JPH0464714U - - Google Patents
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- JPH0464714U JPH0464714U JP10884890U JP10884890U JPH0464714U JP H0464714 U JPH0464714 U JP H0464714U JP 10884890 U JP10884890 U JP 10884890U JP 10884890 U JP10884890 U JP 10884890U JP H0464714 U JPH0464714 U JP H0464714U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target object
- speckle
- laser beam
- casing
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係る測定ヘツドの一部破断分
解斜視図、第２図は半導体レーザユニツトの分解
斜視図、第３図は半導体レーザとコリメータレン
ズの位置関係を説明する側面図、第４図は窓の傾
斜状態を説明する側面図、第５図は一次元イメー
ジセンサーの位置を説明する正面図、第６図は電
子冷却装置の断面図、第７図は外部回路のブロツ
ク図、第８図は一次元イメージセンサー上の光強
度分布を示すグラフ、第９図は本考案の作用効果
を説明する図、第１０図は対象物体の移動量とイ
メージセンサー上でのスペツクルパターンの移動
量の一般的関係を説明する図である。 １……測定ヘツド、１０……ケーシング、１４
……窓、２１……半導体レーザ、２５……コリメ
ータレンズ、１６……偏光フイルター、４……イ
メージセンサー。
解斜視図、第２図は半導体レーザユニツトの分解
斜視図、第３図は半導体レーザとコリメータレン
ズの位置関係を説明する側面図、第４図は窓の傾
斜状態を説明する側面図、第５図は一次元イメー
ジセンサーの位置を説明する正面図、第６図は電
子冷却装置の断面図、第７図は外部回路のブロツ
ク図、第８図は一次元イメージセンサー上の光強
度分布を示すグラフ、第９図は本考案の作用効果
を説明する図、第１０図は対象物体の移動量とイ
メージセンサー上でのスペツクルパターンの移動
量の一般的関係を説明する図である。 １……測定ヘツド、１０……ケーシング、１４
……窓、２１……半導体レーザ、２５……コリメ
ータレンズ、１６……偏光フイルター、４……イ
メージセンサー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 測定の対象となる物体の表面に直線偏光レー
ザビームを照射し、該対象物体のレーザ照射面に
対向した観測面に表われるスペツクルパターンを
受光してイメージ信号に光電変換し、対象物体の
移動に伴う前記イメージ信号の変化に基づいて対
象物体の移動量を測定するスペツクル測長計に於
いて、ケーシング１０内の所定位置に、半導体レ
ーザ２１と、該半導体レーザ２１からのレーザ光
を集光してレーザビームを形成するコリメータレ
ンズ２５と、対象物体からの反射光を受光してス
ペツクルパターンをイメージ信号に変換するイメ
ージセンサー４とを収容して測定ヘツド１を構成
し、ケーシング１０には、コリメータレンズ２５
からのレーザビーム８を出射すべく窓１４を設け
ると共に、対象物体７からイメージセンサー４へ
至る反射光８１の光路中に、出射レーザビーム８
の偏光方向とは直交或いは略直交する偏光方向を
有する偏光フイルター１６を配置したことを特徴
とするスペツクル測長計の測定ヘツド構造。 偏光フイルター１６はケーシング１０に対し
て着脱可能に取り付けられている請求項１に記載
のスペツクル測長計の測定ヘツド構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10884890U JPH0464714U (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10884890U JPH0464714U (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0464714U true JPH0464714U (ja) | 1992-06-03 |
Family
ID=31855990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10884890U Pending JPH0464714U (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0464714U (ja) |
-
1990
- 1990-10-16 JP JP10884890U patent/JPH0464714U/ja active Pending
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