JPH045554A - 微粒子導入装置 - Google Patents
微粒子導入装置Info
- Publication number
- JPH045554A JPH045554A JP2107132A JP10713290A JPH045554A JP H045554 A JPH045554 A JP H045554A JP 2107132 A JP2107132 A JP 2107132A JP 10713290 A JP10713290 A JP 10713290A JP H045554 A JPH045554 A JP H045554A
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- arm
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、マイクロ波誘導プラズマを利用した元素分析
計の検出器に所望の微粒子（パーティクル）を供給する
微粒子導入装置に関する。
計の検出器に所望の微粒子（パーティクル）を供給する
微粒子導入装置に関する。
〈従来の技術〉
従来から知られている微粒子導入装置は、ポンプやエジ
ェクタを吸引装置とし大気などのサンプリング空間から
所望の微粒子を吸引しレーザ（光）を用いた光学式の微
粒子測定装置に導入するような構成になっていた。
ェクタを吸引装置とし大気などのサンプリング空間から
所望の微粒子を吸引しレーザ（光）を用いた光学式の微
粒子測定装置に導入するような構成になっていた。
然しなから、マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計に
おいては、キャリアガスを必要とするため大気を直接導
入することは困離で僅かな混入でもマイクロ波誘導プラ
ズマに悪影響を及ぼす上、導入できる微粒子も極めて少
量に限られるという欠点らあった。
おいては、キャリアガスを必要とするため大気を直接導
入することは困離で僅かな混入でもマイクロ波誘導プラ
ズマに悪影響を及ぼす上、導入できる微粒子も極めて少
量に限られるという欠点らあった。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は、かかる従来例の欠点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、３００ｍ１／ｍｉｎ程度の小流量で
流れるプラズマガスをキャリアガスとし所望の微粒子だ
けをマイクロ波誘導ブラズマ利用元素分析計の検出器に
供給できる微粒子導入装置を提供することにある。
あり、その目的は、３００ｍ１／ｍｉｎ程度の小流量で
流れるプラズマガスをキャリアガスとし所望の微粒子だ
けをマイクロ波誘導ブラズマ利用元素分析計の検出器に
供給できる微粒子導入装置を提供することにある。
く問題点を解決するための手段〉
上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、微粒子
導入装置において、アスピレータと、表面に固体微粒子
が付着されたフィルタと、該フィルタを固定するフィル
タユニットが装着されたアームと、第１モータの回転を
前記アームの水平方向回転運動に変換する固定軸と、第
２モータの回転を前記アームの上下方向直線運動に変換
するボールネジとを設け、前記アスピレータの吸引口が
前記フィルタと一定の距離に近ずいた状態で、毎分路３
００ｍ１の小流量で流れるキャリアガスが前記アスピレ
ータに供給されると該アスピレータによって前記固体微
粒子が吸引され前記プラスマ発生部に供給されるように
したことにある。
導入装置において、アスピレータと、表面に固体微粒子
が付着されたフィルタと、該フィルタを固定するフィル
タユニットが装着されたアームと、第１モータの回転を
前記アームの水平方向回転運動に変換する固定軸と、第
２モータの回転を前記アームの上下方向直線運動に変換
するボールネジとを設け、前記アスピレータの吸引口が
前記フィルタと一定の距離に近ずいた状態で、毎分路３
００ｍ１の小流量で流れるキャリアガスが前記アスピレ
ータに供給されると該アスピレータによって前記固体微
粒子が吸引され前記プラスマ発生部に供給されるように
したことにある。
〈実施例〉
以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第１
図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、１はアス
ピレータ、２はフィルタ３を固定するフィルタユニット
、４はアーム、５はガス置換部、６はバックラッシュが
例えば０．０１ｍｍ以下となるように設計されているボ
ールネジ、７゜７−はバックラッシュを相殺し後述の第
２モータから加えられた動き（回転運動）をボールネジ
６を介してフィルター３の２軸方向の動き（上下方向直
線運動）に変換する固定軸、８はネジと０リングシール
によって外からの空気の漏れ込みを防ぐように構成され
ているケース、９は角度分解能の極めて高いステッピン
グモータでなる第１モータ、１０は第１モータ９の回転
を伝達するタイミングベルトである。また、キャリアガ
スとしてＡｒガスを使用した場合にはキャリアガスと試
料ガスとの吸引比率が例えば１：３となり、キャリアガ
スとしてＨｅガスを使用した場合にはキャリアガスと試
料ガスとの吸引比率が例えば１：１．５となるように、
アスピレータ１の吸引特性か設計されている。尚、アス
ピレータ１の吸引口とフィルタ３の間隔は０．０１ｍｍ
以下になるように制御されている。
図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、１はアス
ピレータ、２はフィルタ３を固定するフィルタユニット
、４はアーム、５はガス置換部、６はバックラッシュが
例えば０．０１ｍｍ以下となるように設計されているボ
ールネジ、７゜７−はバックラッシュを相殺し後述の第
２モータから加えられた動き（回転運動）をボールネジ
６を介してフィルター３の２軸方向の動き（上下方向直
線運動）に変換する固定軸、８はネジと０リングシール
によって外からの空気の漏れ込みを防ぐように構成され
ているケース、９は角度分解能の極めて高いステッピン
グモータでなる第１モータ、１０は第１モータ９の回転
を伝達するタイミングベルトである。また、キャリアガ
スとしてＡｒガスを使用した場合にはキャリアガスと試
料ガスとの吸引比率が例えば１：３となり、キャリアガ
スとしてＨｅガスを使用した場合にはキャリアガスと試
料ガスとの吸引比率が例えば１：１．５となるように、
アスピレータ１の吸引特性か設計されている。尚、アス
ピレータ１の吸引口とフィルタ３の間隔は０．０１ｍｍ
以下になるように制御されている。
第１図のような構成からなる本発明の実施例において、
最初、ケース８の蓋を開け、表面に固体微粒子が付着さ
れたフィルタ３が固定されているフィルターユニット２
をアーム４に装着してのち、ケース８の蓋を閉じる。そ
の後、図示しない第２モータを駆動させてアーム４をボ
ールネジ８の一番下まで下げてのち、第１モータ９を回
転させてアーム４を水平方向に９０″回転させてアスピ
レータ１の位置へ移動させる。また、ケース８の内部は
ガス置換部５となっており、吸引ボン１（第２図の吸引
ポンプ１４）で中の空気を吸引廃棄してキャリアガスに
置換するようになっている。このような置換を充分に行
って後、再び上記第２モータを駆動すると、アーム４が
ボールネジ６を上昇し、フィルタ３の表面と一定距離に
近づいた位置で止まる。次に、アスピレータ１にキャリ
アガスを供給し、フィルタ３の表面に付着している微粒
子を雰囲気ガスと一緒に吸引させる。その後、第１モー
タ９を駆動して一定速度でアーム４を１図の紙面に垂直
の円周方向に動かしくいわゆる水平方向回転運動）、ア
スピレータ１がフィルタ３の表面をスキャンするように
してフィルタ３の表面に付着している微粒子をアスピレ
ータ１の吸引口から次々に吸引させる。
最初、ケース８の蓋を開け、表面に固体微粒子が付着さ
れたフィルタ３が固定されているフィルターユニット２
をアーム４に装着してのち、ケース８の蓋を閉じる。そ
の後、図示しない第２モータを駆動させてアーム４をボ
ールネジ８の一番下まで下げてのち、第１モータ９を回
転させてアーム４を水平方向に９０″回転させてアスピ
レータ１の位置へ移動させる。また、ケース８の内部は
ガス置換部５となっており、吸引ボン１（第２図の吸引
ポンプ１４）で中の空気を吸引廃棄してキャリアガスに
置換するようになっている。このような置換を充分に行
って後、再び上記第２モータを駆動すると、アーム４が
ボールネジ６を上昇し、フィルタ３の表面と一定距離に
近づいた位置で止まる。次に、アスピレータ１にキャリ
アガスを供給し、フィルタ３の表面に付着している微粒
子を雰囲気ガスと一緒に吸引させる。その後、第１モー
タ９を駆動して一定速度でアーム４を１図の紙面に垂直
の円周方向に動かしくいわゆる水平方向回転運動）、ア
スピレータ１がフィルタ３の表面をスキャンするように
してフィルタ３の表面に付着している微粒子をアスピレ
ータ１の吸引口から次々に吸引させる。
一方、第２図は本発明の詳細な説明図であり、図中、ｌ
ｌは第１図を用いて詳述した本発明実施例のディスパー
サ−１１２ａはキャリアガス導入口、１２ｂは置換ガス
導入口、１２ｃはガス排出口、１３ａ〜１３ｅは開閉弁
、１４は吸引ポンプ、１５は放電管、１６はキャビティ
、１７はグラズマである。
ｌは第１図を用いて詳述した本発明実施例のディスパー
サ−１１２ａはキャリアガス導入口、１２ｂは置換ガス
導入口、１２ｃはガス排出口、１３ａ〜１３ｅは開閉弁
、１４は吸引ポンプ、１５は放電管、１６はキャビティ
、１７はグラズマである。
第２図のような構成からなる本発明実施例の使用例にお
いて、キャリアカス導入口１２ａには図示しないボンベ
などからキャリアカス（例えば、ＡｒやＨｅ）が供給さ
れ、開閉弁１３ａとアスピレータ１を通って放電管１５
内に導入される。また、キャビティ９の中心部には図示
しないマイクロ波発生器からマイクロ波（１００〜１５
０Ｗのマイクロ波電力）が照射さており、キャビティ１
６の中心部に挿入されている放電管１５内のキャリアガ
スを励起してプラズマ１７を発生させる。
いて、キャリアカス導入口１２ａには図示しないボンベ
などからキャリアカス（例えば、ＡｒやＨｅ）が供給さ
れ、開閉弁１３ａとアスピレータ１を通って放電管１５
内に導入される。また、キャビティ９の中心部には図示
しないマイクロ波発生器からマイクロ波（１００〜１５
０Ｗのマイクロ波電力）が照射さており、キャビティ１
６の中心部に挿入されている放電管１５内のキャリアガ
スを励起してプラズマ１７を発生させる。
また、フィルタ３の表面に付着している微粒子は前述の
ようにしてアスピレータ１で吸引され、キャリアガスと
一緒に放電管１５内のプラズマ１７へ送り込まれ、該プ
ラズマによって解離されて発光する。このようにして放
電管１５内で発生した光は、モノクロメータ（図示せず
）で検出され、その後、信号処理器（図示せず）で信号
処理されて微粒子若しくは該微粒子中の成分元素などが
分析される。
ようにしてアスピレータ１で吸引され、キャリアガスと
一緒に放電管１５内のプラズマ１７へ送り込まれ、該プ
ラズマによって解離されて発光する。このようにして放
電管１５内で発生した光は、モノクロメータ（図示せず
）で検出され、その後、信号処理器（図示せず）で信号
処理されて微粒子若しくは該微粒子中の成分元素などが
分析される。
尚、本発明は上述の実施例に限定されることなく種々の
変形が可能であり、例えば次の■〜■のようにしても良
い。■第１図のフィルターユニット２をターンテーブル
上に複数個装着する。■第１図のフィルターユニット２
に代えロール式の帯状フィルタを使用して連続的な測定
とする。■フィルタユニット、吸引ポンプ、流量計、及
びタイマーからなるサンプラーを別個に設けることなく
、本発明に係わるディスパーサ−と−量的に構成する。
変形が可能であり、例えば次の■〜■のようにしても良
い。■第１図のフィルターユニット２をターンテーブル
上に複数個装着する。■第１図のフィルターユニット２
に代えロール式の帯状フィルタを使用して連続的な測定
とする。■フィルタユニット、吸引ポンプ、流量計、及
びタイマーからなるサンプラーを別個に設けることなく
、本発明に係わるディスパーサ−と−量的に構成する。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明したように、本発明は、マイクロ波誘導
プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生部に試料を安定
的に供給する微粒子導入装置において、アスピレータと
、表面に固体微粒子が付着されたフィルタと、該フィル
タを固定するフィルタユニットが装着されたアームと、
第１モータの回転を前記アームの水平方向回転運動に変
換する固定軸と、第２モータの回転を前記アームの上下
方向直線運動に変換するボールネジとを設け、前記アス
ピレータの吸引口が前記フィルタと一定の距離に近すい
た状態で、毎分略３００ｍｌの小流量で流れるキャリア
カスか前記アスピレータに供給されると該アスピレータ
によって前記固体微粒子が吸引され前記プラズマ発生部
に供給されるように構成した。
プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生部に試料を安定
的に供給する微粒子導入装置において、アスピレータと
、表面に固体微粒子が付着されたフィルタと、該フィル
タを固定するフィルタユニットが装着されたアームと、
第１モータの回転を前記アームの水平方向回転運動に変
換する固定軸と、第２モータの回転を前記アームの上下
方向直線運動に変換するボールネジとを設け、前記アス
ピレータの吸引口が前記フィルタと一定の距離に近すい
た状態で、毎分略３００ｍｌの小流量で流れるキャリア
カスか前記アスピレータに供給されると該アスピレータ
によって前記固体微粒子が吸引され前記プラズマ発生部
に供給されるように構成した。
このため、プラズマガスをキャリアカスとし所望の微粒
子をマイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計の検出器に
供給できる微粒子導入装置が実現する。即ち、 ■純粋なＡｒやＨｅによるプラズマの中で解離されるた
め、大気混入した場合にもＨ２Ｏ，０２Ｎ２．Ｃｏ２な
どのマトリックスの影響も受けず金属元素であると非金
属元素であるとを問わず微粒子の高感度測定を可能にす
ることができる。
子をマイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計の検出器に
供給できる微粒子導入装置が実現する。即ち、 ■純粋なＡｒやＨｅによるプラズマの中で解離されるた
め、大気混入した場合にもＨ２Ｏ，０２Ｎ２．Ｃｏ２な
どのマトリックスの影響も受けず金属元素であると非金
属元素であるとを問わず微粒子の高感度測定を可能にす
ることができる。
■サンプリング空間のパーティクル濃度（いわゆるクリ
ーン度）に応じてサンプル量が変えられ、常に一定量の
微粒子をサンプリングできる。
ーン度）に応じてサンプル量が変えられ、常に一定量の
微粒子をサンプリングできる。
■アスピレータの移動速度やアスピレータの吸引口とフ
ィルタのギャップを変えることにより、時間的にも量的
にも制御が可能となる。
ィルタのギャップを変えることにより、時間的にも量的
にも制御が可能となる。
■前記従来例においては、微粒子の粒径と個数なけしか
知ることができなかったが、本発明によれば分光器（第
１図の光学系）をアクセスして微粒子を構成している元
素も特定できるようになる。
知ることができなかったが、本発明によれば分光器（第
１図の光学系）をアクセスして微粒子を構成している元
素も特定できるようになる。
第１図は本発明実施例の構成説明図、第２図は本発明実
施例の使用例説明図である。 １・・・アスピレータ、２・・・フィルタユニット、３
・・・フィルタ、４・・・アーム、５・・・ガス置換部
、６・・・ボールネジ、７．７−・・・固定軸、８・・
・ケース、９・・・モータ １１・・・ディスパーサ−１１２ａ・・・キャリアガス
導入口、１２ｂ・・・置換ガス導入口、１２ｃ・・・カ
ス排出口、１３ａ〜１３ｅ・・・開閉弁、１４・・・吸
引ポンプ、 １５・・・放電管、１６・・・キャビティ、１７・・・
プラズマ
施例の使用例説明図である。 １・・・アスピレータ、２・・・フィルタユニット、３
・・・フィルタ、４・・・アーム、５・・・ガス置換部
、６・・・ボールネジ、７．７−・・・固定軸、８・・
・ケース、９・・・モータ １１・・・ディスパーサ−１１２ａ・・・キャリアガス
導入口、１２ｂ・・・置換ガス導入口、１２ｃ・・・カ
ス排出口、１３ａ〜１３ｅ・・・開閉弁、１４・・・吸
引ポンプ、 １５・・・放電管、１６・・・キャビティ、１７・・・
プラズマ
Claims (1)
- マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生
部に試料を安定的に供給する微粒子導入装置において、
アスピレータと、表面に固体微粒イが付着されたフィル
タと、該フィルタを固定するフィルタユニットが装着さ
れたアームと、第１モータの回転を前記アームの水平方
向回転運動に変換する固定軸と、第２モータの回転を前
記アームの上下方向直線運動に変換するボールネジとを
具備し、前記アスピレータの吸引口が前記フィルタと一
定の距離に近ずいた状態で、毎分略３００ｍｌの小流量
で流れるキャリアガスが前記アスピレータに供給される
と該アスピレータによって前記固体微粒子が吸引され前
記プラズマ発生部に供給されることを特徴とする微粒子
導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107132A JP2738128B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 微粒子導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107132A JP2738128B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 微粒子導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045554A true JPH045554A (ja) | 1992-01-09 |
| JP2738128B2 JP2738128B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=14451316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2107132A Expired - Fee Related JP2738128B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 微粒子導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2738128B2 (ja) |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP2107132A patent/JP2738128B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2738128B2 (ja) | 1998-04-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080116 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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