JPH0474423U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例に係る横型熱処理炉を
示す模式的斜視図、第２図は同じくその正面断面
図、第３図は同じくその側面断面図、第４図は温
度シーケンスを示すグラフ図、第５図はヒータの
種々の分割態様を示す模式図、第６図は従来の横
型熱処理炉を示す側面断面図、第７図は同じくそ
の正面断面図である。 １……チユーブ、２……ガス導入部、３……蓋
、４，４ａ，４ｂ……ソース側ヒータ、５，５ａ
，５ｂ……センターヒータ、６，６ａ，６ｂ……
アウト側ヒータ、８……ボート、９……ウエハ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数個の被処理物が収納されるチヤンバと、こ
   のチヤンバの一端からガスを導入してチヤンバ内
   にガスを通流させるガス導入手段と、前記チヤン
   バの周囲に配設され前記ガスの通流方向及びこれ
   に直交する方向に夫々複数個に分割されて前記チ
   ヤンバ内の被処理物を加熱するヒータと、各ヒー
   タを個別的に制御する制御手段とを有することを
   特徴とする横型熱処理炉。