JPH0373936U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0373936U JPH0373936U JP13431389U JP13431389U JPH0373936U JP H0373936 U JPH0373936 U JP H0373936U JP 13431389 U JP13431389 U JP 13431389U JP 13431389 U JP13431389 U JP 13431389U JP H0373936 U JPH0373936 U JP H0373936U
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- JP
- Japan
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- mask substrate
- photomask
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案のフオトマスクの実施例を示す
側面図、第２はペリクルを備えたマスクの一般的
な構造を示す図、であつて、 図に於いて、１……マスク基板、２……マスク
・パターン、３……ペリクル、４……ペリクル・
フレーム、５……透明膜、６……フレームの外側
面、７……バーコード、である。
側面図、第２はペリクルを備えたマスクの一般的
な構造を示す図、であつて、 図に於いて、１……マスク基板、２……マスク
・パターン、３……ペリクル、４……ペリクル・
フレーム、５……透明膜、６……フレームの外側
面、７……バーコード、である。
補正 平２．２．７
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書の第６頁第１６行、「第２は」を「第２
図は」と訂正する。
図は」と訂正する。
Claims (1)
- 投影露光用のフオトマスクであつて、マスク基
板１上に設けられたペリクル・フレーム４の、前
記マスク基板面に対し垂直な外側面６にバーコー
ド７が設けられて成ることを特徴とするフオトマ
スク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13431389U JPH0373936U (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13431389U JPH0373936U (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373936U true JPH0373936U (ja) | 1991-07-25 |
Family
ID=31681658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13431389U Pending JPH0373936U (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0373936U (ja) |
-
1989
- 1989-11-17 JP JP13431389U patent/JPH0373936U/ja active Pending