ｔ １．５ ２ ３＊
感度は、各１１００ｐｐのガスを用いて測定。
０＊子％Ｒｕ５ｔ １．５ ２ ３＊
感度は、各１１００ｐｐのガスを用いて測定。
［発明の効果］
この発明では、トリメチルアミン等のアミン化合物に高
感度なガスセンサが得られ、魚介類の鮮度判定等の利用
が可能になる。
感度なガスセンサが得られ、魚介類の鮮度判定等の利用
が可能になる。
１．４
ｍ１図は、実施例の特性図（Ｒｕ／Ｗの原子比０．１％
、測定温度２８０℃）、 第２図は、実施例の特性図（Ｒｕ／Ｗの原子比０．１％
、測定温度３５０℃）、 第３図は、Ｒｕ ／ Ｗ比を変えた際の実施例の特性図
（測定温度２８０℃）、 ＄４ｒ！ｌＪは、Ｒｕ／Ｗ比を変えた際の実施例の特性
図（測定温度３５０℃）、 第５図は、添加物の種類の効果を示す特性図（測定温度
２８０℃）、 第６図は、添加物の種類の効果を示す特性図（ｗ定温度
３５０℃）、 第７図は、実施例の応答波形を示す特性図（測定温度４
３０℃）、 第８図は、実施例のセンサの断面図である。 第 図 Ｇａｓ Ｃｏｎｅ、 （ｐｐｒｎ） １００ １α刀 Ｇａｓ Ｃｏｎｃ、（ｐｌ：ＸＴＩ） 第 図 Ｒｕ／Ｗ（ａｔｍ、’１０） 第 図 ｏｎ ｕ ｔ ｄ ｒ ｕ 添加物（０，１ａｔｍ 、’１０） 第４ 図 Ｒｕ／Ｗ（ａｔｍｏｌｏ） 第 図 添加物（１Ωａｔｍ、’１０）
、測定温度２８０℃）、 第２図は、実施例の特性図（Ｒｕ／Ｗの原子比０．１％
、測定温度３５０℃）、 第３図は、Ｒｕ ／ Ｗ比を変えた際の実施例の特性図
（測定温度２８０℃）、 ＄４ｒ！ｌＪは、Ｒｕ／Ｗ比を変えた際の実施例の特性
図（測定温度３５０℃）、 第５図は、添加物の種類の効果を示す特性図（測定温度
２８０℃）、 第６図は、添加物の種類の効果を示す特性図（ｗ定温度
３５０℃）、 第７図は、実施例の応答波形を示す特性図（測定温度４
３０℃）、 第８図は、実施例のセンサの断面図である。 第 図 Ｇａｓ Ｃｏｎｅ、 （ｐｐｒｎ） １００ １α刀 Ｇａｓ Ｃｏｎｃ、（ｐｌ：ＸＴＩ） 第 図 Ｒｕ／Ｗ（ａｔｍ、’１０） 第 図 ｏｎ ｕ ｔ ｄ ｒ ｕ 添加物（０，１ａｔｍ 、’１０） 第４ 図 Ｒｕ／Ｗ（ａｔｍｏｌｏ） 第 図 添加物（１Ωａｔｍ、’１０）
Claims (1)
- （１） ＷＯ＿３にＲｕＯ＿２をＲｕ／Ｗの原子比で、
０．０１〜０．６原子％添加した、アミンセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16033890A JP2868845B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | アミンセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16033890A JP2868845B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | アミンセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0450756A true JPH0450756A (ja) | 1992-02-19 |
| JP2868845B2 JP2868845B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=15712821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16033890A Expired - Fee Related JP2868845B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | アミンセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2868845B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6096267A (en) * | 1997-02-28 | 2000-08-01 | Extraction Systems, Inc. | System for detecting base contaminants in air |
| US6855557B2 (en) | 1999-01-14 | 2005-02-15 | Extraction Systems, Inc. | Detection of base contaminants in gas samples |
| JP2007196850A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Honda Motor Co Ltd | 芝刈機 |
| CN113340944A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-03 | 郑州轻工业大学 | 用于高灵敏度苯胺检测的Pt-ZnO@TiC三元材料及其制备方法和应用 |
| CN113758974A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-07 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种氧化物半导体气体传感器及其制备方法和用途 |
-
1990
- 1990-06-18 JP JP16033890A patent/JP2868845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6096267A (en) * | 1997-02-28 | 2000-08-01 | Extraction Systems, Inc. | System for detecting base contaminants in air |
| US6296806B1 (en) | 1997-02-28 | 2001-10-02 | Extraction Systems, Inc. | Protection of semiconductor fabrication and similar sensitive processes |
| US6855557B2 (en) | 1999-01-14 | 2005-02-15 | Extraction Systems, Inc. | Detection of base contaminants in gas samples |
| JP2007196850A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Honda Motor Co Ltd | 芝刈機 |
| CN113340944A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-03 | 郑州轻工业大学 | 用于高灵敏度苯胺检测的Pt-ZnO@TiC三元材料及其制备方法和应用 |
| CN113758974A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-07 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种氧化物半导体气体传感器及其制备方法和用途 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2868845B2 (ja) | 1999-03-10 |
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Legal Events
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