JPH045836B2 - - Google Patents
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- JPH045836B2 JPH045836B2 JP62165042A JP16504287A JPH045836B2 JP H045836 B2 JPH045836 B2 JP H045836B2 JP 62165042 A JP62165042 A JP 62165042A JP 16504287 A JP16504287 A JP 16504287A JP H045836 B2 JPH045836 B2 JP H045836B2
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- Japan
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- air
- discharge port
- rotor chamber
- rotor
- pressure
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
- F04C29/042—Heating; Cooling; Heat insulation by injecting a fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、スクリユロータを用いたオイルフリ
ー式のスクリユ式真空ポンプに関するものであ
る。
ー式のスクリユ式真空ポンプに関するものであ
る。
（従来の技術）
従来、スクリユ式真空ポンプ、特に半導体の製
造部門、食品産業関係（例えば真空パツク）等、
不純物の混入、においの発生をきらう分野に適し
たオイルフリースクリユ式真空ポンプが公知であ
る。
造部門、食品産業関係（例えば真空パツク）等、
不純物の混入、においの発生をきらう分野に適し
たオイルフリースクリユ式真空ポンプが公知であ
る。
そして、この真空ポンプの場合、基本的に圧縮
機と共通した構造を有するが、取扱うガスが低圧
であるため、吸込ガスと吐出ガスの圧力比が大き
くなりガスの断熱圧縮に伴う温度上昇が非常に大
きくなる傾向にある。すなわち、吸込圧をＰ１、
吐出圧をＰ２、吸込ガス温度をTs（〓）、吐出ガ
ス温度をTd（〓）、比熱比をκ（空気の場合はκ＝
1.4）とすると、断熱圧縮の場合のTdは大略次式
で表わされる。
機と共通した構造を有するが、取扱うガスが低圧
であるため、吸込ガスと吐出ガスの圧力比が大き
くなりガスの断熱圧縮に伴う温度上昇が非常に大
きくなる傾向にある。すなわち、吸込圧をＰ１、
吐出圧をＰ２、吸込ガス温度をTs（〓）、吐出ガ
ス温度をTd（〓）、比熱比をκ（空気の場合はκ＝
1.4）とすると、断熱圧縮の場合のTdは大略次式
で表わされる。
Td＝Ts・（P2／P1）(〓-1)/〓
このため、真空ポンプのように吸込圧力が
10-2Torrあるいは10-3Torrレベルまで下がつて
くると、圧縮比γ＝P2／P1が非常に大きくなり、
これに伴つて吐出温度Tdが非常に大きくなると
いう問題がある。
10-2Torrあるいは10-3Torrレベルまで下がつて
くると、圧縮比γ＝P2／P1が非常に大きくなり、
これに伴つて吐出温度Tdが非常に大きくなると
いう問題がある。
そこで、本願出願人は、この問題を解決するた
めに、「ポンプ本体の、常時ガス閉込み状態にあ
り、吸込口および吐出口とは連通することがない
ロータ室内の空間に面したロータ室壁部に大気に
連通する空気噴射孔を穿設して形成した」スクリ
ユ式真空ポンプを提案した（特開昭62−82295号
公報）。
めに、「ポンプ本体の、常時ガス閉込み状態にあ
り、吸込口および吐出口とは連通することがない
ロータ室内の空間に面したロータ室壁部に大気に
連通する空気噴射孔を穿設して形成した」スクリ
ユ式真空ポンプを提案した（特開昭62−82295号
公報）。
そして、この空気噴射孔よりロータ室内に冷却
空気すなわち大気を導いて、圧縮ガスを冷却する
ことにより吐出温度を低下させるようにした。
空気すなわち大気を導いて、圧縮ガスを冷却する
ことにより吐出温度を低下させるようにした。
（発明が解決しようとする問題点）
上位空気噴射孔を形成したスクリユ式真空ポン
プでは、ガス圧縮中の空間に、さらに空気を流入
させるものであるため、ロータの歯形間途中の圧
力が上り、この圧力上昇によつてポンプ本体の吸
込口側へのガスの漏れ量を増大させる結果とな
り、到達真空度が悪くなるという問題がある。
プでは、ガス圧縮中の空間に、さらに空気を流入
させるものであるため、ロータの歯形間途中の圧
力が上り、この圧力上昇によつてポンプ本体の吸
込口側へのガスの漏れ量を増大させる結果とな
り、到達真空度が悪くなるという問題がある。
ここで、到達真空度とは、吸込口を盲板により
完全に外部としや断した状態で運転した場合に達
成出来る吸込口での真空度をいう。
完全に外部としや断した状態で運転した場合に達
成出来る吸込口での真空度をいう。
（問題点を解決するための手段）
上記従来の問題点を解決するために、本発明
は、互いに噛み合う雌雄一対のスクリユロータ
と、一方が吸込口に、他方が吐出口に開口したロ
ータ室を有し、このロータ室内にスクリユロータ
を回転可能に収納したケーシングとからなるオイ
ルフリースクリユ式真空ポンプにおいて、上記吐
出口に連通し、平均圧力が吐出口におけるよりも
低いロータ室内の位置に面したロータ室壁部に大
気に連通するガス導入孔を穿設して形成した。
は、互いに噛み合う雌雄一対のスクリユロータ
と、一方が吸込口に、他方が吐出口に開口したロ
ータ室を有し、このロータ室内にスクリユロータ
を回転可能に収納したケーシングとからなるオイ
ルフリースクリユ式真空ポンプにおいて、上記吐
出口に連通し、平均圧力が吐出口におけるよりも
低いロータ室内の位置に面したロータ室壁部に大
気に連通するガス導入孔を穿設して形成した。
（実施例）
次に、本発明の一実施例を図面にしたがつて説
明する。
明する。
第１図、第２図は、本発明に係るオイルフリー
スクリユ式真空ポンプを示し、互いに噛み合う雌
雄一対のスクリユロータ１，２と、一方が吸込口
３に、他方が吐出口４に開口したロータ室５を有
し、このロータ室５内にスクリユロータ１，２を
回転可能に収納したケーシング６とからなつてい
る。
スクリユ式真空ポンプを示し、互いに噛み合う雌
雄一対のスクリユロータ１，２と、一方が吸込口
３に、他方が吐出口４に開口したロータ室５を有
し、このロータ室５内にスクリユロータ１，２を
回転可能に収納したケーシング６とからなつてい
る。
さらに、この真空ポンプでは、吐出口４に連通
し、平均圧力が吐出口４におけるよりも低いロー
タ室５内の位置に面したロータ室壁部に大気に連
通するガス導入孔７が穿設してある。
し、平均圧力が吐出口４におけるよりも低いロー
タ室５内の位置に面したロータ室壁部に大気に連
通するガス導入孔７が穿設してある。
具体的には、上記ロータ室５内の位置とは第３
図に示すようにスクリユロータ１，２の歯溝部の
吐出口側の境界線が、丁度吐出ポート８に達した
状態におけるハツチングを施した一連の歯溝部
９，１０が存在する位置をいう。
図に示すようにスクリユロータ１，２の歯溝部の
吐出口側の境界線が、丁度吐出ポート８に達した
状態におけるハツチングを施した一連の歯溝部
９，１０が存在する位置をいう。
そこで、上記ガス導入孔７の位置をＡ点とする
一方、これより吸込口３側にＢ，Ｃ点をこの順序
で適宜定め、空気導入位置がＡ，Ｂ，Ｃの各点の
場合について考察する。
一方、これより吸込口３側にＢ，Ｃ点をこの順序
で適宜定め、空気導入位置がＡ，Ｂ，Ｃの各点の
場合について考察する。
Ａ，Ｂ，Ｃ点のいずれについても、歯溝内に空
気を入れると、その量に応じて、空気流入位置
（歯溝部）の圧力が上昇する。このため、各歯溝
部から吸込口３内のＸ点への空気の漏れ量も多く
なり、この冷却のための空気を流入させない場合
に比べて到達真空度は悪くなる。
気を入れると、その量に応じて、空気流入位置
（歯溝部）の圧力が上昇する。このため、各歯溝
部から吸込口３内のＸ点への空気の漏れ量も多く
なり、この冷却のための空気を流入させない場合
に比べて到達真空度は悪くなる。
しかし、明らかなように、空気をＡ点にて流入
させる方がＣ点にて流入させるよりＸ点に至るま
でのシール箇所が多いため、Ｘ点への空気の漏れ
は少なくなり到達真空度が向上する。
させる方がＣ点にて流入させるよりＸ点に至るま
でのシール箇所が多いため、Ｘ点への空気の漏れ
は少なくなり到達真空度が向上する。
また、第４図（横軸：ロータの吐出口側の端面
を基準としたロータ軸方向位置Ｌ、縦軸：圧力
（Torr））に示すロータ室内外の圧力分布曲線よ
り明らかなように、ガス導入孔７が連通するハツ
チング部分（第４図中ΔLの部分）の圧力は大気
圧より低く、冷却用空気の流入が可能となつてい
る。
を基準としたロータ軸方向位置Ｌ、縦軸：圧力
（Torr））に示すロータ室内外の圧力分布曲線よ
り明らかなように、ガス導入孔７が連通するハツ
チング部分（第４図中ΔLの部分）の圧力は大気
圧より低く、冷却用空気の流入が可能となつてい
る。
なお、図中Ｐ３は吐出直前圧力で、内部圧力比
をπiとするとP3＝P1×πiの関係にあり、内部圧
力比πiはケーシング６に加工された上記吐出ポー
ト８の大きさにより一義的に決まる値である。
をπiとするとP3＝P1×πiの関係にあり、内部圧
力比πiはケーシング６に加工された上記吐出ポー
ト８の大きさにより一義的に決まる値である。
例えば、P1＝５×10-2Torr、πi＝10とすれば、
理論上P3＝0.5Torrとなる。
理論上P3＝0.5Torrとなる。
現実には、歯溝部が大気に連通した状態で、
760Torrの空気がハツチング部に流入して来て、
圧力はＰ３＞Ｐ１・πiとなるが、この場合でも吐
出直前圧力Ｐ３は大気圧よりかなり低いところで
バランスするので空気は流入する。
760Torrの空気がハツチング部に流入して来て、
圧力はＰ３＞Ｐ１・πiとなるが、この場合でも吐
出直前圧力Ｐ３は大気圧よりかなり低いところで
バランスするので空気は流入する。
したがつて、上記ガス導入孔７は空気の自然流
入を引起す範囲において、出来るだけ吸込口３よ
り離して、吸込口３への空気の漏れを少なくする
ものである。
入を引起す範囲において、出来るだけ吸込口３よ
り離して、吸込口３への空気の漏れを少なくする
ものである。
また、第５図〜第７図（横軸：歯溝部の容積
Ｖ、縦軸：歯溝部内圧力Ｐ）は真空ポンプのPV
線図で、図中ハツチング部（クロスハツチング部
を含む）が所要動力を示す。そして、第５図が冷
却用の空気流入を一切行わない場合を示すのに対
して、第６図がＡ点、第７図がＢ点にて空気流入
させた場合（第６，７図中Ａ，Ｂ点におけるガス
溶積をVA，VBで示す。）を示す（Ｃ点の場合もＢ
点と同様ゆえ省略する。）。
Ｖ、縦軸：歯溝部内圧力Ｐ）は真空ポンプのPV
線図で、図中ハツチング部（クロスハツチング部
を含む）が所要動力を示す。そして、第５図が冷
却用の空気流入を一切行わない場合を示すのに対
して、第６図がＡ点、第７図がＢ点にて空気流入
させた場合（第６，７図中Ａ，Ｂ点におけるガス
溶積をVA，VBで示す。）を示す（Ｃ点の場合もＢ
点と同様ゆえ省略する。）。
図中クロスハツチング部が空気流入による所要
動力の増加分を示し、明らかに吐出口４に近い部
分にて空気流入させる方が増加動力は小さくな
る。
動力の増加分を示し、明らかに吐出口４に近い部
分にて空気流入させる方が増加動力は小さくな
る。
なお、上記実施例ではガス導入孔７は雄ロータ
２側にのみ設けたものを示したが本発明はこれに
限るものでなく、両ロータ側に設けてもよく、あ
るいは単数でなく複数設けてもよい。
２側にのみ設けたものを示したが本発明はこれに
限るものでなく、両ロータ側に設けてもよく、あ
るいは単数でなく複数設けてもよい。
また、ガス導入孔から流入させるガスは空気に
限らず用途に応じて他のガスを用いてもよい。
限らず用途に応じて他のガスを用いてもよい。
（発明の効果）
以上の説明より明らかなように、本発明によれ
ば、吐出口に連通し、平均圧力が吐出口における
よりも低いロータ室内の位置に面したロータ室壁
部に大気に連通するガス導入孔を穿設して形成し
てある。
ば、吐出口に連通し、平均圧力が吐出口における
よりも低いロータ室内の位置に面したロータ室壁
部に大気に連通するガス導入孔を穿設して形成し
てある。
このため、スクリユ形式の特徴を真空ポンプに
有効に生かして別途装置を設けることなく、ロー
タ室内に冷却用の空気を供給して吐出温度を下げ
るとともに、吸込口側への空気漏れの減少による
到達真空度の向上が可能となる。
有効に生かして別途装置を設けることなく、ロー
タ室内に冷却用の空気を供給して吐出温度を下げ
るとともに、吸込口側への空気漏れの減少による
到達真空度の向上が可能となる。
また、吐出温度を下げることによる所要動力の
増加を最小にすることが出来る。
増加を最小にすることが出来る。
さらに、メタノール、アセトン等の爆発性ガス
を吸引する場合には、上記ガス導入孔から空気の
代わりにN2ガス等を流入させて、吐出温度を低
下させるという本来の目的の他に爆発防止も出来
る等の効果を奏する。
を吸引する場合には、上記ガス導入孔から空気の
代わりにN2ガス等を流入させて、吐出温度を低
下させるという本来の目的の他に爆発防止も出来
る等の効果を奏する。
第１図は本発明に係るスクリユ式真空ポンプの
縦断面図、第２図は第１図の−線断面図、第
３図は第１図に示す装置の吐出ポートとスクリユ
ロータとの関係を示す平面図、第４図はロータ室
内外の圧力分布を示す図、第５図、第６図、第７
図は真空ポンプの一般的なPV線図である。 １，２……スクリユロータ、３……吸込口、４
……吐出口、５……ロータ室、６……ケーシン
グ、７……ガス導入孔。
縦断面図、第２図は第１図の−線断面図、第
３図は第１図に示す装置の吐出ポートとスクリユ
ロータとの関係を示す平面図、第４図はロータ室
内外の圧力分布を示す図、第５図、第６図、第７
図は真空ポンプの一般的なPV線図である。 １，２……スクリユロータ、３……吸込口、４
……吐出口、５……ロータ室、６……ケーシン
グ、７……ガス導入孔。
Claims (1)
- １ 互いに噛み合う雌雄一対のスクリユロータ
と、一方が吸込口に、他方が吐出口に開口したロ
ータ室を有し、このロータ室内にスクリユロータ
を回転可能に収納したケーシングとからなるオイ
ルフリースクリユ式真空ポンプにおいて、上記吐
出口に連通し、平均圧力が吐出口におけるよりも
低いロータ室内の位置に面したロータ室壁部に大
気に連通するガス導入孔を穿設して形成したこと
を特徴とするスクリユ式真空ポンプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62165042A JPS6412092A (en) | 1987-07-01 | 1987-07-01 | Vacuum pump of screw type |
| US07/108,702 US4808095A (en) | 1987-07-01 | 1987-10-15 | Screw vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62165042A JPS6412092A (en) | 1987-07-01 | 1987-07-01 | Vacuum pump of screw type |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412092A JPS6412092A (en) | 1989-01-17 |
| JPH045836B2 true JPH045836B2 (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=15804731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62165042A Granted JPS6412092A (en) | 1987-07-01 | 1987-07-01 | Vacuum pump of screw type |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4808095A (ja) |
| JP (1) | JPS6412092A (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2515831B2 (ja) * | 1987-12-18 | 1996-07-10 | 株式会社日立製作所 | スクリユ―真空ポンプ |
| DE19724643A1 (de) * | 1997-06-11 | 1998-12-17 | Sihi Gmbh & Co Kg | Schraubenverdichter und Verfahren zum Betrieb desselben |
| KR100408153B1 (ko) * | 2001-08-14 | 2003-12-01 | 주식회사 우성진공 | 드라이 진공펌프 |
| DE102009017887A1 (de) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Grobpumpverfahren für eine Verdrängerpumpe |
| ITPR20090054A1 (it) * | 2009-07-10 | 2011-01-11 | Robuschi S P A | Compressore a vite a secco |
| BE1022302B1 (nl) * | 2014-09-10 | 2016-03-14 | ATLAS COPCO AIRPOWER , naamloze vennootschap | Schroefcompressorelement |
| CN104500400B (zh) * | 2014-10-20 | 2016-08-17 | 西安交通大学 | 一种螺杆压缩机气缸的窄缝状喷液结构 |
| US10975867B2 (en) | 2015-10-30 | 2021-04-13 | Gardner Denver, Inc. | Complex screw rotors |
| CN106089725B (zh) * | 2016-08-11 | 2018-06-26 | 四川行之智汇知识产权运营有限公司 | 用于检测消音效果的增压装置 |
| CN106089721B (zh) * | 2016-08-11 | 2018-06-26 | 四川行之智汇知识产权运营有限公司 | 发动机降噪元件的质检系统 |
| CN106089727A (zh) * | 2016-08-11 | 2016-11-09 | 成都陵川常友汽车部件制造有限公司 | 用于沙漠越野车的消音系统检测设备 |
| CN106089722A (zh) * | 2016-08-11 | 2016-11-09 | 成都陵川常友汽车部件制造有限公司 | 汽车发动机用的消音管检测设备 |
| CN106089720B (zh) * | 2016-08-11 | 2018-06-26 | 四川行之智汇知识产权运营有限公司 | 阻性消音器气密性的检查装置 |
| GB2606223A (en) * | 2021-04-30 | 2022-11-02 | Edwards Ltd | Stator for a vacuum pump |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US958345A (en) * | 1910-01-22 | 1910-05-17 | Connersville Blower Co | Vacuum-pump. |
| US1191423A (en) * | 1913-01-15 | 1916-07-18 | H & S Pump Company | Pump. |
| US3112869A (en) * | 1960-10-17 | 1963-12-03 | Willis A Aschoff | High vacuum pump |
| GB1172993A (en) * | 1966-02-23 | 1969-12-03 | Plessey Co Ltd | Improvements in or relating to Rotary-Positive Displacement Machines |
| GB1269628A (en) * | 1968-04-19 | 1972-04-06 | Plenty & Son Ltd | Improvements in and relating to inter-meshing screw pumps |
| US4005949A (en) * | 1974-10-10 | 1977-02-01 | Vilter Manufacturing Corporation | Variable capacity rotary screw compressor |
| FR2383335A1 (fr) * | 1977-03-08 | 1978-10-06 | Leybold Heraeus Sogev | Pompe mecanique a joint d'huile |
| JPS5468510A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Kobe Steel Ltd | Gas leak preventive method for self-lubricating screw compressor |
| JPS5675994A (en) * | 1979-11-21 | 1981-06-23 | Hitachi Ltd | Multieffect screw compressor |
| JPS5759920A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-10 | Hiroaki Egawa | Photocrosslinkable resin composition |
| DE3312117A1 (de) * | 1983-04-02 | 1984-10-04 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Zweiwellen-vakuumpumpe mit innerer verdichtung |
| EP0166851B1 (en) * | 1984-04-11 | 1989-09-20 | Hitachi, Ltd. | Screw type vacuum pump |
| JPS61265381A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Hitachi Ltd | スクリユ−圧縮機のガス噴射装置 |
| JPH0756276B2 (ja) * | 1985-10-07 | 1995-06-14 | 株式会社神戸製鋼所 | オイルフリー形スクリュ式真空ポンプ |
| JPS6336085A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-16 | Taiko Kikai Kogyo Kk | スクリユウ型真空ポンプ |
| JPH01202413A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-15 | Dainippon Ink & Chem Inc | 射出成形品の仕上げ方法 |
-
1987
- 1987-07-01 JP JP62165042A patent/JPS6412092A/ja active Granted
- 1987-10-15 US US07/108,702 patent/US4808095A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6412092A (en) | 1989-01-17 |
| US4808095A (en) | 1989-02-28 |
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