JPH0451814B2 - - Google Patents
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- JPH0451814B2 JPH0451814B2 JP62095859A JP9585987A JPH0451814B2 JP H0451814 B2 JPH0451814 B2 JP H0451814B2 JP 62095859 A JP62095859 A JP 62095859A JP 9585987 A JP9585987 A JP 9585987A JP H0451814 B2 JPH0451814 B2 JP H0451814B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- ventilation
- mat
- sheet
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Holders For Sensitive Materials And Originals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、自動製図機や製版カメラ等の写真
製版機器などにおいて、各種サイズの用紙類やフ
イルム類などのシート状物をテーブル本体の上面
板などを形成する吸着板に吸着保持するのに使用
されるシート状物の真空吸着装置に関する。
製版機器などにおいて、各種サイズの用紙類やフ
イルム類などのシート状物をテーブル本体の上面
板などを形成する吸着板に吸着保持するのに使用
されるシート状物の真空吸着装置に関する。
〔従来の技術〕
例えば、写真製版工程に汎用される自動描画機
は、感光性フイルムに画像を露光描画したり、カ
ツテイングヘツドを装着してピールオフフイルム
をカツトして多重密着露光用のトリミングマスク
を作成する等多用されているが、使用される用紙
やフイルムは種々の規格サイズがあり、作業にあ
たつては、その都度所要のフイルム等を真空吸着
装置により描画テーブル上に吸着保持する必要が
ある。
は、感光性フイルムに画像を露光描画したり、カ
ツテイングヘツドを装着してピールオフフイルム
をカツトして多重密着露光用のトリミングマスク
を作成する等多用されているが、使用される用紙
やフイルムは種々の規格サイズがあり、作業にあ
たつては、その都度所要のフイルム等を真空吸着
装置により描画テーブル上に吸着保持する必要が
ある。
この種の真空吸着装置は、従来は、吸着板の内
部に形成された空隙を垂直隔壁によつて複数の内
室に区画し、吸着板の表面に前記各内室まで貫通
する吸着孔を多数穿設することにより複数の吸着
エリアを形成し、切替え装置によつて各内室を適
宜選択して真空ポンプ等の真空吸引源に流路接続
することにより、用紙・フイルム類のサイズに応
じた所要の吸着エリアを作用させるようにしてい
る。
部に形成された空隙を垂直隔壁によつて複数の内
室に区画し、吸着板の表面に前記各内室まで貫通
する吸着孔を多数穿設することにより複数の吸着
エリアを形成し、切替え装置によつて各内室を適
宜選択して真空ポンプ等の真空吸引源に流路接続
することにより、用紙・フイルム類のサイズに応
じた所要の吸着エリアを作用させるようにしてい
る。
従来の、シート状物の真空吸着装置は上記した
ような構成となつているので、吸着エリアの位置
及び大きさはその装置に固定的であつて、1つの
装置では限られた数種類のサイズの用紙・フイル
ム類にしか対応することができない。従つて、用
紙・フイルム類を所定サイズ以外のものに変更し
たい場合には、装置全体を取り替えてしまう必要
があり、ユーザにとつても装置のメーカにとつて
も非能率的でコストが高くつくので実用化されて
いない。
ような構成となつているので、吸着エリアの位置
及び大きさはその装置に固定的であつて、1つの
装置では限られた数種類のサイズの用紙・フイル
ム類にしか対応することができない。従つて、用
紙・フイルム類を所定サイズ以外のものに変更し
たい場合には、装置全体を取り替えてしまう必要
があり、ユーザにとつても装置のメーカにとつて
も非能率的でコストが高くつくので実用化されて
いない。
また、上述のトリミングマスクを作成する場
合、カツテイングヘツドによりピールオフフイル
ムのピール層に所要の形の刻みを入れた後ピール
層を剥がして作成されるが、最近では同時に原画
フイルムの画像位置とトリミングマスクの剥がさ
れた部分との位置合わせのために同一規格のピン
穴を切り抜き加工されることがある。ところが、
描画テーブルは、従来アルミニウムなどの金属材
料や樹脂が使用され、その表面(吸着面)は平滑
に仕上げられているためカツターの刃先が損傷し
たり、樹脂テーブルに傷がついて吸着性が悪くな
つたりするという問題がある。
合、カツテイングヘツドによりピールオフフイル
ムのピール層に所要の形の刻みを入れた後ピール
層を剥がして作成されるが、最近では同時に原画
フイルムの画像位置とトリミングマスクの剥がさ
れた部分との位置合わせのために同一規格のピン
穴を切り抜き加工されることがある。ところが、
描画テーブルは、従来アルミニウムなどの金属材
料や樹脂が使用され、その表面(吸着面)は平滑
に仕上げられているためカツターの刃先が損傷し
たり、樹脂テーブルに傷がついて吸着性が悪くな
つたりするという問題がある。
この発明は、以上のような現況に鑑みてなされ
たものであつて、1つの部材のみを簡単に取り替
えるだけで、その部材を予め複数種類用意してお
きさえすれば、比較的簡単な作業により吸着エリ
アの位置及び大きさに対するあらゆる要求に応え
ることができ、また、シート状物の吸着面でカツ
ターの刃先を損傷させたりすることがないような
シート状物の真空吸着装置を提供することを技術
的課題とする。
たものであつて、1つの部材のみを簡単に取り替
えるだけで、その部材を予め複数種類用意してお
きさえすれば、比較的簡単な作業により吸着エリ
アの位置及び大きさに対するあらゆる要求に応え
ることができ、また、シート状物の吸着面でカツ
ターの刃先を損傷させたりすることがないような
シート状物の真空吸着装置を提供することを技術
的課題とする。
各種サイズのフイルム等の形状に対応した吸着
溝と吸着孔を有する吸着マツトと、その吸着マツ
トを上面に装着し、各通気溝と個別に連通する連
通穴を有する吸着板と、真空吸引源と切替え的に
各空気路を接続する流路切替え手段とからシート
状物の真空吸着装置を構成することにより上記課
題を達成した。すなわち、この発明に係るシート
状物の真空吸着装置は、下面が平滑面に形成され
た薄板状体からなり、下面側に、各種サイズの被
吸着シート状物の形状に対応して所要の形状の通
気溝が相互に交差しないよう形成され、かつ上面
から前記各通気溝に貫通する複数の吸着孔が前記
の通気溝内に列設され、平滑面に形成された吸着
板上面に密接状態で取替え自在に装着される吸着
マツトと、この吸着マツトの前記各通気溝に個別
に連通する、吸着板に穿設された複数の連通穴
と、これら各連通穴に個別に接続された複数の通
気管路と、これら各通気管路が接続され、それら
各通気管路を介して前記各連通穴を選択的に真空
吸引源に流路接続する流路切替え手段とからなる
ことを特徴とするものである。
溝と吸着孔を有する吸着マツトと、その吸着マツ
トを上面に装着し、各通気溝と個別に連通する連
通穴を有する吸着板と、真空吸引源と切替え的に
各空気路を接続する流路切替え手段とからシート
状物の真空吸着装置を構成することにより上記課
題を達成した。すなわち、この発明に係るシート
状物の真空吸着装置は、下面が平滑面に形成され
た薄板状体からなり、下面側に、各種サイズの被
吸着シート状物の形状に対応して所要の形状の通
気溝が相互に交差しないよう形成され、かつ上面
から前記各通気溝に貫通する複数の吸着孔が前記
の通気溝内に列設され、平滑面に形成された吸着
板上面に密接状態で取替え自在に装着される吸着
マツトと、この吸着マツトの前記各通気溝に個別
に連通する、吸着板に穿設された複数の連通穴
と、これら各連通穴に個別に接続された複数の通
気管路と、これら各通気管路が接続され、それら
各通気管路を介して前記各連通穴を選択的に真空
吸引源に流路接続する流路切替え手段とからなる
ことを特徴とするものである。
吸着マツトの各通気溝は、吸着板上面に装着さ
れると各々個別に、連通穴と連通するとともに吸
着板面で閉塞された空気路を形成し、流路切替え
手段により連通穴が真空吸引源と選択接続され、
その連通穴と連通する通気溝及び吸着孔に吸引力
が働き、吸着孔の配された範囲内のシート状物が
吸着マツトに吸着される。各通気溝は各吸着マツ
ト毎に所要の任意のサイズ・形状に形成される。
また、吸着マツトは、その平滑な下面が吸着板の
平滑な上面と隙間なく密着する。
れると各々個別に、連通穴と連通するとともに吸
着板面で閉塞された空気路を形成し、流路切替え
手段により連通穴が真空吸引源と選択接続され、
その連通穴と連通する通気溝及び吸着孔に吸引力
が働き、吸着孔の配された範囲内のシート状物が
吸着マツトに吸着される。各通気溝は各吸着マツ
ト毎に所要の任意のサイズ・形状に形成される。
また、吸着マツトは、その平滑な下面が吸着板の
平滑な上面と隙間なく密着する。
以下、この発明の好適な実施例について図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第1図はこの発明の1実施例の、シート状物の
真空吸着装置の一部を概略的に表わした部分断面
正面図である。この真空吸着装置は、吸着板10
の平滑な上面に装着される吸着マツト12、吸着
板10に穿設された複数の連通穴14、これら各
連通穴14にそれぞれ継手16を介して接続され
た複数の通気管路18、並びにこれら通気管路1
8が接続される流路切替え装置20から構成され
ている。そして、流路切替え装置20は吸引管路
24を介して真空ポンプ26に流路接続されてお
り、吸着エリア切替えつまみ22を切替え操作す
ることにより、複数の通気管路18のうちの所要
のものを真空ポンプ26に連通させる。尚、吸着
エリア切替えに対する空気回路の接続対応の詳細
は後述する。
真空吸着装置の一部を概略的に表わした部分断面
正面図である。この真空吸着装置は、吸着板10
の平滑な上面に装着される吸着マツト12、吸着
板10に穿設された複数の連通穴14、これら各
連通穴14にそれぞれ継手16を介して接続され
た複数の通気管路18、並びにこれら通気管路1
8が接続される流路切替え装置20から構成され
ている。そして、流路切替え装置20は吸引管路
24を介して真空ポンプ26に流路接続されてお
り、吸着エリア切替えつまみ22を切替え操作す
ることにより、複数の通気管路18のうちの所要
のものを真空ポンプ26に連通させる。尚、吸着
エリア切替えに対する空気回路の接続対応の詳細
は後述する。
第2図、第3図は、各々吸着マツトを下面(通
気溝形成側)から見た平面図を示し、各々異なる
吸着エリアを3つずつ有する。すなわち、第2図
においては、その面積の小さい順にA1,A2,A3
の3種類のサイズのシート状物28の輪郭に対応
した角枠状の通気溝30が3本(30−1,30
−2,30−3)相互に交差しないように形成さ
れている。尚、これら吸着エリアの数は、説明の
ために3つとしたが、必ずしもこの数に限ること
はないし、通気溝の形状も角枠状のみに限るもの
ではない。すなわち、通気溝は他の吸着エリアの
通気溝と交差しなければ、任意の所要の形に形成
することができる。それは通気溝、ひいては吸着
孔の分布を適宜増やすことにより、シート状物を
より一様に吸着できるからである。この通気溝3
0の形成位置には、上面から通気溝30まで垂直
方向に貫通する吸着孔32が同様の角枠状に多数
列設されており、これら吸着孔32の3つの列に
より大きさの異なる3つの吸着エリアが吸着マツ
ト12上に形成される。
気溝形成側)から見た平面図を示し、各々異なる
吸着エリアを3つずつ有する。すなわち、第2図
においては、その面積の小さい順にA1,A2,A3
の3種類のサイズのシート状物28の輪郭に対応
した角枠状の通気溝30が3本(30−1,30
−2,30−3)相互に交差しないように形成さ
れている。尚、これら吸着エリアの数は、説明の
ために3つとしたが、必ずしもこの数に限ること
はないし、通気溝の形状も角枠状のみに限るもの
ではない。すなわち、通気溝は他の吸着エリアの
通気溝と交差しなければ、任意の所要の形に形成
することができる。それは通気溝、ひいては吸着
孔の分布を適宜増やすことにより、シート状物を
より一様に吸着できるからである。この通気溝3
0の形成位置には、上面から通気溝30まで垂直
方向に貫通する吸着孔32が同様の角枠状に多数
列設されており、これら吸着孔32の3つの列に
より大きさの異なる3つの吸着エリアが吸着マツ
ト12上に形成される。
第3図は、面積の小さい順に第2図と異なる吸
着エリアA4,A5,A6を有する吸着マツトで、通
気溝30、吸着孔32は第2図の場合と同様に形
成されている。各吸着マツトの同等位置には、ピ
ン穴34,34′が形成されており、それらピン
穴34,34′に対応して第1図のように吸着板
10に穿設されている位置決めピン36にピン穴
34,34′を嵌入し係合させることにより、吸
着マツト12を吸着板10上の一定位置に装着す
る。
着エリアA4,A5,A6を有する吸着マツトで、通
気溝30、吸着孔32は第2図の場合と同様に形
成されている。各吸着マツトの同等位置には、ピ
ン穴34,34′が形成されており、それらピン
穴34,34′に対応して第1図のように吸着板
10に穿設されている位置決めピン36にピン穴
34,34′を嵌入し係合させることにより、吸
着マツト12を吸着板10上の一定位置に装着す
る。
第1図はこのときの状態をも表わしており、吸
着板10の各連通穴14は、吸着マツト12の各
サイズの通気溝30と各々単独に連通するような
位置に形成されている。
着板10の各連通穴14は、吸着マツト12の各
サイズの通気溝30と各々単独に連通するような
位置に形成されている。
第2図、第3図のH1,H2,H3はそれぞれの連
通穴14の位置を吸着マツト12の通気溝30と
対応して示したもので、各々個別に、吸着エリア
の小さい順の通気溝30に対応している。
通穴14の位置を吸着マツト12の通気溝30と
対応して示したもので、各々個別に、吸着エリア
の小さい順の通気溝30に対応している。
また、流路切替え装置20もこの順に対応して
S1,S2,S3の3段階に切替えすることができるよ
うになつている。注目すべきことは、例えばS3を
選択するとそれに対応する連通穴H3だけでなく、
S1,S2に対応する連通穴H1,H2も真空ポンプと
連通するように、つまり、選択された吸着サイズ
以下の吸着エリアに対応する連通穴が全て真空ポ
ンプと連通するようになつていることであり、こ
れはシート状物が一様に吸着されるようにするた
めである。尚、本実施例では流路切替装置20は
3段階であるが、必要に応じて任意の段階数に設
定できるのは当然であり、例えば本実施例で5段
階切替としてもよい。唯、この場合は余分の段位
置(ステツプ)では連通穴と対応する通気溝がな
いため連通穴は吸着マツトで閉塞されるのでシー
ト状物の吸着には関与しないだけの事である。
S1,S2,S3の3段階に切替えすることができるよ
うになつている。注目すべきことは、例えばS3を
選択するとそれに対応する連通穴H3だけでなく、
S1,S2に対応する連通穴H1,H2も真空ポンプと
連通するように、つまり、選択された吸着サイズ
以下の吸着エリアに対応する連通穴が全て真空ポ
ンプと連通するようになつていることであり、こ
れはシート状物が一様に吸着されるようにするた
めである。尚、本実施例では流路切替装置20は
3段階であるが、必要に応じて任意の段階数に設
定できるのは当然であり、例えば本実施例で5段
階切替としてもよい。唯、この場合は余分の段位
置(ステツプ)では連通穴と対応する通気溝がな
いため連通穴は吸着マツトで閉塞されるのでシー
ト状物の吸着には関与しないだけの事である。
また、連通穴は各吸着エリアの通気溝に対して
1ヶ所でなく2ヶ所以上であつてもよい。この場
合は流路切替え装置20の当該切替位置にて、通
気管路18を分岐し各連通穴に設けた継手に接続
するようにすればよい。吸着板10の上面は平滑
面に形成されており、吸着マツト12の、例えば
軟質塩化ビニル材からなる下面と密接することに
より、吸着マツト12の通気溝30の下部開口面
がその吸着板10上面により閉塞されて通気路が
形成される。
1ヶ所でなく2ヶ所以上であつてもよい。この場
合は流路切替え装置20の当該切替位置にて、通
気管路18を分岐し各連通穴に設けた継手に接続
するようにすればよい。吸着板10の上面は平滑
面に形成されており、吸着マツト12の、例えば
軟質塩化ビニル材からなる下面と密接することに
より、吸着マツト12の通気溝30の下部開口面
がその吸着板10上面により閉塞されて通気路が
形成される。
次に、この真空吸着装置によりシート状物を吸
着板上に吸着固定する操作について説明する。ま
ず、吸着マツト12を吸着板10上にピン穴34
及び位置決めピン36におり位置決めして張設
し、吸着マツト12上面にシート状物28を、適
当な吸着エリアを選定しそのサイズに対応する吸
着エリアに合わせて載置し、選定された吸着エリ
アの切替位置に流路切替え装置20の吸着エリア
切替えつまみ22を合わせる。この状態において
真空ポンプ26を作動させると、吸引管路24、
流路切替え装置20、通気管路18、連通穴1
4、並びに通気溝30により形成された通気路を
介して、選定された吸着エリア以下の吸着エリア
を形成する多数の吸着穴32を通じ空気を吸引す
る。この真空吸引力によつてシート状物28が吸
着穴32に吸着されて、シート状物28が吸着マ
ツト12の上面に固定される。また、吸着を始め
る時、吸着エリア切替つまみ22を最初は最小エ
リアの位置に合わせ、真空ポンプ作動後、所要の
吸着エリアまで一段ずつ切替えるようにすると、
シート状物は小さいエリアから次第に大きいエリ
アに吸着されるので、各エリアの通気溝間に空気
溜りが生じにくくなるので、より一層確実な吸着
を行なうことができる。
着板上に吸着固定する操作について説明する。ま
ず、吸着マツト12を吸着板10上にピン穴34
及び位置決めピン36におり位置決めして張設
し、吸着マツト12上面にシート状物28を、適
当な吸着エリアを選定しそのサイズに対応する吸
着エリアに合わせて載置し、選定された吸着エリ
アの切替位置に流路切替え装置20の吸着エリア
切替えつまみ22を合わせる。この状態において
真空ポンプ26を作動させると、吸引管路24、
流路切替え装置20、通気管路18、連通穴1
4、並びに通気溝30により形成された通気路を
介して、選定された吸着エリア以下の吸着エリア
を形成する多数の吸着穴32を通じ空気を吸引す
る。この真空吸引力によつてシート状物28が吸
着穴32に吸着されて、シート状物28が吸着マ
ツト12の上面に固定される。また、吸着を始め
る時、吸着エリア切替つまみ22を最初は最小エ
リアの位置に合わせ、真空ポンプ作動後、所要の
吸着エリアまで一段ずつ切替えるようにすると、
シート状物は小さいエリアから次第に大きいエリ
アに吸着されるので、各エリアの通気溝間に空気
溜りが生じにくくなるので、より一層確実な吸着
を行なうことができる。
また、異なるサイズのシート状物28に対して
は吸着エリア切替えつまみ22を操作し、そのサ
イズの吸着エリアに合わせてシート状物28を吸
着マツト12上に載置する。また、その吸着マツ
トの吸着エリアのいずれにも適合しないサイズの
シート状物に対しては、そのサイズの吸着エリア
を有する別の吸着マツトに取り替え、上述と同様
に操作する。
は吸着エリア切替えつまみ22を操作し、そのサ
イズの吸着エリアに合わせてシート状物28を吸
着マツト12上に載置する。また、その吸着マツ
トの吸着エリアのいずれにも適合しないサイズの
シート状物に対しては、そのサイズの吸着エリア
を有する別の吸着マツトに取り替え、上述と同様
に操作する。
次に、本発明を自動描画機に適用した場合は、
上述の真空吸着装置の効果のみならず、吸着マツ
トを更に実効的に構成することができることを説
明する。
上述の真空吸着装置の効果のみならず、吸着マツ
トを更に実効的に構成することができることを説
明する。
第4図はその発明の1実施例を示し、吸着マツ
トの縦断面図である。この吸着マツトは、上層4
0、中間層41及び下層42の3層からなり、上
層及び下層はそれぞれ軟質合成樹脂材、例えば軟
質塩化ビニルからなる薄板状で形成され、中間層
41は例えば軟質塩化ビニルからなる薄板状体で
形成されておりそれら3枚の薄板状体を互いに接
着して真空吸着マツトが構成されている。中間層
41を硬質素材で形成しているのは、真空吸着マ
ツト全体として或る程度の保形性を持たせて取り
扱い易くするためである。そして、上層40を形
成している軟質塩化ビニル薄板状体の表面には細
かなしわのようなシボ加工を施している。真空吸
着マツトの下層42は前述の実施例と同じく軟質
素材で形成されているので、その下面と吸着板1
0上面とはその間に隙間を生じるようなことなく
完全に密着する。
トの縦断面図である。この吸着マツトは、上層4
0、中間層41及び下層42の3層からなり、上
層及び下層はそれぞれ軟質合成樹脂材、例えば軟
質塩化ビニルからなる薄板状で形成され、中間層
41は例えば軟質塩化ビニルからなる薄板状体で
形成されておりそれら3枚の薄板状体を互いに接
着して真空吸着マツトが構成されている。中間層
41を硬質素材で形成しているのは、真空吸着マ
ツト全体として或る程度の保形性を持たせて取り
扱い易くするためである。そして、上層40を形
成している軟質塩化ビニル薄板状体の表面には細
かなしわのようなシボ加工を施している。真空吸
着マツトの下層42は前述の実施例と同じく軟質
素材で形成されているので、その下面と吸着板1
0上面とはその間に隙間を生じるようなことなく
完全に密着する。
従つて、ピールオフフイルムにピン穴を切り抜
き加工するときのように、シート状物28の厚さ
をわずかに超えて真空吸着マツト10の表層に達
する程度の深さにまでカツター刃で切り込んで
も、真空吸着マツトの上層40は軟質素材で形成
されているため、カツター刃の先端が損傷するよ
うなことはない。また、真空吸着マツトの上層4
0の表面にはシボ加工が施されていることから、
カツター刃でその上層40の表層部分に刻線して
もその跡は殆ど識別できない。この発明の真空吸
着マツトは上述したような構成を有しているが、
この発明の範囲は上記説明並びに図面の内容によ
つて限定されるものではなく、要旨を逸脱しない
範囲で種々の変形例を包含し得る。例えば、真空
吸着マツトの材質としては、上記実施例のほんの
1例であつて、同等の作用をなすものであればど
のような素材を使用してもよい。また、真空吸着
マツトは、3層構造である必要はなく、取扱いに
はやや不便となるが全体を軟質合成樹脂材、また
は、剛性のある合成樹脂や金属等で形成するよう
にしても差し支えないし、更に表面の通気溝形成
部を上述のような塩化ビニルのような軟質の合成
樹脂とする2層構造でもよい。
き加工するときのように、シート状物28の厚さ
をわずかに超えて真空吸着マツト10の表層に達
する程度の深さにまでカツター刃で切り込んで
も、真空吸着マツトの上層40は軟質素材で形成
されているため、カツター刃の先端が損傷するよ
うなことはない。また、真空吸着マツトの上層4
0の表面にはシボ加工が施されていることから、
カツター刃でその上層40の表層部分に刻線して
もその跡は殆ど識別できない。この発明の真空吸
着マツトは上述したような構成を有しているが、
この発明の範囲は上記説明並びに図面の内容によ
つて限定されるものではなく、要旨を逸脱しない
範囲で種々の変形例を包含し得る。例えば、真空
吸着マツトの材質としては、上記実施例のほんの
1例であつて、同等の作用をなすものであればど
のような素材を使用してもよい。また、真空吸着
マツトは、3層構造である必要はなく、取扱いに
はやや不便となるが全体を軟質合成樹脂材、また
は、剛性のある合成樹脂や金属等で形成するよう
にしても差し支えないし、更に表面の通気溝形成
部を上述のような塩化ビニルのような軟質の合成
樹脂とする2層構造でもよい。
この発明は以上説明したように構成されかつ作
用するので、この発明の真空吸着装置によりシー
ト状物の吸着を行なうときは、従来の装置では限
られた数種類のシート状物にしか対応することが
できなかつたのに対し、吸着マツトを取り替える
といつた簡単な作業を行なうだけで、あらゆる種
類のシート状物に対応することができ、またこの
発明の真空吸着マツトを、カツテイングヘツドを
備えた自動描画機に使用してその真空吸着装置を
構成するときは、カツター刃の先端を何ら傷める
ことなく、シート状物に貫通孔を切抜き加工する
ことができるようになる。
用するので、この発明の真空吸着装置によりシー
ト状物の吸着を行なうときは、従来の装置では限
られた数種類のシート状物にしか対応することが
できなかつたのに対し、吸着マツトを取り替える
といつた簡単な作業を行なうだけで、あらゆる種
類のシート状物に対応することができ、またこの
発明の真空吸着マツトを、カツテイングヘツドを
備えた自動描画機に使用してその真空吸着装置を
構成するときは、カツター刃の先端を何ら傷める
ことなく、シート状物に貫通孔を切抜き加工する
ことができるようになる。
第1図はこの発明の1実施例を示し、シート状
物の真空吸着装置の一部を概略的に表わした部分
断面正面図であり、第2図はこの真空吸着装置の
構成部材の1つである吸着マツトを下面方向から
見た図、第3図は同じく別の吸着マツトを同様に
示した図である。第4図はこの発明に使用する真
空吸着マツトの中央部分を省略して表わした縦断
面図である。 10……吸着板、12,12′……吸着マツト、
14……連通穴、16……継手、18……通気管
路、20……流路切替え装置、22……吸着エリ
ア切替つまみ、24……吸引管路、26……真空
ポンプ、28……シート状物、30,30−1,
30−2,30−3……通気溝、32,32′…
…吸着孔、34……位置決め用のピン穴、40…
…上層(軟質塩化ビニル薄板状体)、41……中
間層(硬質塩化ビニル薄板状体)、42……下層
(軟質塩化ビニル薄板状体)。
物の真空吸着装置の一部を概略的に表わした部分
断面正面図であり、第2図はこの真空吸着装置の
構成部材の1つである吸着マツトを下面方向から
見た図、第3図は同じく別の吸着マツトを同様に
示した図である。第4図はこの発明に使用する真
空吸着マツトの中央部分を省略して表わした縦断
面図である。 10……吸着板、12,12′……吸着マツト、
14……連通穴、16……継手、18……通気管
路、20……流路切替え装置、22……吸着エリ
ア切替つまみ、24……吸引管路、26……真空
ポンプ、28……シート状物、30,30−1,
30−2,30−3……通気溝、32,32′…
…吸着孔、34……位置決め用のピン穴、40…
…上層(軟質塩化ビニル薄板状体)、41……中
間層(硬質塩化ビニル薄板状体)、42……下層
(軟質塩化ビニル薄板状体)。
Claims (1)
- 1 下面が平滑面に形成された薄板状体からな
り、下面側に、各種サイズの被吸着シート状物の
形状に対応して所要の形状の通気溝が相互に交差
しないよう形成され、かつ上面から前記各通気溝
に貫通する複数の吸着孔が前記の通気溝内に列設
され、平滑面に形成された吸着板上面に密接状態
で取替え自在に装着される吸着マツトと、この吸
着マツトの前記各通気溝に個別に連通する、吸着
板に穿設された複数の連通穴と、これら各連通穴
に個別に接続された複数の通気管路と、これら各
通気管路が接続され、それら各通気管路を介して
前記各連通穴を選択的に真空吸引源に流路接続す
る流路切替え手段とからなるシート状物の真空吸
着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62095859A JPS63261249A (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | シ−ト状物の真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62095859A JPS63261249A (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | シ−ト状物の真空吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63261249A JPS63261249A (ja) | 1988-10-27 |
| JPH0451814B2 true JPH0451814B2 (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=14149088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62095859A Granted JPS63261249A (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | シ−ト状物の真空吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63261249A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2552197B2 (ja) * | 1990-08-27 | 1996-11-06 | 株式会社オーク製作所 | 自動露光装置および投入ステージ |
| KR20020071841A (ko) * | 1999-09-01 | 2002-09-13 | 산에이 기껜 가부시키가이샤 | 노광장치의 기판 지지대 |
| US6889967B2 (en) | 2002-09-27 | 2005-05-10 | Gerber Technology, Inc. | Perforated vacuum hold down surface |
| CN104114358B (zh) * | 2012-02-17 | 2016-10-12 | 日东电工株式会社 | 吸附用多孔片和吸附用多孔片中使用的更换用表面层 |
| TWI613449B (zh) * | 2016-12-30 | 2018-02-01 | 致茂電子股份有限公司 | 吸附式測試裝置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3762816A (en) * | 1972-03-31 | 1973-10-02 | Western Blue Print Co | Photoreproduction apparatus with auxiliary film holder |
| JPS56145044U (ja) * | 1980-03-31 | 1981-11-02 |
-
1987
- 1987-04-18 JP JP62095859A patent/JPS63261249A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63261249A (ja) | 1988-10-27 |
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