JPH0464800U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例を示す光取り出
しラインの縦断面図および揺動機構の制御系統を
示すブロツク図である。第２図は、ＳＯＲ光装置
の概要を示す平面図である。第３図は、従来の光
取り出しラインの構造を示す縦断面図である。第
４図は、第３図の窓３２の形状を示す正面図であ
る。第５図は、従来提案されていた窓部の揺動機
構およびその揺動制御系統を示すブロツク図であ
る。第６図は、第１図および第５図の窓４４の形
状を示す正面図である。第７図は、第５図の揺動
機構の揺動動作を示す縦断面図である。第８図は
、この考案の他の実施例を示す光取り出しライン
の縦断面図である。第９図は、この考案の変更例
を示す縦断面図である。 １……ＳＯＲ光装置、２６……光取り出しライ
ン、２９……ＳＯＲ光、３０……斜入射ミラー、
３６……ミラー揺動機構、６４……揺動制御手段
、７０……ゲートバルブ、７６……２重ベローズ
（多重ベローズ）、７８……内周側ベローズ、８
０……外周側ベローズ、８６……真空計（圧力検
出器）。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ＳＯＲ光装置の光取り出しラインの端部に
   設けられて、この光取り出しラインを真空封止し
   た状態で窓からＳＯＲ光を出射させる窓装置であ
   つて、 前記窓よりも光源寄りの位置に径の異なる複数
   の筒状のベローズを同心状に配した多重ベローズ
   で構成された部分を有し、 この多重ベローズはその最内周のベローズ内を
   前記ＳＯＲ光が通過するように配設され、かつ最
   内周のベローズと最外周のベローズとの間に前記
   光取り出しライン内よりも圧力が高くかつ最外周
   のベローズの外側よりも圧力が低く設定された空
   間層を有し、さらにこの空間層の圧力を検出する
   圧力検出器を具備してなるＳＯＲ光装置における
   ＳＯＲ光出射用窓装置。 (2) 前記多重ベローズよりも光源寄りの位置に
   光取り出しラインを遮断するゲートバルブを具え
   、このゲートバルブと前記多重ベローズとの間が
   着脱自在に構成されていることを特徴とする請求
   項１記載のＳＯＲ光装置におけるＳＯＲ光出射用
   窓装置。