JPH0460689B2 - - Google Patents
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- JPH0460689B2 JPH0460689B2 JP62314659A JP31465987A JPH0460689B2 JP H0460689 B2 JPH0460689 B2 JP H0460689B2 JP 62314659 A JP62314659 A JP 62314659A JP 31465987 A JP31465987 A JP 31465987A JP H0460689 B2 JPH0460689 B2 JP H0460689B2
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- JP
- Japan
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- activated carbon
- pressure
- gas
- solvent
- cooling tower
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この発明は、例えば半導体や電子機器その他の
ワーク洗浄に用いるR113および塩素系溶剤より
発生したガスを回収するような溶剤回収装置に関
する。
ワーク洗浄に用いるR113および塩素系溶剤より
発生したガスを回収するような溶剤回収装置に関
する。
(ロ) 従来の技術
従来、上述例の半導体や電子機器その他の各種
ワークの洗浄には、R113（CCl2FCClF2、化学名
は１，１，２−トリクロル−１，２，２−トリフ
ルオルエタン）や塩素系溶剤等が用いられている
が、R113および塩素系溶剤が洗浄中に溶剤ガス
として大気中に流出し、大気汚染の要因となる。
ワークの洗浄には、R113（CCl2FCClF2、化学名
は１，１，２−トリクロル−１，２，２−トリフ
ルオルエタン）や塩素系溶剤等が用いられている
が、R113および塩素系溶剤が洗浄中に溶剤ガス
として大気中に流出し、大気汚染の要因となる。
このような溶剤ガスの流出を防止し、同溶剤よ
り発生したガスを回収するため、従来においては
活性炭（アクテイブカーボン）による吸着ロータ
を有する活性炭吸着装置などの回収装置が用いら
れていたが、ガス吸着能力が低いため装置が大型
化し、また管理が煩雑なうえ、コスト高となり、
加えてフロン洗浄機とのユニツト化が困難となる
等の諸種の問題点を有していた。
り発生したガスを回収するため、従来においては
活性炭（アクテイブカーボン）による吸着ロータ
を有する活性炭吸着装置などの回収装置が用いら
れていたが、ガス吸着能力が低いため装置が大型
化し、また管理が煩雑なうえ、コスト高となり、
加えてフロン洗浄機とのユニツト化が困難となる
等の諸種の問題点を有していた。
(ハ) 発明の目的
この発明は、ガス吸着時に活性炭層を加圧、冷
却することで、活性炭のガス吸着能力を大幅に向
上させて、装置の小型化を図ると共に、減圧・加
熱により活性炭層から脱離したガスを冷却液化し
て回収再利用することができ、しかも吸気ライン
と高圧活性炭吸着塔との間に圧縮機および高圧冷
却塔を介設することで、濃度の薄いガスでも充分
に回収液化することができる溶剤回収装置の提供
を目的とする。
却することで、活性炭のガス吸着能力を大幅に向
上させて、装置の小型化を図ると共に、減圧・加
熱により活性炭層から脱離したガスを冷却液化し
て回収再利用することができ、しかも吸気ライン
と高圧活性炭吸着塔との間に圧縮機および高圧冷
却塔を介設することで、濃度の薄いガスでも充分
に回収液化することができる溶剤回収装置の提供
を目的とする。
(ニ) 発明の構成
この発明は、フロン等の溶剤を貯溜した溶剤槽
のガス層に、溶剤ガスを吸引する吸気ラインと、
ガス濃度を高化する圧縮機とを介して高圧活性炭
吸着塔を接続し、この高圧活性炭吸着塔内には、
活性炭層と、ガス吸着時に上記活性炭層を冷却
し、かつガス脱離時に活性炭層を加熱するように
同一部材により冷却、加熱の両機能を有する熱交
換器を配設し、上記高圧活性炭吸着塔の次段に
は、内部に蒸発器が配設されガス投入前に減圧さ
れる減圧冷却塔を接続し、さらに上記圧縮機の吐
出側と高圧活性炭吸着塔との間に、高圧冷却塔を
介設し、上記高圧冷却塔内には溶剤より発生した
ガスを高圧下で冷却液化する蒸発器を配設した溶
剤回収装置であることを特徴とする。
のガス層に、溶剤ガスを吸引する吸気ラインと、
ガス濃度を高化する圧縮機とを介して高圧活性炭
吸着塔を接続し、この高圧活性炭吸着塔内には、
活性炭層と、ガス吸着時に上記活性炭層を冷却
し、かつガス脱離時に活性炭層を加熱するように
同一部材により冷却、加熱の両機能を有する熱交
換器を配設し、上記高圧活性炭吸着塔の次段に
は、内部に蒸発器が配設されガス投入前に減圧さ
れる減圧冷却塔を接続し、さらに上記圧縮機の吐
出側と高圧活性炭吸着塔との間に、高圧冷却塔を
介設し、上記高圧冷却塔内には溶剤より発生した
ガスを高圧下で冷却液化する蒸発器を配設した溶
剤回収装置であることを特徴とする。
(ホ) 発明の作用
この発明によれば、溶剤槽から上方に流動して
大気中に流出しようとする溶剤より発生したガス
は、圧縮機の駆動により吸引ラインを介して吸引
され、この圧縮機によりガス濃度が高められた後
に、高圧冷却塔に至る。この高圧冷却塔において
上述のガスは蒸発器の作用により液化されると共
に、未液化のガスは次段の高圧活性炭吸着塔に送
気される。高圧活性炭吸着塔に送気されたガス
は、この加圧作用と、熱交換器の冷却作用との相
乗効果により吸着能力が大幅に向上された活性炭
層に吸着する。
大気中に流出しようとする溶剤より発生したガス
は、圧縮機の駆動により吸引ラインを介して吸引
され、この圧縮機によりガス濃度が高められた後
に、高圧冷却塔に至る。この高圧冷却塔において
上述のガスは蒸発器の作用により液化されると共
に、未液化のガスは次段の高圧活性炭吸着塔に送
気される。高圧活性炭吸着塔に送気されたガス
は、この加圧作用と、熱交換器の冷却作用との相
乗効果により吸着能力が大幅に向上された活性炭
層に吸着する。
活性炭層に吸着処理させたガスは、高圧活性炭
吸着塔内の減圧および熱交換器の加熱作用により
活性炭層より脱離（脱着ともいう）して次段の減
圧冷却塔に至り、この減圧冷却塔内において、蒸
発器の作用で冷却液化される。
吸着塔内の減圧および熱交換器の加熱作用により
活性炭層より脱離（脱着ともいう）して次段の減
圧冷却塔に至り、この減圧冷却塔内において、蒸
発器の作用で冷却液化される。
(ヘ) 発明の効果
このように、ガス吸着時に活性炭層を加圧、冷
却することで、活性炭のガス吸着能力を大幅に向
上させることができるので、装置の小型コンパク
ト化を図ることができ、さらにガス吸着時に活性
炭層を冷却し、ガス脱離時に活性炭層を加熱する
手段は、同一部材の熱交換器により行なうので、
より一層装置を小型コンパクト化することができ
る効果があり、また高圧活性炭吸着塔内の減圧お
よび活性炭層の加熱により該活性炭層から脱離し
たガスを次段の減圧冷却塔で冷却液化して回収再
利用することができる。
却することで、活性炭のガス吸着能力を大幅に向
上させることができるので、装置の小型コンパク
ト化を図ることができ、さらにガス吸着時に活性
炭層を冷却し、ガス脱離時に活性炭層を加熱する
手段は、同一部材の熱交換器により行なうので、
より一層装置を小型コンパクト化することができ
る効果があり、また高圧活性炭吸着塔内の減圧お
よび活性炭層の加熱により該活性炭層から脱離し
たガスを次段の減圧冷却塔で冷却液化して回収再
利用することができる。
したがつて、回収装置全体が小型コンパクトに
なることにより、例えばフロン洗浄装置に対して
容易に取付けて、ユニツト化を図ることができる
のは勿論、溶剤消費量の低減を図ることができ、
また溶剤ガスによる大気汚染を防止することがで
きる効果がある。
なることにより、例えばフロン洗浄装置に対して
容易に取付けて、ユニツト化を図ることができる
のは勿論、溶剤消費量の低減を図ることができ、
また溶剤ガスによる大気汚染を防止することがで
きる効果がある。
加えて、減圧冷却塔に対するガス投入前に、該
減圧冷却塔を前述の圧縮機の吸込み側に連通して
この減圧冷却塔内を減圧するので、塔容積が小さ
くても大量のガスを投入することができるので、
この減圧冷却塔の小容積化を図ることができる効
果がある。
減圧冷却塔を前述の圧縮機の吸込み側に連通して
この減圧冷却塔内を減圧するので、塔容積が小さ
くても大量のガスを投入することができるので、
この減圧冷却塔の小容積化を図ることができる効
果がある。
しかも吸気ラインと高圧活性炭吸着塔との間に
は、圧縮機および高圧冷却塔を介設したので、こ
の圧縮機により回収した溶剤ガスのガス濃度を圧
縮高化することができ、このガスを高圧冷却塔で
冷却液化するので、濃度の薄いガスでも充分に回
収液化することができ、溶剤回収能力の大幅な向
上を図ることができる効果がある。
は、圧縮機および高圧冷却塔を介設したので、こ
の圧縮機により回収した溶剤ガスのガス濃度を圧
縮高化することができ、このガスを高圧冷却塔で
冷却液化するので、濃度の薄いガスでも充分に回
収液化することができ、溶剤回収能力の大幅な向
上を図ることができる効果がある。
(ト) 実施例
この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述
する。
する。
図面は溶剤回収装置を示し、例えば内部に
R113等の溶剤を貯溜したフロン洗浄機１を設け、
このフロン洗浄機１のフロンガス層上部に張架し
た冷却手段（冷却コイルや冷却ジヤケツト等）の
上側部には、溶剤ガスを吸引する吸気ライン２を
接続している。
R113等の溶剤を貯溜したフロン洗浄機１を設け、
このフロン洗浄機１のフロンガス層上部に張架し
た冷却手段（冷却コイルや冷却ジヤケツト等）の
上側部には、溶剤ガスを吸引する吸気ライン２を
接続している。
この吸気ライン２には吸引ガスを圧縮して、ガ
ス濃度を高化する圧縮機３を介して高圧冷却塔４
を接続すると共に、この高圧冷却塔４内の略中央
には、溶剤より発生したガスを高圧（たとえばプ
ラス圧〜５Kg／cm2）下で冷却液化する第１蒸発器
（エバポレータ）５を配設している。
ス濃度を高化する圧縮機３を介して高圧冷却塔４
を接続すると共に、この高圧冷却塔４内の略中央
には、溶剤より発生したガスを高圧（たとえばプ
ラス圧〜５Kg／cm2）下で冷却液化する第１蒸発器
（エバポレータ）５を配設している。
この第１蒸発器５は冷凍サイクルの熱交換器
で、R11，R12，R22等の冷媒を用いる冷凍機に
おいて、圧縮機の吐出側に凝縮器、受液器、液電
磁弁、膨張機構（膨張弁やキヤピラリチユーブ）
を介して上述の第１蒸発器５を接続し、この第１
蒸発器５の後位をアキユームレータを介して圧縮
機に接続して冷凍サイクルを構成する。
で、R11，R12，R22等の冷媒を用いる冷凍機に
おいて、圧縮機の吐出側に凝縮器、受液器、液電
磁弁、膨張機構（膨張弁やキヤピラリチユーブ）
を介して上述の第１蒸発器５を接続し、この第１
蒸発器５の後位をアキユームレータを介して圧縮
機に接続して冷凍サイクルを構成する。
上述の冷凍サイクルは周知の如く、圧縮機の駆
動により、同圧縮機で圧縮され高圧となつた冷媒
が、凝縮器（コンデンサ）に送られ、ここで液化
して受液器（レシーバ）に至つた後に、この高圧
冷媒は液電磁弁を介して膨張機構に導びかれ、こ
の膨張機構で絞り膨張されて低圧となつた冷媒は
上述の第１蒸発器（エバポレータ）５に入り、周
囲より熱を奪つて蒸発して蒸発ガスとなり、アキ
ユムレータを介して再び圧縮機に吸い込まれる。
動により、同圧縮機で圧縮され高圧となつた冷媒
が、凝縮器（コンデンサ）に送られ、ここで液化
して受液器（レシーバ）に至つた後に、この高圧
冷媒は液電磁弁を介して膨張機構に導びかれ、こ
の膨張機構で絞り膨張されて低圧となつた冷媒は
上述の第１蒸発器（エバポレータ）５に入り、周
囲より熱を奪つて蒸発して蒸発ガスとなり、アキ
ユムレータを介して再び圧縮機に吸い込まれる。
前述の高圧冷却塔４の液溶剤貯溜部位としての
底部と、フロン洗浄機１内の蒸溜槽（図示せず）
上部との間には、第１電磁弁６および第１液体ポ
ンプ７を介設した第１リターン路８を接続して、
上述の第１蒸発器５で冷却液化された液溶剤をフ
ロン洗浄機１の所定部に還流すべく構成してい
る。
底部と、フロン洗浄機１内の蒸溜槽（図示せず）
上部との間には、第１電磁弁６および第１液体ポ
ンプ７を介設した第１リターン路８を接続して、
上述の第１蒸発器５で冷却液化された液溶剤をフ
ロン洗浄機１の所定部に還流すべく構成してい
る。
上述の高圧冷却塔４の上部には第１送気管９を
介して高圧活性炭吸着塔１０を接続している。
介して高圧活性炭吸着塔１０を接続している。
この高圧活性炭吸着塔１０の内部中央にはアク
テイブカーボン（activated carbon）による吸着
ロータなどの活性炭層１１……を上下に離間して
複数層例えば合計３層配設し、かつ、これら活性
炭層１１，１１間にはヒートポンプ装置（図示せ
ず）に接続した熱交換器１２，１２を配設してい
る。
テイブカーボン（activated carbon）による吸着
ロータなどの活性炭層１１……を上下に離間して
複数層例えば合計３層配設し、かつ、これら活性
炭層１１，１１間にはヒートポンプ装置（図示せ
ず）に接続した熱交換器１２，１２を配設してい
る。
上述の熱交換器１２，１２は上述のヒートポン
プ装置の四路切換弁（図示せず）等の切換制御
で、ガス吸着時には活性炭層１１，１１を冷却す
るエバポレータ（蒸発器）として作用する一方、
ガス脱離時には活性炭層１１，１１を加熱するコ
ンデンサ（凝縮器）として作用する。このため、
加熱手段と冷却手段とをそれぞれ別々に配設する
必要がなく、同一部材の熱交換器１２により加熱
作用と冷却作用とを奏することができる。
プ装置の四路切換弁（図示せず）等の切換制御
で、ガス吸着時には活性炭層１１，１１を冷却す
るエバポレータ（蒸発器）として作用する一方、
ガス脱離時には活性炭層１１，１１を加熱するコ
ンデンサ（凝縮器）として作用する。このため、
加熱手段と冷却手段とをそれぞれ別々に配設する
必要がなく、同一部材の熱交換器１２により加熱
作用と冷却作用とを奏することができる。
また、前述の高圧活性炭吸着塔１０の上部塔外
には、この高圧活性炭吸着塔１０内を所定高圧に
保持する開閉制御可能な圧力調整弁１３を接続
し、この圧力調整弁１３の設定圧を圧縮機吐出圧
力と対応する圧力に設定している。
には、この高圧活性炭吸着塔１０内を所定高圧に
保持する開閉制御可能な圧力調整弁１３を接続
し、この圧力調整弁１３の設定圧を圧縮機吐出圧
力と対応する圧力に設定している。
この圧力調整弁１３の前位つまり上流側には、
第２電磁弁１４を介設した第２送気管１５を介し
て、減圧冷却塔１６を接続している。
第２電磁弁１４を介設した第２送気管１５を介し
て、減圧冷却塔１６を接続している。
そして、この減圧冷却塔１６の内部の略中央に
は第２蒸発器（エバポレータ）１７を配設する一
方、この減圧冷却塔１６の液溶剤貯溜部位として
の底部と、前述のフロン洗浄機１内の蒸溜槽上部
との間には第３電磁弁１８および第２液体ポンプ
１９を介設した第２リターン路２０を接続して、
上述の蒸発器１７で冷却液化された液溶剤を還流
すべく構成している。
は第２蒸発器（エバポレータ）１７を配設する一
方、この減圧冷却塔１６の液溶剤貯溜部位として
の底部と、前述のフロン洗浄機１内の蒸溜槽上部
との間には第３電磁弁１８および第２液体ポンプ
１９を介設した第２リターン路２０を接続して、
上述の蒸発器１７で冷却液化された液溶剤を還流
すべく構成している。
さらに、上述の減圧冷却塔１６と前述の圧縮機
３の吸込み側との間には、第４電磁弁２１および
逆止弁２２を介設した減圧ライン２３を接続し
て、該減圧冷却塔１６に対するガス投入前に同減
圧冷却塔１６内を負圧に減圧制御することで、こ
の減圧冷却１６の塔容積の小型化を図つている。
３の吸込み側との間には、第４電磁弁２１および
逆止弁２２を介設した減圧ライン２３を接続し
て、該減圧冷却塔１６に対するガス投入前に同減
圧冷却塔１６内を負圧に減圧制御することで、こ
の減圧冷却１６の塔容積の小型化を図つている。
図示実施例は上記の如く構成するものにして、
以下作用を説明する。
以下作用を説明する。
フロン洗浄機１でのワーク洗浄に際して、ワー
クの出し入れにともなつて上方へ流動しようとす
る溶剤より発生したガスは、圧縮機３の駆動によ
り前述の吸気ライン２を介して吸引され、この吸
引ガスは圧縮機３で圧縮されて、ガス濃度が高く
なる。
クの出し入れにともなつて上方へ流動しようとす
る溶剤より発生したガスは、圧縮機３の駆動によ
り前述の吸気ライン２を介して吸引され、この吸
引ガスは圧縮機３で圧縮されて、ガス濃度が高く
なる。
上述の圧縮機３により高濃度化されたガスは高
圧冷却塔４内に流入し、第１蒸発器５の作用によ
つて所定高圧下（例えばプラス圧〜５Kg／cm2）で
冷却液化する。
圧冷却塔４内に流入し、第１蒸発器５の作用によ
つて所定高圧下（例えばプラス圧〜５Kg／cm2）で
冷却液化する。
冷却液化された液溶剤は上述の高圧冷却塔４底
部に貯溜し、第１電磁弁６の開弁および第１液体
ポンプ７の駆動時に第１リターン路８を介してフ
ロン洗浄機１の蒸溜槽に還流され、再利用に供さ
れる。
部に貯溜し、第１電磁弁６の開弁および第１液体
ポンプ７の駆動時に第１リターン路８を介してフ
ロン洗浄機１の蒸溜槽に還流され、再利用に供さ
れる。
上述の第１蒸発器５の作用で液化されない比較
的低濃度のガスは、第１送気管９を介して次段の
高圧活性炭吸着塔１０内に送気される。
的低濃度のガスは、第１送気管９を介して次段の
高圧活性炭吸着塔１０内に送気される。
この高圧活性炭吸着塔１０は、複数の活性炭層
１１に対するガス吸着時に、塔内を前述の圧力調
整弁１３の設定圧に保持すると共に、活性炭層１
１，１１間に介設した熱交換器１２をエバポレー
タとして作用させ、斯る加圧、冷却の両条件によ
り活性体層１１におけるアクテイブカーボンの吸
着能力を大幅に高めるので、前述の低濃度ガスは
その分子がアクテイブカーボンの界面
（interface）部分に高効率で吸着処理される。
１１に対するガス吸着時に、塔内を前述の圧力調
整弁１３の設定圧に保持すると共に、活性炭層１
１，１１間に介設した熱交換器１２をエバポレー
タとして作用させ、斯る加圧、冷却の両条件によ
り活性体層１１におけるアクテイブカーボンの吸
着能力を大幅に高めるので、前述の低濃度ガスは
その分子がアクテイブカーボンの界面
（interface）部分に高効率で吸着処理される。
このようにして活性炭層１１に吸着
（adsorption）されたガス分子を脱離
（desorption）するには、まず圧力調整弁１３を
開弁して高圧活性炭吸着塔１０内を減圧し、次に
圧力調整弁１３を閉弁する。
（adsorption）されたガス分子を脱離
（desorption）するには、まず圧力調整弁１３を
開弁して高圧活性炭吸着塔１０内を減圧し、次に
圧力調整弁１３を閉弁する。
次に減圧ライン２３に介設した第４電磁弁２１
を開弁して圧縮機３の駆動で予め次段の減圧冷却
塔１６内を負圧に減圧処理した後に、第４電磁弁
２１を閉弁する。
を開弁して圧縮機３の駆動で予め次段の減圧冷却
塔１６内を負圧に減圧処理した後に、第４電磁弁
２１を閉弁する。
次に第２送気管１５を介設した第２電磁弁１５
を開弁すると共に、ヒートポンプ装置に接続した
前述の熱交換器１２……を四路切換弁等の切換制
御によりコンデンサとして作用させると、活性炭
層１１……は減圧条件下で加熱されるので、この
活性炭層１１……に吸着した低濃度ガスはアクテ
イブカーボンから脱離し、第２送気管１５を介し
て減圧冷却塔１６内に送気される。
を開弁すると共に、ヒートポンプ装置に接続した
前述の熱交換器１２……を四路切換弁等の切換制
御によりコンデンサとして作用させると、活性炭
層１１……は減圧条件下で加熱されるので、この
活性炭層１１……に吸着した低濃度ガスはアクテ
イブカーボンから脱離し、第２送気管１５を介し
て減圧冷却塔１６内に送気される。
この減圧冷却塔１６内に流入した低濃度ガスは
第２蒸発器１７の作用によつて冷却液化され、冷
却液化された液溶剤は該減圧冷却塔１６底部に貯
溜する。
第２蒸発器１７の作用によつて冷却液化され、冷
却液化された液溶剤は該減圧冷却塔１６底部に貯
溜する。
そして、第３電磁弁１８の開弁および第２液体
ポンプ１９の駆動時に第２リターン路２０を介し
て上述の液溶剤がフロン洗浄機１の蒸溜槽に還流
されて、再利用に供される。
ポンプ１９の駆動時に第２リターン路２０を介し
て上述の液溶剤がフロン洗浄機１の蒸溜槽に還流
されて、再利用に供される。
なお、前述の第１リターン路８と第２リターン
路２０並びに第１液体ポンプ７と第２液体ポンプ
１９とは何れか一方のみに単一化して各塔４，１
６で共用してもよい。
路２０並びに第１液体ポンプ７と第２液体ポンプ
１９とは何れか一方のみに単一化して各塔４，１
６で共用してもよい。
以上要するに、ガス吸着時に活性炭層１１……
を加圧、冷却することで、活性炭のガス吸着能力
を大幅に向上させることができ、この結果、装置
の小型コンパクト化を図ることができ、さらにガ
ス吸着時に活性炭層１１を冷却し、ガス脱離時に
活性炭層１１を加熱する手段は、同一部材の熱交
換器１２により行なうので、より一層装置を小型
コンパクト化することができる効果がある。
を加圧、冷却することで、活性炭のガス吸着能力
を大幅に向上させることができ、この結果、装置
の小型コンパクト化を図ることができ、さらにガ
ス吸着時に活性炭層１１を冷却し、ガス脱離時に
活性炭層１１を加熱する手段は、同一部材の熱交
換器１２により行なうので、より一層装置を小型
コンパクト化することができる効果がある。
また、高圧活性炭吸着塔１０内の減圧および活
性炭層１１……の加熱により該活性炭層１１……
から離脱したガスを次段の減圧冷却塔１６で冷却
液化して回収再利用することができる効果があ
る。
性炭層１１……の加熱により該活性炭層１１……
から離脱したガスを次段の減圧冷却塔１６で冷却
液化して回収再利用することができる効果があ
る。
したがつて、回収装置全体が小型コンパクト化
になることにより、例えばフロン洗浄装置等に対
して回収装置を容易に取付けて、両装置の一体ユ
ニツト化を図ることができるのは勿論、溶剤消費
量の低減を図ることができ、また溶剤ガスによる
大気汚染を防止することができる効果がある。
になることにより、例えばフロン洗浄装置等に対
して回収装置を容易に取付けて、両装置の一体ユ
ニツト化を図ることができるのは勿論、溶剤消費
量の低減を図ることができ、また溶剤ガスによる
大気汚染を防止することができる効果がある。
加えて、減圧冷却塔１６に対するガス投入前
に、該減圧冷却塔１６を前述の圧縮機３の吸込み
側に連通して減圧冷却塔１６内を減圧するので、
この減圧冷却塔１６の塔容積が小さくても大量の
ガスを投入することができ、この減圧冷却塔１６
の小容積化を図ることができる効果がある。
に、該減圧冷却塔１６を前述の圧縮機３の吸込み
側に連通して減圧冷却塔１６内を減圧するので、
この減圧冷却塔１６の塔容積が小さくても大量の
ガスを投入することができ、この減圧冷却塔１６
の小容積化を図ることができる効果がある。
しかも、吸気ライン２と高圧活性炭吸着塔１０
との間に前述の圧縮機３および高圧冷却塔４を介
設したので、次のような効果がある。
との間に前述の圧縮機３および高圧冷却塔４を介
設したので、次のような効果がある。
すなわち、回収した溶剤ガスのガス濃度を圧縮
機３で圧縮高化して、このガスを高圧冷却塔４で
冷却液化することができるので、濃度の薄いガス
でも充分に回収液化することができ、溶剤回収能
力の大幅な向上を図ることができる効果がある。
機３で圧縮高化して、このガスを高圧冷却塔４で
冷却液化することができるので、濃度の薄いガス
でも充分に回収液化することができ、溶剤回収能
力の大幅な向上を図ることができる効果がある。
この発明の構成と、上述の実施例との対応にお
いて、 この発明のフロン等の溶剤を貯溜した溶剤槽
は、実施例のフロン洗浄機１に対応し、 以下同様に、 減圧冷却塔内の蒸発器は、第２蒸発器１７に対
応し、 高圧冷却塔内の蒸発器は、第１蒸発器５に対応
するも、 この発明は、上述の実施例の構成のみに限定さ
れるものではない。
いて、 この発明のフロン等の溶剤を貯溜した溶剤槽
は、実施例のフロン洗浄機１に対応し、 以下同様に、 減圧冷却塔内の蒸発器は、第２蒸発器１７に対
応し、 高圧冷却塔内の蒸発器は、第１蒸発器５に対応
するも、 この発明は、上述の実施例の構成のみに限定さ
れるものではない。
例えば被回収溶剤としては、R113単体の他に、
R113をベースにした混合溶剤やその他の塩素系
溶剤であつてもよい。
R113をベースにした混合溶剤やその他の塩素系
溶剤であつてもよい。
図面はこの発明の一実施例を示す溶剤回収装置
の系統図である。 １……フロン洗浄機、２……吸気ライン、３…
…圧縮機、４……高圧冷却塔、５……第１蒸発
器、１０……高圧活性炭吸着塔、１１……活性炭
層、１２……熱交換器、１６……減圧冷却塔、１
７……第２蒸発器。
の系統図である。 １……フロン洗浄機、２……吸気ライン、３…
…圧縮機、４……高圧冷却塔、５……第１蒸発
器、１０……高圧活性炭吸着塔、１１……活性炭
層、１２……熱交換器、１６……減圧冷却塔、１
７……第２蒸発器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ フロン等の溶剤を貯溜した溶剤槽１のガス層
に、溶剤ガスを吸引する吸気ライン２と、ガス濃
度を高化する圧縮機３とを介して高圧活性炭吸着
塔１０を接続し、この高圧活性炭吸着塔１０内に
は、活性炭層１１と、ガス吸着時に上記活性炭層
１１を冷却し、かつガス脱離時に活性炭層１１を
加熱するように同一部材により冷却、加熱の両機
能を有する熱交換器１２を配設し、 上記高圧活性炭吸着塔１０の次段には、内部に
蒸発器１７が配設されガス投入前に減圧される減
圧冷却塔１６を接続し、 さらに上記圧縮機３の吐出側と高圧活性炭吸着
塔１０との間に、高圧冷却塔４を介設し、 上記高圧冷却塔４内には溶剤より発生したガス
を高圧下で冷却液化する蒸発器５を配設した 溶剤回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62314659A JPH01155932A (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 | 溶剤回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62314659A JPH01155932A (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 | 溶剤回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01155932A JPH01155932A (ja) | 1989-06-19 |
| JPH0460689B2 true JPH0460689B2 (ja) | 1992-09-28 |
Family
ID=18055989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62314659A Granted JPH01155932A (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 | 溶剤回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01155932A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2971127B2 (ja) * | 1990-11-19 | 1999-11-02 | 三菱重工業株式会社 | ドライクリーニング方法 |
| CN101721833B (zh) | 2008-10-28 | 2012-02-29 | 中国石油化工股份有限公司 | 冷凝-吸附回收净化含烃废气的方法 |
| JP5441485B2 (ja) * | 2009-04-24 | 2014-03-12 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 揮発性有機物処理装置及び揮発性有機物処理方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50153773A (ja) * | 1974-06-04 | 1975-12-11 | ||
| JPS51103872A (ja) * | 1975-03-10 | 1976-09-14 | Kobe Giken Kogyo Kk | Yozaikaishuhohooyobisochi |
-
1987
- 1987-12-12 JP JP62314659A patent/JPH01155932A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01155932A (ja) | 1989-06-19 |
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