JPH04569A - 抵抗自動発生機能付レイアウト・エデイタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体装置における抵抗パターン・レイアウ
トを自動的に行うレイアウト・エディタ装置に関するも
のである。

〔従来の技術〕

従来、半導体装置においてパターンを入力する際、屈曲
点ごとに、その情報を指定しなければならない。第４図
及び第５図は従来のパターン・データ入力例を示す平面
図である。

次に、パターンの入力操作について説明する。

入力操作には、以下の２通シの方法がある。

（７）アウトライン指定による入力 第４図に示すように、パターンを多角形とみなし、その
すべての頂点Ｆ、Ｇ、Ｈ，Ｉ、Ｊ、及びＫの座標を指定
することにより入力する。

（イ）中心線及び幅の指定による入力 第５図に示すように、パターンを折れ線とみなし、その
中心線の両１２ｔｌｌＰ、Ｍと屈曲点Ｑ及びパターン幅
ωを指定することに工す入力する。

〔発明が解決しょうとする課題〕

従来のレイアウト・エディタ装置は１以上の工うにして
パターンを作成するため、限られたスペースに長い抵抗
を入力する几めには、ニブイト作業に多くの情報を指定
しなければならず、人手の介入回数が増える定め、入力
ミスが発生し、パターン設計工期が増大するなどの問題
点があった。

この発明は上記の；うな問題点を解消するためになされ
たもので、パターンの入力ミスを減少でさるとともに、
パターン設計工期を短縮できる抵抗自動発生機能付レイ
アウト・エディタ装置を得ることを目的とする。

「課題を解決するための手段〕 この発明に係る抵抗自動発生機能付Ｖイアウドエディタ
装置は、指定した２点間に指定し定抵抗値で。デザイン
ルールを守ｐながら、抵抗を自動発生させる機能を持た
せたものである。

〔作用コ この発明におけＺ、抵抗自動発生機能付レイアウト・エ
ディタ装置に、指定さｎｆｃ、抵抗値を満たす抵抗ケ、
デザインルールを記述したファイルと照合しながら、迷
路法を応用して発生させる。

通常の迷路法と異なる点は、最短ルートを探索するので
はなく、指定した抵抗値を滴定すルートを探索する点で
ある。

ただし、抵抗値は喝と長さに関係するので、まず幅工ｐ
少し大きめの辺長の格子に分割し、そこで迷路法を適用
し、屈曲回数最小で、少し長めのルートを採択し、最後
に＠を下方修正して抵抗値を満たす工うにする。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図を用いて説明する。第１
色は抵抗自動発生機能付レイアウト・エディタ装置に疋
る抵抗バタ・−・ン入力例を示す平面図、第２図は抵抗
パターン入力のフローチャート、第３図は抵抗パターン
ルート探索例を示す平面図である０図において、（１）
は発生させようとする抵抗パターンｓ　（２）ｂ：同一
レイヤの他のパターン、（３）はデザインルールにＬる
抵抗の発生限界、０１）〜のにステップ、（４）は発生
させようとする抵抗パターンｆｉｌの始点、（Ｂ）に発
生させようとする抵抗パターンの終点、　Ｉｃ）　ｔｒ
ｉ発生禁止領域、０に最短ルー　ト、（６）は採択ルー
トである。

ユーザが、始点囚、終点（Ｂ）及び抵抗値、レイヤを指
定すると、指定されたパターンと同一レイヤノ他ツバタ
ーン（２）ノ位置を記憶しているファイルともデザイン
ルールファイルから発生限界（３）が決定され、その範
囲の中で、指定し定抵抗ａｔ−もつ抵抗パターン（１）
が発生される。

許容されたスペースの中で、指定され定抵抗値をもつ抵
抗パターン（１）ｔ−発生させる方法は、プログラムに
Ｌやこれを制御する。

その工うな発生が不可能である場合は、その旨のメンセ
ージをプログラムにＬり出力する。

次に、第２図に示すフローチャートを、第３図を用いて
説明する。

また、以下の（６）−母は、第２図のステップ０υ〜■
を説明したものである。

０η入力限界領域の最狭部の幅Ｗとデザインルールに定
められたプロセス固有の抵抗最小幅ａ４　’１比較し＋
　Ｗ（”ｏである場合は、抵抗パターン（１１の発生に
不可能なので、その旨のエラーメソセージを出力し、プ
ログラムを終了する。

＠Ｗ≧吻である場合は、抵抗パターンｆｌ）の発生の準
備にとシかかるが、最初から吻の幅で抵抗パターンｉｔ
）を発生させると、後の修正の際に支障をきたすので、
余裕係数ｋ（ｋ＞１）′ｆ！：乗じた値であるωをもっ
て抵抗幅とする。

（至）抵抗幅ω、指定した抵抗値Ｒ及びデザインルール
に定められたシート抵抗値Ｐ８ニジ抵抗パターン（１）
の長さ！を算出する。

α←Ｒ始点囚終点ＦＢ）間の最短距離ＬＴｈ比較し、！
〈Ｌである場合に、抵抗パターン（１）の発生は不可能
なので、その旨のエラーメツセージを出力し、プログラ
ムを終了する。

ただし、最短距離りとは抵抗パターン（１）の発生可能
な領域で、水平、垂直方向に発生しｆｃ場合の最短ルー
トの長さをいう。（第３図の例では、最短が最短ルート
（Ｄ）で、その長さがＬ　＝１６ωなので！＜１６ωの
ときエラーとなる。）（ト）！≧してある場合、抵抗パ
ターンｆｉ１発生のためのルート探索段階に入る。ωを
辺長として、格子分割を行う。

αＧ第３図に示すごとく始点囚終点田）の両方から迷路
法にエリ番号付けを行う。ａｉｄ始点（Ａ）からの迷路
性番号、ｂは終点（Ｂ）からの迷路番号であるＯｌ 念だシフ、迷路性番号の最大値ぐ９７を超えないように
し１、探索時間短ｒ４を４ト α７）　ａ　＋　ｂ　−！−ｎ２’　Ｙｃ？Ｒたす接１
が存在（−な（ｂ場８　　−　シＪ 合（第３図の例ではρ〉４０の場合）５抵抗・・：ター
ンｉ１）の発生１ま不′Ｆｒｒ能なので、光の旨のニラ
−メツセージを出力し、プ・１グラムを終了する。

ここ−、ｐは抵抗・くターン（１）Ω屈曲回路とし、２
、ば抵抗パター　ンｆｌ）の屈曲に中う抵抗値の補圧乏
ｆ（味すλ１、−１ ωａ　４−　ｂ　’−””　ｎ　’？：４　　を−むζ
す打２点炒；存在する場合８　　　−リ それらの中でυが最ｆ、Ｉ・てか、：）ａ　’−ｂ　　
ａ　ｒｘが最小でめるルートを採ｊくする、フ すなわち、第３図区）グｊでに仁−・２０なので、ａ＝
　ｌ　Ｉ　、　　ｂ　＝　１　＋　＋７）　、’：＄　
ＴｈＢ　＋　Ｂ−トー＝２６−ｉで、９以上の最小値に
なるので、抵抗・・＜メー）、−ｆｌ＋に採択ルート区
を採択する０ （１９ａ　＋　ｂ　−”ｎ＝”とな５．　ｈ　５にωを
下方修正する１１　　　　　　（ｉＪ ことに工９．抵抗ｉａ　Ｒ’：’−’　「ス差を排除す
るＯｊ修正後のｔｉｌで抵抗・′＋メーン（１）で発生
させるー・なお、上記実施例では抵抗パターンｆｌ＋発
生（′：）場合を示したが、配線等のパターンを発生さ
せる場合において５複数のバター７を同じ長上で発生さ
せたいときにも上記実施例と同様の効果を奏する５、こ
の場合、抵抗値ではなく、長さを指定することに工っで
行う、ノ（ターン’７）百、２　、で）最Ｉ」・伝（：
ｉ）゛Ｌコ七スごとに決・まっているので、１司様な方
法で探索し７゜発生させることが可能である５、。

〔発明の効果１ 以上の＝５にこの発明（・て、ｎれば、抵抗ベノｌ　−
ンの始点及び終点抵抗値を指定すれば、抵抗・：ターン
自動発生が行われるので、入７シセスが減少り、、。

パターン設計工期が＠縮さする効果がある。

【図面の簡単な説明】

ｉＪ図はこｌ′２）発゛町に係る抵抗目Ｃ発事機能何レ
イアウト・エディタ装置の一実施例による抵抗・〈ター
ン入力例を示す平面図、第２図ｒｉ抵抗パターン入力の
フローチーヤード、第３図は抵抗バターフルート探索例
を示す平面図、第４Ｃ口及び第５図１１従来のバター゛
２・デ・・タ人力例ケ示す平面図で１ちる。、図におい
て、　１ｌｌ（’ｉ抵抗パターン、（２罰↓同一レイヤ
の他のパターン、（３）は発生限界、ｑη〜（５）はス
子ソゲ、（Ａ）　Ｉ−ｊ始点、ｃＢＨｔ終点、（０は発
生禁止領域、（Ｄ）は最短ルート、図は採択ルートであ
る。 なお、図中、同一符号は同一、又ζ・１相当部分を示す
、。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体装置の抵抗パターンを発生するに当って抵抗パ
   ターンの始点、終点及び抵抗値を指定することにより、
   デザインルールを記述したファイルからプロセス固有の
   抵抗最小幅、シート抵抗値を読み出し、これらから抵抗
   幅を算出し、上記抵抗幅より大きい辺長の格子に分割し
   、迷路法の応用により屈曲回数最小かつ長さが至近のル
   ートを採択し、最後に抵抗幅を修正して抵抗値の誤差を
   排除する方法により目的の抵抗パターンを得ることを特
   徴とする抵抗自動発生機能付レイアウト・エディタ装置
   。