JPH0459561B2 - - Google Patents
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- JPH0459561B2 JPH0459561B2 JP20607781A JP20607781A JPH0459561B2 JP H0459561 B2 JPH0459561 B2 JP H0459561B2 JP 20607781 A JP20607781 A JP 20607781A JP 20607781 A JP20607781 A JP 20607781A JP H0459561 B2 JPH0459561 B2 JP H0459561B2
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 22
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 20
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、明暗境界を有するターゲツトの光
学像を光電変換によりイメージデイセクタ管のア
パーチヤ面に電子像として結像させ、この電子像
をアパーチヤ面の一定位置に形成するため、電子
ビームを偏向させる偏向コイルに流す偏向コイル
電流に基づき、被測定物体の変位を測定する非接
触光電式変位計の感度設定を行うライトテスト機
構に関する。
学像を光電変換によりイメージデイセクタ管のア
パーチヤ面に電子像として結像させ、この電子像
をアパーチヤ面の一定位置に形成するため、電子
ビームを偏向させる偏向コイルに流す偏向コイル
電流に基づき、被測定物体の変位を測定する非接
触光電式変位計の感度設定を行うライトテスト機
構に関する。
明暗境界を有するターゲツトから放射される光
を受光し、被測定物体の変位を測定する、この種
の光電式変位計は周知である。
を受光し、被測定物体の変位を測定する、この種
の光電式変位計は周知である。
このような光電式変位計では、変位測定を行う
前に、対象物体の照準、カメラレンズ系による倍
率設定等の外に、ターゲツトの明るい部分と暗い
部分の受光感度を初期設定する必要がある。この
ような明暗の初期設定をライトテストと言い、従
来は次のような手順で行つていた。
前に、対象物体の照準、カメラレンズ系による倍
率設定等の外に、ターゲツトの明るい部分と暗い
部分の受光感度を初期設定する必要がある。この
ような明暗の初期設定をライトテストと言い、従
来は次のような手順で行つていた。
即ち、最初光電式変位計のカメラレンズを非透
光性の物体で覆つて、暗い受光状態にする。この
状態でイメージデイセクタ管に後続する初段増幅
器（イメージデイセクタ管の電子増倍管からの出
力電流を電圧に変換する電流電圧変換増幅器）の
出力信号レベルを所定値（下限値）に調節する。
次いで、変位計のカメラを移動させるか、あるい
はターゲツトの暗部を取り除いて、明るい受光状
態にする。この状態で初段増幅器の出力信号が所
定値（前記下限値より大きい上限値）となるよう
に、イメージデイセクタ管の電子増倍部に印加す
る高電圧を調節する。そして、必要とあれば、上
記の両方の操作を更に繰り返す。このようなライ
トテスト操作は測定精度にも影響を及ぼすため測
定前に必ず実施しておく必要がある。
光性の物体で覆つて、暗い受光状態にする。この
状態でイメージデイセクタ管に後続する初段増幅
器（イメージデイセクタ管の電子増倍管からの出
力電流を電圧に変換する電流電圧変換増幅器）の
出力信号レベルを所定値（下限値）に調節する。
次いで、変位計のカメラを移動させるか、あるい
はターゲツトの暗部を取り除いて、明るい受光状
態にする。この状態で初段増幅器の出力信号が所
定値（前記下限値より大きい上限値）となるよう
に、イメージデイセクタ管の電子増倍部に印加す
る高電圧を調節する。そして、必要とあれば、上
記の両方の操作を更に繰り返す。このようなライ
トテスト操作は測定精度にも影響を及ぼすため測
定前に必ず実施しておく必要がある。
実際のライトテストモードでは、暗い受光状態
での出力信号のレベル調節は、作製時あるいは保
守時に調節するとそれ以後では余り変化しないこ
とが知られている。従つて、明るい受光状態の調
節が極めて大切である。
での出力信号のレベル調節は、作製時あるいは保
守時に調節するとそれ以後では余り変化しないこ
とが知られている。従つて、明るい受光状態の調
節が極めて大切である。
従来より一般的に行われているライトテスト
は、明暗境界を有するターゲツトが被測定物の表
面に被着されているため、ターゲツトを任意に移
動させることができず、通常カメラ部を移動させ
て明るい受光状態にして初期設定を行う必要があ
つた。しかしながら、非接触光電式変位計ではカ
メラレンズ系の調節を変更する必要があり、この
変更は信頼性や再現性の点でデーラを収集するの
に望ましいことではない。更に、このような手動
操作によるライトテストは頻繁に行う必要があ
り、個人差も出やすく、迅速かつ正確な測定を困
難にする欠点があつた。
は、明暗境界を有するターゲツトが被測定物の表
面に被着されているため、ターゲツトを任意に移
動させることができず、通常カメラ部を移動させ
て明るい受光状態にして初期設定を行う必要があ
つた。しかしながら、非接触光電式変位計ではカ
メラレンズ系の調節を変更する必要があり、この
変更は信頼性や再現性の点でデーラを収集するの
に望ましいことではない。更に、このような手動
操作によるライトテストは頻繁に行う必要があ
り、個人差も出やすく、迅速かつ正確な測定を困
難にする欠点があつた。
それ故、この発明の課題は、ライトテストを自
動的に、しかも迅速かつ正確に行うことができ
て、個人差の介在する余地のない非接触光電式変
位計の受光系のためのライトテスト機構を提供す
ることにある。
動的に、しかも迅速かつ正確に行うことができ
て、個人差の介在する余地のない非接触光電式変
位計の受光系のためのライトテスト機構を提供す
ることにある。
〔課題を解決する手段〕
上記の課題は、この発明により、明暗境界を有
するターゲツトの光学像を光電変換によりイメー
ジデイセクタ管のアパーチヤ面に電子像として結
像させ、この電子像をアパーチヤ面の一定位置に
形成するため、電子ビームを偏向させる偏向コイ
ルに流す偏向コイル電流に基づき、被測定物体の
変位を測定する非接触光電式変位計の感度設定を
行うライトテスト機構の場合、 偏向コイル４に接続するコイル駆動回路５と、
イメージデイセクタ管２の電子増倍部に高圧直流
電圧を加える高電圧回路１０と、開口度を電動制
御でき、イメージデイセクタ管２の受光部の前に
設置される絞り装置１３に通じる絞り駆動回路１
５と、ターゲツト１を照明する照明ランプ１６用
の照明電源１２とに、電算機からのデジタル制御
信号をアナログ制御信号に変換するそれぞれ１個
のデジタル・アナログ変換器６，９，１１，１４
が接続され、 イメージデイセクタ管２の出力端を順次初段増
幅器７とアナログ・デジタル変換器８を介して前
記電算機CPUに接続し、 ライトテストモードの時、前記電算機CPUの
指令により、ターゲツト１の明るい部分のみに相
当する電子像がアパーチヤ面２ａのアパーチヤを
通過するように偏向コイル４に所定の偏向電流を
流し、 この受光状態の下でイメージデイセクタ管２と
後続する初段増幅器７から成る受光検出系の出力
信号レベルを所定値に設定するように、前記電算
機CPUが前記アナログデジタル変換器８の入力
値に基づき、前記デジタル・アナログ変換器９，
１１，１４の一つまたはそれ以上の変換器に制御
出力信号を送ることによつて解決されている。
するターゲツトの光学像を光電変換によりイメー
ジデイセクタ管のアパーチヤ面に電子像として結
像させ、この電子像をアパーチヤ面の一定位置に
形成するため、電子ビームを偏向させる偏向コイ
ルに流す偏向コイル電流に基づき、被測定物体の
変位を測定する非接触光電式変位計の感度設定を
行うライトテスト機構の場合、 偏向コイル４に接続するコイル駆動回路５と、
イメージデイセクタ管２の電子増倍部に高圧直流
電圧を加える高電圧回路１０と、開口度を電動制
御でき、イメージデイセクタ管２の受光部の前に
設置される絞り装置１３に通じる絞り駆動回路１
５と、ターゲツト１を照明する照明ランプ１６用
の照明電源１２とに、電算機からのデジタル制御
信号をアナログ制御信号に変換するそれぞれ１個
のデジタル・アナログ変換器６，９，１１，１４
が接続され、 イメージデイセクタ管２の出力端を順次初段増
幅器７とアナログ・デジタル変換器８を介して前
記電算機CPUに接続し、 ライトテストモードの時、前記電算機CPUの
指令により、ターゲツト１の明るい部分のみに相
当する電子像がアパーチヤ面２ａのアパーチヤを
通過するように偏向コイル４に所定の偏向電流を
流し、 この受光状態の下でイメージデイセクタ管２と
後続する初段増幅器７から成る受光検出系の出力
信号レベルを所定値に設定するように、前記電算
機CPUが前記アナログデジタル変換器８の入力
値に基づき、前記デジタル・アナログ変換器９，
１１，１４の一つまたはそれ以上の変換器に制御
出力信号を送ることによつて解決されている。
以下、この発明の実施例を示す添付図面を参照
しながらこの発明を詳しく説明する。
しながらこの発明を詳しく説明する。
添付図面は、この発明による非接触光電式変位
計の要部およびライトテスト機構のブロツク図を
示す。明暗境界を有するターゲツト１から放射さ
れた光はイメージデイセクタ管２に入り、光電変
換面により光電子に変換され後、イメージデイセ
クタ管２の電子増倍部で電子増倍される。この変
位計では、周知のように、ターゲツトの光学像を
光電変換面上にカメラレンズ系（図示せず）で結
像し、この光電変換面から発生した光電子を円筒
電極部（ドリフトチユーブとも言う）を経由して
アパーチヤ面２ａに電子像として結像させる。そ
の場合、ターゲツト１が矢印３のように変位して
も、光電変換面とアパーチヤ面２ａとの間の円筒
電極部に配設された偏向コイル４に所要の帰還電
流を流して、ターゲツト１の電子像の明暗境界位
置が常時一定になるように維持し、このコイル帰
還電流値に応じてターゲツト１の変位を読み取つ
ている。
計の要部およびライトテスト機構のブロツク図を
示す。明暗境界を有するターゲツト１から放射さ
れた光はイメージデイセクタ管２に入り、光電変
換面により光電子に変換され後、イメージデイセ
クタ管２の電子増倍部で電子増倍される。この変
位計では、周知のように、ターゲツトの光学像を
光電変換面上にカメラレンズ系（図示せず）で結
像し、この光電変換面から発生した光電子を円筒
電極部（ドリフトチユーブとも言う）を経由して
アパーチヤ面２ａに電子像として結像させる。そ
の場合、ターゲツト１が矢印３のように変位して
も、光電変換面とアパーチヤ面２ａとの間の円筒
電極部に配設された偏向コイル４に所要の帰還電
流を流して、ターゲツト１の電子像の明暗境界位
置が常時一定になるように維持し、このコイル帰
還電流値に応じてターゲツト１の変位を読み取つ
ている。
この発明によるライトテスト機構の構成および
その動作は次の通りである。
その動作は次の通りである。
ターゲツト１の明るい部分のみをアパーチヤ面
２ａに取り入れるため、偏向コイル４に所要のコ
イル電流を流す必要がある。そのため、中央処理
装置CPUからデジタル・アナログ変換器６を介
してコイル駆動回路５に前記所要電流値に相当す
る制御信号を導入する。このコイル電流が徐々に
変化すると、ターゲツトの明暗境界が次第に移動
し、最終的に明るい受光状態を実現させる。この
状態でのイメージデイセクタ管２の電子増倍部の
出力電流を初段増幅器７ならびにアナログ・デジ
タル変換器８を介して出力信号として中央処理装
置CPUに導入する。
２ａに取り入れるため、偏向コイル４に所要のコ
イル電流を流す必要がある。そのため、中央処理
装置CPUからデジタル・アナログ変換器６を介
してコイル駆動回路５に前記所要電流値に相当す
る制御信号を導入する。このコイル電流が徐々に
変化すると、ターゲツトの明暗境界が次第に移動
し、最終的に明るい受光状態を実現させる。この
状態でのイメージデイセクタ管２の電子増倍部の
出力電流を初段増幅器７ならびにアナログ・デジ
タル変換器８を介して出力信号として中央処理装
置CPUに導入する。
中央処理装置CPUは、この場合の最大出力電
流値を判断し、そして最大電流に相当する信号値
をホールドする。更に、中央処理装置CPUは基
準光量に相当する初段増幅器７の所定の出力上限
値が得られるようにデジタル・アナログ変換器９
を介して電子増倍部の多段電極に印加する高電圧
電源１０を制御する。
流値を判断し、そして最大電流に相当する信号値
をホールドする。更に、中央処理装置CPUは基
準光量に相当する初段増幅器７の所定の出力上限
値が得られるようにデジタル・アナログ変換器９
を介して電子増倍部の多段電極に印加する高電圧
電源１０を制御する。
これと同時に、または独立して、他のデジタ
ル・アナログ変換器１１を介してターゲツト１を
照明する光源用の照明電源１２を制御し、基準光
量に相当する初段増幅器７の所定の出力上限値を
得るように調節することができる。
ル・アナログ変換器１１を介してターゲツト１を
照明する光源用の照明電源１２を制御し、基準光
量に相当する初段増幅器７の所定の出力上限値を
得るように調節することができる。
また、イメージデイセクタ２の前方に開口度を
電動制御できる絞り装置１３を配置し、中央処理
装置CPUからデジタル・アナログ変換器１４と
制御回路１５を介して開口度の調節を行い、イメ
ージデイセクタ２への入射光量を制御し、基準光
量に相当する初段増幅器７の所定の出力上限値を
得ることができる。
電動制御できる絞り装置１３を配置し、中央処理
装置CPUからデジタル・アナログ変換器１４と
制御回路１５を介して開口度の調節を行い、イメ
ージデイセクタ２への入射光量を制御し、基準光
量に相当する初段増幅器７の所定の出力上限値を
得ることができる。
このような構成で中央処理装置CPUをライト
テストモードに切り換えると、最初入射光を遮つ
て暗い受光状態が設定され、初段増幅器７の出力
信号レベルを設定する。次いで、明るい受光状態
の設定に移り、当初ターゲツトの結像を移動させ
るアパーチヤ面２ａの孔を通過する電子に相当す
る光が全て明るい部分であるように、中央処理装
置CPUからデジタル・アナログ変換器６を介し
てコイル駆動回路５にコイル駆動信号が出力され
る。明るい受光状態にある最大出力電流は中央処
理装置CPUによつてホールドされ、更にその後、
基準光量に相当する初段増幅器７の所定の出力上
限値が得られるように、対応するデジタル・アナ
ログ変換器９，１１，１４を介してそれぞれ高電
圧電源１０の印加電圧、照明光源１６の照度およ
び絞り装置１３の開口度の調節が中央処理装置
CPUによつて行われる。その結果、明るい受光
状態の基準光量に相当する初段増幅器７の所定の
出力上限値が得られることになり、受光系のライ
トテストが終了し、測定モードに切り換えること
ができる。
テストモードに切り換えると、最初入射光を遮つ
て暗い受光状態が設定され、初段増幅器７の出力
信号レベルを設定する。次いで、明るい受光状態
の設定に移り、当初ターゲツトの結像を移動させ
るアパーチヤ面２ａの孔を通過する電子に相当す
る光が全て明るい部分であるように、中央処理装
置CPUからデジタル・アナログ変換器６を介し
てコイル駆動回路５にコイル駆動信号が出力され
る。明るい受光状態にある最大出力電流は中央処
理装置CPUによつてホールドされ、更にその後、
基準光量に相当する初段増幅器７の所定の出力上
限値が得られるように、対応するデジタル・アナ
ログ変換器９，１１，１４を介してそれぞれ高電
圧電源１０の印加電圧、照明光源１６の照度およ
び絞り装置１３の開口度の調節が中央処理装置
CPUによつて行われる。その結果、明るい受光
状態の基準光量に相当する初段増幅器７の所定の
出力上限値が得られることになり、受光系のライ
トテストが終了し、測定モードに切り換えること
ができる。
なお、高電圧電源１０の印加電圧、照明光源１
６の照度および絞り装置１３の開口度の制御は、
必ずしも全体を同時に行う必要はなく、殊に照明
光源１６の照度および絞り装置１３の開口度は二
者択一的に制御することも可能である。当然、全
体を組合わせて総合的に制御すれば、迅速、正確
な明るい受光状態での設定が可能である。
６の照度および絞り装置１３の開口度の制御は、
必ずしも全体を同時に行う必要はなく、殊に照明
光源１６の照度および絞り装置１３の開口度は二
者択一的に制御することも可能である。当然、全
体を組合わせて総合的に制御すれば、迅速、正確
な明るい受光状態での設定が可能である。
実施例を示す添付図面に基づき、この発明を開
示したが、この発明の枠内で多くの変形あるいは
改良が可能であることは明白である。しかし、特
許請求の範囲に記載した構成を有する非接触光電
式変位計のライトテスト機構であれば、全てこの
発明の範囲に属することは言うまでもない。
示したが、この発明の枠内で多くの変形あるいは
改良が可能であることは明白である。しかし、特
許請求の範囲に記載した構成を有する非接触光電
式変位計のライトテスト機構であれば、全てこの
発明の範囲に属することは言うまでもない。
この発明によるライトテスト機構を備えた非接
触光電式変位計によつて、変位測定の準備が極め
て容易になり、短時間に個人差のない正確なライ
トテストを終え、直ちに信頼性と再現性の高い変
位測定データが得られる。
触光電式変位計によつて、変位測定の準備が極め
て容易になり、短時間に個人差のない正確なライ
トテストを終え、直ちに信頼性と再現性の高い変
位測定データが得られる。
添付図面は、この発明によるライトテスト機構
を備えた非接触光電式変位計の要部を示すブロツ
ク図である。 図中参照符号：１……ターゲツト、２……電子
増倍部、４……偏向コイル、１０……高圧回路、
１３……絞り、１６……光源、CPU……中央処
理装置。
を備えた非接触光電式変位計の要部を示すブロツ
ク図である。 図中参照符号：１……ターゲツト、２……電子
増倍部、４……偏向コイル、１０……高圧回路、
１３……絞り、１６……光源、CPU……中央処
理装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 明暗境界を有するターゲツトの光学像を光電
変換によりイメージデイセクタ管のアパーチヤ面
に電子像として結像させ、この電子像をアパーチ
ヤ面の一定位置に形成するため、電子ビームを偏
向させる偏向コイルに流す偏向コイル電流に基づ
き、被測定物体の変位を測定する非接触光電式変
位計の感度設定を行うライトテスト機構におい
て、 偏向コイル４に接続するコイル駆動回路５と、
イメージデイセクタ管２の電子増倍部に高圧直流
電圧を加える高電圧回路１０と、開口度を電動制
御でき、イメージデイセクタ管２の受光部の前に
設置される絞り装置１３に通じる絞り駆動回路１
５と、ターゲツト１を照明する照明ランプ１６用
の照明電源１２とに、電算機からのデジタル制御
信号をアナログ制御信号に変換するそれぞれ１個
のデジタル・アナログ変換器６，９，１１，１４
が接続され、 イメージデイセクタ管２の出力端を順次初段増
幅器７とアナログ・デジタル変換器８を介して前
記電算機CPUに接続し、 ライトテストモードの時、前記電算機CPUの
指令により、ターゲツト１の明るい部分のみに相
当する電子像がアパーチヤ面２ａのアパーチヤを
通過するように偏向コイル４に所定の偏向電流を
流し、 この受光状態の下でイメージデイセクタ管２と
後続する初段増幅器７から成る受光検出系の出力
信号レベルを所定値に設定するように、前記電算
機CPUが前記アナログ・デジタル変換器８の入
力値に基づき、前記デジタル・アナログ変換器
９，１１，１４の何れか一つまたはそれ以上の変
換器に制御出力信号を送ることを特徴とするライ
トテスト機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20607781A JPS58108402A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 非接触光学式変位計のライトテスト機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20607781A JPS58108402A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 非接触光学式変位計のライトテスト機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58108402A JPS58108402A (ja) | 1983-06-28 |
| JPH0459561B2 true JPH0459561B2 (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=16517441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20607781A Granted JPS58108402A (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 非接触光学式変位計のライトテスト機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58108402A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2703546B2 (ja) * | 1987-12-29 | 1998-01-26 | 川崎製鉄株式会社 | 荷物載置場所のターゲット認識方法 |
-
1981
- 1981-12-22 JP JP20607781A patent/JPS58108402A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58108402A (ja) | 1983-06-28 |
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