JPH045644Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は、二重床における金属製床パネルの支
持装置に関し、特に超LSIなどを製造する工場の
所謂クリーンルームのフリーアクセスフロア（浮
床）を敷設形成する金属製床パネルの支持装置に
関するものである。

＜従来の技術及びその問題点＞ 超LSIなどを製造する工場のクリーンルームは
半導体素子を製造する過程で高い精度が要求され
る。しかし乍ら、従来此種クリーンルームのフリ
ーアクセスフロア（浮床）を敷設形成する床パネ
ルの支持は、建造物の基礎床面上に碁盤目状に立
設配置され四方において隣り合う支持脚の台座上
に床パネルＡの四隅コーナーを載承支持させた四
点支持構造、即ち敷設された各床パネルＡは四隅
コーナーが支持脚によつて支持されているだけで
互いに隣接状に隣り合う床パネルＡの衝合縁ａ１
を含む周囲各辺間はフリ状態で互いに隣接してい
るだけである。従つて、半導体素子を製造する過
程で設置されたIC製造機器からIC製造機器への
半導体基板を搬送セツトする搬送ロボツトの走行
時において隣り合う床パネルＡの衝合縁ａ１上を
通過する際に、搬送ロボツトの車輪９が乗つてい
る一方の床パネルＡのみがそのロボツトの荷重に
よつて撓み、乗つていない他方の床パネルＡとの
衝合縁ａ１間に段差が生じたり、車輪９が乗つた
床パネルＡ周囲の一辺と相対する同床パネルの他
辺側が第５図に例示した如く持ち上がつたりして
（図面で右側の衝合縁）それが振動になつてIC製
造機器に伝わり、IC製造機器の電子ビーム或い
は集束イオンビーム照射精度に悪影響を及ぼす結
果になつて此種半導体素子製造業界において大き
な問題になつていた。

そこで、床パネルの四隅コーナーを基礎床面上
に碁盤目状に立設配置され四方において隣り合う
支持脚の台座上に単に載せて支持されるだけでは
なく、隣接して隣り合う床パネルの周囲各辺例え
ばダイキヤスト一体成形の所謂アルミ製床パネル
の裏面周囲に一体に設けられた各辺の周囲リブに
横穴を設けて置き、床パネルの敷設作業時に隣り
合う床パネルの横穴間にボルト等のピン類を挿通
せしめてナツトで締結することで、フロアを敷設
形成する床パネル全体を連結支持するか或いは必
要なフロア部分の床パネルを選択的に連結支持す
る様にした二重床構造が案出されている（実開昭
53−123818号公報参照）。

しかし乍ら、この従来の連結支持構造は地震等
によりフリーアクセスフロアに加わる振動（横揺
れ或いは上下動等）による床パネルの脱落、隣り
合う床パネルの一方の衝合縁が他方の床パネルの
衝合縁上に載り上がるといつたせり上がり等を防
ぐことを技術的課題として案出されたものである
ために、搬送ロボツトが床パネルの衝合縁上を通
過する際に該衝合縁に掛かる真上からの荷重にた
いしてはその連結支持機能を十二分に発揮でき
ず、従つて、搬送ロボツトの車輪が乗つている一
方の床パネルのみがそのロボツトの荷重によつて
撓み、乗つていない他方の床パネルとの衝合縁間
には段差が生じる。

即ち、横穴所謂ボルト挿通穴はボルトの直径よ
りも大きめの穴径にて穿設するのが一般的であ
り、又上記従来構造の場合は隣り合う床パネルの
周囲リブに夫々設けられている横穴間に亘つてボ
ルトを架橋状に通す必要があることから、両横穴
間に僅かな芯ズレが生じてもボルトをスムーズに
通せる様に施工性を考慮した更に大きめの穴径に
て穿設することが要求されると同時に、従来支持
構造は横穴が穿設されている床パネルの厚さ方向
中途部分のみにて両床パネルを連結支持する構造
である。従つて、真上から荷重が掛つた場合、横
穴とボルトとの間の隙間（クリアランス）分、搬
送ロボツトの車輪が乗つている一方の床パネルの
衝合縁のみが車輪が乗つていない他方の床パネル
の衝合縁に対して下方に動く（ずれる）可能性を
備えているために、隣り合う床パネルの衝合縁間
に生じる段差を完全且つ確実に防ぐことはできな
い。

＜考案が解決しようとする問題点＞ 本考案が解決しようとする問題点は、走行する
搬送ロボツトが隣り合う床パネルの衝合縁上を通
過する際にその衝合縁間に僅かな段差も生じない
様にすることにある。

＜問題点を解決するための手段＞ 上記問題を解決するために本考案が講じる技術
的手段は、基礎床面上に碁盤目状に立設配置され
た各支持脚の台座上に載承支持されて隣り合う床
パネルの各辺衝合縁下面間に亘り付き当てる上部
受圧部と、床パネルの各辺底面間に亘り位置させ
て該底面に取付けた埋込みナツトに連結ボルトで
螺着固定する下部連結部と、この下部連結部に前
記上部受圧部を固着支持する支持部とから断面略
逆Ｔ字形に構成したことを特徴とする。

＜作用＞ 而して、上記した本考案の技術的手段によれ
ば、隣り合う床パネルの各辺は底面の設けた埋込
みナツトに連結ボルトで螺合固定せしめてその底
面間に亘り取着具備した下部連結部により低面間
が連結されると共に該下部連結部より床パネルの
厚さ方向に垂直に設けた支持部上端の上部受圧部
により衝合縁が下から突き上げられた状態で直接
支持される。

＜実施例＞ 本考案の実施例を図面に基づいて説明すると、
床パネルＡは鋼板等を用いて方形状に裁断した表
面板ａ２に周囲を折曲げ立ち上げた裏板ａ３を溶
着して形成した周知の金属製所謂スチールパネル
であり、建造物のコンクリート基礎床面Ｂ上に固
定プレートｃ３を介して床パネルＡの一辺幅間隔
にて碁盤目状に立設配置した四方において隣り合
う支持脚Ｃの台座ｃ１上に四隅コーナー、図面に
あつては衝合縁ａ１の下面四隅コーナーを載承支
持させてクリーンルームの床面ａを敷設形成し、
隣り合う床パネルＡの周囲各辺下面間に亘り支持
装置１を取着具備せしめると共に、支持脚Ｃから
床パネルＡのコーナ−底面に亘り脚連結部材２を
取着具備せしめる。

支持装置１は、隣り合う床パネルＡの周囲各辺
を相互に連結せしめて床面ａ上に設置されたIC
製造機器からIC製造機器へと半導体基板を搬送
セツトする搬送ロボツトの走行時において隣り合
う床パネルＡの衝合縁ａ１上を搬送ロボツトの車
輪９が通過する際に、その衝合縁ａ１間に段差が
生じない様に該衝合縁ａ１を下から直接突き上げ
る如く支持する働らきをなすもので、隣り合う床
パネルＡの各辺衝合縁ａ１下面間に亘り付き当て
る上部受圧部１０１と、床パネルＡの底面間に亘
り位置させて螺着固定する下部連結部１０２及び
この下部連結部１０２に前記上部受圧部１０１を
固着支持する下部連結部１０２より床パネルＡの
厚さ方向に垂直に設けた支持部１０３とから断面
略逆Ｔ字形に形成する。尚、支持部１０３の高さ
は床パネルＡの厚さよりも高く形成して下部連結
部１０２が床パネルＡの底面との間に、該底面に
即ち裏板ａ３に取付けた埋込みナツト３に螺着す
る連結ボルト４の締め付け空間を持つて位置する
様にする（第３図参照）。

また、支持装置１の下部連結部１０２の長さ方
向両側にはその長さ方向に適宜間隔をおいて連結
ボルト４用のボルト挿通孔５を開穿する。

埋込みナツト３は、床パネルＡの各辺底面の裏
板ａ３縁部部位にボルト挿通孔５の開孔間隔で一
体的に埋込み配備する。

脚連結部材２は、支持脚Ｃの台座ｃ１上に載承
支持させた４枚の床パネルＡの各コーナーを支持
脚Ｃに連結支持せしめて搬送ロボツトの車輪９が
衝合縁ａ１上を通過する際に、搬送ロボツトの車
輪９が床パネルＡの一辺衝合縁ａ１上に乗つた時
に相対する該床パネルＡの他辺側衝合縁ａ１が持
ち上がらない様に即ち床パネルＡの他辺側コーナ
ーが支持脚Ｃの台座ｃ１上から浮き上がらない様
に阻止する働らきをなすもので、中央に筒状螺子
孔６を設け各支持脚Ｃの螺子扞ｃ２に螺合定着せ
しめる保持板２０１と、この保持板２０１に締結
ナツト７で下端を螺合定着せしめて４枚の床パネ
ルＡの底面各コーナー部位に向けて起立せしめ、
上端屈曲部を床パネルＡのコーナー底面即ち裏板
ａ３のコーナー部位に設けた掛止孔８に挿入掛止
させる４本の連結フツク扞２０２からなり第４
図、床パネルＡのコーナーを支持脚Ｃに連結支持
せしめて台座ｃ１上からの浮き上がりを阻止す
る。それによつて、支持装置１による床パネルＡ
周囲各辺の連結支持との相乗作用により振動の発
生原因となる全ての問題、即ち衝合縁ａ１間の段
差と支持脚Ｃ台座ｃ１上からのパネルコーナーの
浮き上がりを完全に取り除いた安定させた二重床
構造とする。

而して、斯る実施例によれば、基礎床面Ｂ上に
床パネルＡの一辺幅間隔にて碁盤目状に立設配置
した各支持脚Ｃの台座ｃ１上に四隅コーナーを載
承支持させて敷設した床パネルＡ相互の各コーナ
ーを脚連結部材２にて各支持脚Ｃに夫々連結支持
せしめてパネルコーナーの浮き上がりを阻止する
と共に第１図に示す如く、搬送ロボツトの走行路
Ｄが設置されるライン方向に並列状に隣り合う床
パネルＡの各辺裏面に一体的に埋込み配置した各
埋込みナツト３に連結ボルト４で支持装置１の下
部連結部１０２を螺合定着せしめて隣り合う床パ
ネルＡの各辺下面間に亘り支持装置１を取着具備
せしめる。この際、各辺衝合縁ａ１の下面間に亘
り付き当てた上部受圧部１０１が衝合縁ａ１を上
方へ突き上げる作用をなす域まで連結ボルト４を
締め付けて、衝合縁ａ１を下から直接支え保持す
る様にすると共に搬送ロボツトが床パネルＡの衝
合縁ａ１上を通過する際のその荷重を上部受圧部
１０１から支持部１０３を介して下部連結部１０
２に伝え、その下部連結部１０２から連結ボルト
３を介して床パネルＡの底面に伝えて受け支える
様にする。それによつて、搬送ロボツトの荷重に
よる衝合縁ａ１の撓み量を抑え且つ搬送ロボツト
の車輪９が乗つていない床パネルＡの衝合縁ａ１
を車輪９が乗つている床パネルＡの衝合縁ａ１の
撓みに準じさせる。即ち搬送ロボツトの荷重を車
輪９が乗つている床パネルＡと略同様に乗つてい
ない床パネルＡにも掛る様にして、隣り合う床パ
ネルＡの衝合縁ａ１間に振動等の発生原因となる
僅かな段差も生じない様にする。

尚、上記実施例にあつては搬送ロボツトの走行
路Ｄが設置されるライン上において並接する床パ
ネルＡのみを支持装置１で連結支持した床パネル
Ａの支持構造として詳述したが、クリーンルーム
の床面ａを敷設形成する全ての床パネルＡの周囲
各辺同志を連結するも、また支持装置１の長さを
支持脚Ｃの台座ｃ１に当たらない程度の床パネル
Ａの一辺幅と略同じ長さに形成して床パネルＡの
周囲各辺を連結するも勿論自由である。

尚図中１０は支持脚Ｃの横転防止のために各支
持脚Ｃの台座ｃ１間に亘り横架されている周知の
ストリンガー（横桁）である。

＜考案の効果＞ 本考案二重床における金属製床パネルの支持装
置は叙上の如く構成してなるから、下記の作用効
果を奏する。

隣り合う床パネルの各辺衝合縁下面間に亘り付
き当て該衝合縁を下から直接支え保持する上部受
圧部と、床パネルの各辺底面間に亘り位置させて
該底面に螺着固定する下部連結部及びこの下部連
結部に前記上部受圧部を固着支持する下部連結部
より床パネルの厚さ方向に垂直に設けた支持部と
から断面略逆Ｔ字形に構成した支持装置の前記下
部連結部を、隣り合う床パネル各辺の底面に設け
た埋込みナツトに連結ボルトで螺合固定せしめて
その下面間に亘り支持装置を取着具備し、隣り合
う床パネルの各辺を連結支持する様にしてなるか
ら、従来の様に隣り合う床パネル間に亘つてボル
トを挿通せしめて締結支持するために横穴を設け
る必要がない。従つて、ボルトと横穴との隙間
（クリアランス）による床パネルの衝合縁間の段
差の発生を完全に防ぐことができ、床パネルの下
面間を連結する下部連結部より床パネルの厚さ方
向に垂直に設けた支持部上端の上部受圧部により
衝合縁を下から直接支え保持した状態で支持する
ことが出来る。

よつて、本考案の支持装置によれば、隣り合う
床パネルの各辺衝合縁を上部受圧部により下から
直接支え保持する支持形態（構造）として、搬送
ロボツトが通過する際のその荷重による衝合縁の
撓み量を抑え且つ搬送ロボツトの車輪が乗つてい
ない床パネルの衝合縁を車輪が乗つている床パネ
ルの衝合縁の撓みに準じさせて僅かな段差の発生
も完全且つ確実に阻止して振動発生を防止するこ
とができる。

依つて、所期の目的を達成し得る。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案二重床における金属製床パネルの
支持装置の実施の一例を示し、第１図は平面図で
一部切欠して示す、第２図は同縦断面図、第３図
は第１図−線拡大断面図、第４図は第１図の
−線拡大断面図、第５図は従来例を示す概略
図である。 尚、図中Ａ……床パネル、ａ１……衝合縁、ａ
２……表面板、ａ３……裏板、１……支持装置、
１０１……上部受圧部、１０２……下部連結部、
１０３……支持部、３……埋込みナツト、４……
連結ボルト、Ｂ……基礎床面、Ｃ……支持脚、ｃ
１……台座、ｃ２……螺子杆、ｃ３……固定プレ
ート。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基礎床面上に支持脚を碁盤目状に立設配置し、
   表面板に周囲を折曲げ立ち上げた裏板を溶着して
   なる金属製床パネルのコーナーを各支持脚の台座
   上に載承支持させて敷設する二重床構造に於い
   て、隣り合う床パネルの各辺衝合縁下面間に亘り
   付き当てる上部受圧部と、床パネルの各辺底面間
   に亘り位置させて該底面に取付けた埋込みナツト
   に連結ボルトで螺着固定する下部連結部と、この
   下部連結部に前記上部受圧部を固着支持する支持
   部とから断面略逆Ｔ字形に構成したことを特徴と
   する二重床における金属製床パネルの支持装置。