JPH0464713U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0464713U JPH0464713U JP10884790U JP10884790U JPH0464713U JP H0464713 U JPH0464713 U JP H0464713U JP 10884790 U JP10884790 U JP 10884790U JP 10884790 U JP10884790 U JP 10884790U JP H0464713 U JPH0464713 U JP H0464713U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target object
- laser beam
- speckle
- lens
- measuring meter
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係る測定ヘツドの一部破断分
解斜視図、第２図は半導体レーザユニツトの分解
斜視図、第３図は半導体レーザとコリメータレン
ズの位置関係を説明する側面図、第４図は窓の傾
斜状態を説明する側面図、第５図は一次元イメー
ジセンサーの位置を説明する正面図、第６図は電
子冷却装置の断面図、第７図は外部回路のブロツ
ク図、第８図は一次元イメージセンサー上の光強
度分布を示すグラフ、第９図は本考案において形
成される各種光学系を示す図、第１０図は対象物
体の移動量とイメージセンサー上でのスペツクル
パターンの移動量の一般的関係を説明する図であ
る。 １……測定ヘツド、１０……ケーシング、１４
……窓、２１……半導体レーザ、２５……コリメ
ータレンズ、１６……アダプターレンズ、４……
イメージセンサー。
解斜視図、第２図は半導体レーザユニツトの分解
斜視図、第３図は半導体レーザとコリメータレン
ズの位置関係を説明する側面図、第４図は窓の傾
斜状態を説明する側面図、第５図は一次元イメー
ジセンサーの位置を説明する正面図、第６図は電
子冷却装置の断面図、第７図は外部回路のブロツ
ク図、第８図は一次元イメージセンサー上の光強
度分布を示すグラフ、第９図は本考案において形
成される各種光学系を示す図、第１０図は対象物
体の移動量とイメージセンサー上でのスペツクル
パターンの移動量の一般的関係を説明する図であ
る。 １……測定ヘツド、１０……ケーシング、１４
……窓、２１……半導体レーザ、２５……コリメ
ータレンズ、１６……アダプターレンズ、４……
イメージセンサー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 測定の対象となる物体の表面にレーザビーム
を照射し、該対象物体のレーザ照射面に対向した
観測面に表われるスペツクルパターンに受光して
イメージ信号に光電変換し、対象物体の移動に伴
う前記イメージ信号の変化に基づいて対象物体の
移動量を測定するスペツクル測長計に於いて、ケ
ーシング１０内の所定位置に、半導体レーザ２１
と、該半導体レーザ２１からのレーザ光を集光し
て平行レーザビームを形成するコリメータレンズ
２５と、前記スペツクルパターンをイメージ信号
に変換するイメージセンサー４とを収容して測定
ヘツド１を構成し、ケーシング１０には、コリメ
ータレンズ２５からのレーザビームを出射すべき
窓１４を設けると共に、コリメータレンズ２５か
ら対象物体へ至るレーザビームの光路中に、レー
ザビームを収束せしめるべきアダプターレンズ１
６を着脱可能に配置したことを特徴とするスペツ
クル測長計の測定ヘツド構造。 アダプターレンズ１６は、該アダプターレン
ズの位置から対象物体の反射面までの距離よりも
短い焦点距離を有している請求項１に記載のスペ
ツクル測長計の測定ヘツド構造。 アダプターレンズ１６は、該アダプターレン
ズの位置から対象物体の反射面までの距離よりも
長い焦点距離を有している請求項１に記載のスペ
ツクル測長計の測定ヘツド構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10884790U JPH0464713U (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10884790U JPH0464713U (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0464713U true JPH0464713U (ja) | 1992-06-03 |
Family
ID=31855989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10884790U Pending JPH0464713U (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0464713U (ja) |
-
1990
- 1990-10-16 JP JP10884790U patent/JPH0464713U/ja active Pending
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