JPH0451130U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0451130U JPH0451130U JP9267190U JP9267190U JPH0451130U JP H0451130 U JPH0451130 U JP H0451130U JP 9267190 U JP9267190 U JP 9267190U JP 9267190 U JP9267190 U JP 9267190U JP H0451130 U JPH0451130 U JP H0451130U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- heat treatment
- gas
- materials
- gas inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案に従う熱処理炉の一例を示
す縦型拡散炉の要部断面図、第２図は、この考案
に従う熱処理炉の一例を示す横型拡散炉の要部断
面図、第３図は、従来の縦型拡散炉の要部断面図
である。 １……反応管、２ａ，２ｂ……炉本体、３……
ヒータ、４……ガス導入口、５……ガス導入口、
６……ガス排気口、７ａ，７ｂ……ウエハボート
、８……シリコンウエハ。
す縦型拡散炉の要部断面図、第２図は、この考案
に従う熱処理炉の一例を示す横型拡散炉の要部断
面図、第３図は、従来の縦型拡散炉の要部断面図
である。 １……反応管、２ａ，２ｂ……炉本体、３……
ヒータ、４……ガス導入口、５……ガス導入口、
６……ガス排気口、７ａ，７ｂ……ウエハボート
、８……シリコンウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉内に配列して収容した複数の被処理材の表面
に、所定の組成を有するガスを案内すべきガス導
入口及びガス排出口をそなえる熱処理炉であつて
、 上記ガス導入口は、被処理材の配列を挟んで炉
両端部に少なくとも設けてなることを特徴とする
熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9267190U JPH0451130U (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9267190U JPH0451130U (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0451130U true JPH0451130U (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=31829317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9267190U Pending JPH0451130U (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451130U (ja) |
-
1990
- 1990-09-05 JP JP9267190U patent/JPH0451130U/ja active Pending