JPH045249Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案はラツプ盤の上定盤落下防止装置に関
する。

（従来技術） 第４図に示したＡは半導体ウエハー用ラツプ盤
であり、上定盤１と下定盤２との間にキヤリアー
３を配置し、このキヤリアー３でウエハー４を保
持し、上下両定盤１，２とキヤリアー３を同時に
回転させながらウエハー４を研削する。

上記上定盤１は吊持体５によつて回動自在に吊
持れる。そして第５図に示す如く、吊持体５の上
端部には吊り下げ金具６を取付け、同金具６によ
つて球形すべり軸受７を嵌装した吊持軸８を水平
状態で支持し、さらに、上記球形すべり軸受７の
外周面を球形すべり軸受箱体９にて支承し、同箱
体９上部のボルト１２を上定盤昇降用シリンダ１
０のピストンロツド１１の先端に螺着して結合す
ることによつて、吊持体５及び上定盤１とを球形
すべり軸受７を支点として振れ動自在に吊持して
いる。

上記した様に、上定盤１と吊持体５とは球形す
べり軸受７を介してシリンダ１０のピストンロツ
ド１１に吊持されているが、上記上定盤１の重量
だけでも1t程ある為に球形すべり軸受７を支持す
る吊持軸８、吊り下げ金具６の支持部６ａ，６ａ
及び球形すべり軸受箱体９の支承部９ａに加わる
荷重は大きく、これら各部材は必要な強度が確保
されてはいるものの予期できない原因によつて破
断した場合は、1tの上定盤１が落下することとな
り、万一、ウエハー４の出し入れ時や上下両定盤
１，２のメンテナンスの際に上定盤１が落下した
ならば悲劇的な結果となる。

（技術的課題） 本考案の技術的課題は、前記構成のウエハー用
ラツプ盤における球形すべり軸受を支持、支承す
る部材が破断した際において、上定盤の落下を防
止することである。

（技術的課題を解決する為の手段） 本考案が前記した技術的課題を解決する為に講
ずる手段は、ウエハー用ラツプ盤本体の上定盤を
回動自在に吊持する吊持体の上端部に、球形すべ
り軸受を嵌装した吊持軸を固定し、上記球形すべ
り軸受を球形すべり軸受箱体で支承すると共に、
同球形すべり軸受箱体の上部を上定盤昇降用シリ
ンダのピストンロツドに結合して、吊持体及び上
定盤を振れ動自在に吊持したウエハー用ラツプ盤
に取付ける上定盤落下防止装置において、前記球
形すべり軸受箱体の鍔部材と吊持体上端部の前記
鍔部材に対向する吊り下げ金具基板部とにそれぞ
れ貫通穿を開設し、両貫通穿間に保障杆を遊嵌状
態で貫通させ、この保障杆の上下端に受持ち部を
設け、下端側の受持ち部と吊り下げ金具基板部の
貫通穿下端との間に所定の間隙を設けたものであ
る。

（作用） 以上の如き手段によれば、上定盤及び吊持体が
球形すべり軸受を支点として振れ動すると、受箱
体と吊持体上端部の両貫通穿間の位置関係がずれ
る。両貫通穿間に貫通する保障杆は、両貫通穿の
ずれに伴い、上端の受け持ち部を受箱体の貫通穿
上端面に支持されて吊下した状態で径方向及び長
さ方向へ遊動する。

そして、球形すべり軸受を支持・支承する部材
が破断した時、落下しようとする吊持体の貫通穴
の下端面を保障杆下端の受持ち部でもつて受け止
め、上定盤及び吊持体を上記保障杆で吊持する。

（効果） 本考案は以上の如きものであり、球形すべり軸
受を支持・支承する部材が破断した際にも、保障
杆でもつて上定盤及び吊持体を吊持し、上定盤の
落下を防止することができ、上定盤の落下によつ
て生ずる事故を未然に防ぐことができるものであ
る。

また、吊持体が振れ動した際における両貫通穿
間の位置ずれに伴い、保障ボルトを同貫通穿内に
て遊動する様に構成したので、吊持体の振れ動が
保障ボルトによつて邪魔されることもない。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図はウエハー用ラツプ盤の球形すべり軸受
７部分を示し、上定盤（図示せず）を回動自在に
吊持する吊持体５の上端部に吊下げ金具６をボル
ト１３にて固定し、この吊下げ金具６の支持部６
ａ，６ａで球形すべり軸受７を嵌装した吊持軸８
を支持し、上記球形すべり軸受７をスリーブ１４
を介して球形すべり軸受箱体９によつて支承する
ことにより、スリーブ１４の内周面で自在に回転
する様に構成してある。そして、上記球形すべり
軸受箱体９の上部を上定盤昇降用シリンダ１０の
ピストンロツド１１の先端に螺合などの結合手段
によつて結合し、吊持体５及び上定盤が上記ピス
トンロツド１１に吊し懸けした状態で球形すべり
軸受７を支点として振れ動する様に構成されてい
る。

上記した球形すべり軸受箱体９と吊持体５の上
端部の部材との間には上定盤落下防止装置Ｂが設
けられている。

上定盤落下防止装置Ｂは球形すべり軸受箱体９
側の部材と吊持体５上端部側の部材との間を球形
すべり軸受７とは別の手段で連結するものであ
り、球形すべり軸受箱体９の周面に鍔部材１５を
螺着してナツト１６によつて固定し、この鍔部材
１５に貫通穿１７，１７，１７を開設すると共
に、吊下げ金具６の基板部６ｂにおける前記貫通
穿１７，１７，１７の真下に当る位置には貫通穿
１７′，１７′，１７′を開設する。上記各貫通穿
１７及び１７′の間には上端部に受持ち部１８ａ
を設けた保障杆１８，１８，１８を貫通させ、同
杆１８の下端には受持ち部１８ｂを螺着せしめて
ある。

上記した貫通穿１７及び１７′は保障杆１８の
径より一回り大きく開設し、また、下端側の受持
ち部１８ｂと基板部６ｂの貫通穿１７下端との間
には所定の間隙ａを設け、両貫通穴１７，１７′
間に貫通する保障杆１８が同貫通穴１７，１７′
内にて径方向及び長さ方向へ遊動する様に構成す
る。

尚、保障杆１８及び受持ち部１８ａ，１８ｂに
はボルトとナツトを利用したが、保障杆と上端側
の受持ち部とを一体に削り出し、該保障杆の下端
に輪状の受持ち部止めピンなどで固定する構成を
取るのも任意である。（図示せず） 上定盤及び吊持体５が球形すべり軸受７を支点
として振れ動すると、停止する鍔部材１５の貫通
穿１７と振れ動する吊り下げ金具６の貫通穿１
７′との間における水平及び垂直方向の位置関係
がずれるが、この両貫通穿１７，１７′のずれに
伴い各保障杆１８が同貫通穿１７，１７′内で径
方向及び長さ方向へ遊動することによつて、吊持
体５の振れ動が保障杆１８によつて阻害されない
様になつている。

そして、吊持軸８や吊り下げ金具６の支持部６
ａ、若しくは球形すべり軸受箱体９の支承部９ａ
が破断した際、上定盤と共に落下しようとする吊
り下げ金具６における各貫通穿１７′周囲の下端
面部を受持ち部１８ｂによつて受け止め、上定盤
及び吊持体５を保障杆１８，１８，１８にて吊持
して上定盤の落下を防止する。

上記した上定盤落下防止装置Ｂは保障杆１８及
び受け止め部１８ａ，１８ｂにボルト、ナツトを
利用して構成したものであるから、極めて簡単に
製造することができるものである。

尚、保障杆は１本設けるも複数本設けるも任意
なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は第３図のＸ−Ｘ線断面図、第２図は本
考案上定盤落下装置を取付けたウエハー用ラツプ
盤の球形すべり軸受部を示す縦断側面図、第３図
は第１図のＹ−Ｙ線断面図、第４図は従来のウエ
ハー用ラツプ盤を示す縦断面図、第５図は同ラツ
プ盤の球形すべり軸受部を示す拡大図である。 図中、Ａ……ウエハー用ラツプ盤、Ｂ……上定
盤落下防止装置、ａ……間隙、１……上定盤、５
……吊持体、７……球形すべり軸受、８……吊持
軸、９……球形すべり軸受箱体、１０……上定盤
昇降用シリンダ、１１……ピストンロツド、１７
……貫通穿（球形すべり軸受箱体側）、１７′……
貫通穿（吊持体側）、１８……保障杆、１８ａ…
…受持ち体（上端側）、１８ｂ……受持ち体（下
端側）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハー用ラツプ盤本体の上定盤を回動自在に
   吊持する吊持体の上端部に、球形すべり軸受を嵌
   装した吊持軸を固定し、上記球形すべり軸受を球
   形すべり軸受箱体で支承すると共に、同球形すべ
   り軸受箱体の上部を上定盤昇降用シリンダのピス
   トンロツドに結合して、吊持体及び上定盤を振動
   自在に吊持したウエハー用ラツプ盤に取付ける上
   定盤落下防止装置において、前記球形すべり軸受
   箱体の鍔部材と吊持体上端部の前記鍔部材に対向
   する吊り下げ金具基板部とにそれぞれ貫通穿を開
   設し、両貫通穿間に保障杆を遊嵌状態で貫通さ
   せ、この保障杆の上下端に受持ち部を設け、下端
   側の受持ち部と吊り下げ金具基板部の貫通穿下端
   との間に所定の間隙を設けたラツプ盤の上定盤落
   下防止装置。