JPH0466668B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はウエハー用ラツプ盤の上定盤吊懸け
装置である。

（従来技術） 第５図に示したＡは半導体ウエハー用ラツプ盤
であり、上定盤１と下定盤２との間にキヤリアー
３を配置し、このキヤリアー３でウエハー４を保
持し、上下両定盤１，２とキヤリアー３を同時に
回転させながらウエハー４を研削する。上記上定
盤１は吊持体５によつて回動自在に吊持され、且
つこの吊持体５は吊懸け装置B′を介して上定盤
昇降用シリンダ６のピストンロツド６ａに振れ動
自在な状態で吊懸けされている。

上記上定盤吊懸け装置B′は、第６図にて示す
如く、外周面が球面形状である球形すべり軸受
７′を吊持軸８′に嵌装し、この吊持軸８′を吊持
体５の上端部に固定金具９′を介して水平状態で
固定している。しかるに従来装置は、上記球形す
べり軸受７′を球形すべり軸受箱体１０′にて支承
し、且つ、同箱体１０′の上部に一体に設けた吊
持ボルト１１′をシリンダ６のピストンロツド６
ａ先端に設けためねじ部１２′内に螺着すると共
に、ピストンロツド６ａのめねじ部１２′と該め
ねじ部１２′内に螺合する吊持ボルト１１′との間
に回り止めピン１３′を嵌挿し、吊持ボルト１
１′をピストンロツド６ａに対して回り止めをす
る様にしている。

上記した様に、上定盤１と吊持体５は上定盤吊
懸け装置B′によつて吊持しているが、上定盤１
の重量だけでも1t程ある為に上定盤吊懸け装置
B′に加わる引張り荷重は大きく、さらに、吊持
体５のベアリング５ａ内にウエハー４を研削する
砥粒スラリーが浸入した場合には、この部分の回
動抵抗が増大し、捩り荷重も加わつてくる。

上定盤吊懸け装置B′の吊持ボルト１１′は、前
記した全加重が加わるが、シリンダ６のピストン
ロツド６ａ先端のめねじ部１２′内に螺着する構
成を取つているので、あまり直径を大きくするこ
とができず、この為に吊持ボルト１１′の引張り
強度に十分な余裕を持たせることが難しい。

また、回り止めピン１３′の貫挿孔は吊持ボル
ト１１′やめねじ部１２′の強度を低下させる。従
つて回り止めピン１３′の径をあまり大きくする
ことはできず、前記した様に吊持ボルト１１′に
捩る力が加わると同ピン１３′が破断する可能性
も生じてくる。

上定盤１は、ウエハー４の出入れ時やメンテナ
ンスの際に上昇させ、作業員が上定盤の下で作業
を行なうが、作業中において吊持ボルト１１′の
破断、若しくは、回り止めピン１３′が破断した
後、吊持ボルト１１′の緩みが進行することが万
一発生した場合には、非劇的な結果を招く。

（技術的課題） 本発明の技術的課題は、上定盤吊懸け装置にお
ける球形すべり軸受箱体とシリンダーのピストン
ロツドとの結合を強化することである。

（技術的課題を解決する為の手段） 本発明が上記した技術的課題を解決する為の手
段は、ウエハー用ラツプ盤本体の上定盤を回動自
在に吊持する吊持体の上端に装着し、上定盤及び
吊持体を上定盤昇降用シリンダのピストンロツド
に振れ動自在な状態で吊懸けする上定盤吊懸け装
置において、前記吊持体上端に球形すべり軸受を
嵌装した吊持軸を水平状態で固定し、上記球形す
べり軸受を球形すべり軸受箱体で支承し、この球
形すべり軸受箱体の上部を上定盤昇降用シリンダ
のピストンロツド先端に螺刻される先端ねじの外
周に螺着すると共に、同球形すべり軸受箱体の上
端に略コ形の嵌合口を形成した回り止め体を取付
けると共に、同嵌合口をピストンロツドに形成さ
れるスパナ用当て面に嵌合させたものである。

（作 用） 以上の如き手段によれば、球形すべり軸受箱体
は、吊持軸に嵌装される球形すべり軸受を支承す
ると共に、その上部を上定盤昇降用シリンダのピ
ストンロツドの先端ねじの外周に螺合することに
より、ピストンロツドと球形すべり軸受箱体とが
結合され、且つ吊持体及び上定盤が球形すべり軸
受を支点として振れ動自在に吊持される。

また、ピストンロツドのスパナ用当て面を球形
すべり軸受箱体に取付けた回り止め体の嵌合口で
銜えることにより、ピストンロツドに対する球形
すべり軸受箱体の回動が抑止される。

（効 果） 本考案は以上の様に、球形すべり軸受箱体及び
上定盤昇降用シリンダのピストンロツド両者の結
合をピストンロツドの先端ねじを有用して行つた
ものであるから、従来の上定盤吊懸け装置と比較
して、結合部分のねじ径を十分に確保することが
可能であり、これにより引張強度を十二分に確保
し、結合部分のボルトが破断する可能性をなくす
ことができるものである。

また、ピストンロツドのスパナ用当て面に回り
止め体を嵌合させることによつて球形すべり軸受
箱体の回り止めを行つたので、従来の回り止めピ
ンの様に構造的制約を受けることがなく、十分な
強度を保つことが可能であると共に、回り止めピ
ンの貫挿孔を穿設する必要もないので結合部分の
先端ねじや球形すべり軸受箱体の強度低下を招く
こともない。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図及び第２図はウエハー用ラツプ盤の上定
盤吊懸け装置Ｂ部分を示し、同装置Ｂは、上定盤
（図示せず）を回動自在な状態で吊持する吊持体
５の上端部に装着し、上記上定盤及び吊持体５を
ウエハー用ラツプ盤の最上部に配設される上定盤
昇降用シリンダ６のピストンロツド６ａに振れ動
自在に吊懸けするものである。

上記上定盤吊懸け装置Ｂは、外周を球面状に形
成した球形すべり軸受７を吊持軸８に嵌装し、こ
の吊持軸８を吊り下げ金具９にて水平状態で保持
し、同金具９をボルト１４にて吊持体５の上端部
に固定し、球形すべり軸受７を吊持体５側に固定
してある。

球形すべり軸受７は、その球面状の外周をスリ
ーブ１０ａを介して球形すべり軸受箱体１０によ
つて支承することにより、スリーブ１０内の内周
面で自在に回転する様に構成してある。そして、
上記球形すべり軸受箱体１０の上部にはめねじ部
１０ｂを垂直状に形成し、このめねじ部１０ｂを
前記上定盤昇降用シリンダ６のピストンロツド６
ａ先端に螺刻される先端ねじ６ｂの外周に螺合し
て吊持体５及び上定盤がシリンダ６のピストンロ
ツド６ａに吊懸けした状態にて、球形すべり軸受
７を支点として振れ動自在に成す。

また、球形すべり軸受箱体１０の上端には第４
図に示した様な略コ形の嵌合口１５ａを備える回
り止め体１５をボルト１６止めすると共に、同嵌
合口１５ａでピストンロツド６ａの先端ねじ６ｂ
の後端側に形成されるスパナ用当て面６ｃ，６ｃ
を銜え、球形すべり軸受箱体１０がピストンロツ
ド６ａに対して回動しない様にしてある。

さらに、球形すべり軸受箱体１０の外周部には
鍔部材１７を螺合してナツト１８で固定し、この
鍔部材１７と吊り下げ金具９の基板部９ａとの間
をボルト１８，１８，１８で連結してある。これ
は、球形すべり軸受箱体１０ａの支承部１０ｃや
吊持軸８、若しくは吊り下げ金具９の吊持部９ｂ
を支持する部分が万一破断した際に、吊り下げ金
具９の基板部９ａを各ボルト１８に螺合したナツ
ト１９にて受け止め、上定盤の落下事故を防止す
る為のフエイルセーフ機構である。

上定盤及び吊持体５の荷重は吊り下げ金具９か
ら吊持軸８−球形すべり軸受７−スリーブ１０ａ
−球形すべり軸受箱体１０と伝わり、同箱体１０
のめねじ部１０ｂと先端ねじ６ａのねじ山を介し
てピストンロツド６ａに加わるものであり、上記
構成の上定盤の吊懸け装置Ｂは球形すべり軸受箱
体１０とピストンロツド６ａの結合部分のボルト
径を十分に確保すると共に、同箱体１０のめねじ
部１０ｂ周りの肉厚も必要なだけ取れるので、同
箱体１０側の強度確保も楽である。

【図面の簡単な説明】

第１図は第３図のＸ−Ｘ線断面図、第２図はウ
エハー用ラツプ盤の上定盤吊懸け装置部を示す縦
断側面図、第３図は第２図のＹ−Ｙ線断面図、第
４図は第１図のＺ−Ｚ線断面図、第５図は従来の
ウエハー用ラツプ盤を示す縦断面図、第６図は同
ラツプ盤の上定盤吊懸け装置部を示す拡大断面図
である。 図中、Ａ：ウエハー用ラツプ盤、Ｂ：上定盤吊
懸け装置、１：上定盤、５：吊持体、６：上定盤
昇降用シリンダ、６ａ：ピストンロツド、６ｂ：
先端ねじ、６ｃ：スパナ用当て面、７：球形すべ
り軸受、８：吊持軸、１０：球形すべり軸受箱
体、１５：回り止め体、１５ａ：嵌合口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ウエハー用ラツプ盤本体の上定盤を回動自在
   に吊持する吊持体の上端に装着し、上定盤及び吊
   持体を上定盤昇降用シリンダのピストンロツドに
   振れ動自在な状態で吊懸けする上定盤吊懸け装置
   において、前記吊持体上端に球形すべり軸受を嵌
   装した吊持軸を水平状態で固定し、上記球形すべ
   り軸受を球形すべり軸受箱体で支承し、この球形
   すべり軸受箱体の上部を上定盤昇降用シリンダの
   ピストンロツド先端に螺刻される先端ねじの外周
   に螺着すると共に、同球形すべり軸受箱体の上端
   に略コ形の嵌合口を形成した回り止め体を取付け
   ると共に、同嵌合口をピストンロツドに形成され
   るスパナ用当て面に嵌合させたウエハー用ラツプ
   盤の上定盤吊懸け装置。