JPH0466589U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0466589U JPH0466589U JP11097490U JP11097490U JPH0466589U JP H0466589 U JPH0466589 U JP H0466589U JP 11097490 U JP11097490 U JP 11097490U JP 11097490 U JP11097490 U JP 11097490U JP H0466589 U JPH0466589 U JP H0466589U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- handling device
- socket
- measurement section
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 3
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例1の測定部供給トラン
スフアのハンド部の断面図、第2図a,bはコン
タクトユニツトのプツシヤー部とICソケツト部
の断面図、第3図はプツシヤー部がICソケツト
に対してコンタクトした時の断面図、第4図は実
施例2の測定部供給トランスフアのハンド部の断
面図、第5図は従来例の概略平面図、第6図は従
来例の概略側面図である。 1……供給部ローダ、2……トレー、3……空
トレー待機部ローダ・アンローダ、4……トレー
、5……供給・収納トランスフア、6……チヤツ
キング部、7……上下シリンダ、8……ブラケツ
ト、9……供給ビーム、9a……固定ビーム、9
b……可動ビーム、9c……支持部、10……測
定部供給トランスフア、11……チヤツキング部
、12……上下シリンダ、13……ブラケツト、
14……ICソケツト、15……テストボード、
16……コンタクトユニツト、17……上下シリ
ンダ、18……プツシヤー部、19……ブラケツ
ト、20……測定部収納トランスフア、21……
チヤツキング部、22……上下シリンダ、23…
…ブラケツト、24……収納ビーム、24a……
固定ビーム、24b……可動ビーム、24c……
支持部、25……良品収納部アンローダ、26…
…トレー、27……不良品収納部アンローダ、2
8……トレー、29……ハンドラベース、50…
…ハンド部ベース、51……吸着パツド兼加熱ブ
ロツク、52……吸着パツド支持部、53……ば
ね、54……配管、55……ヒータ、56……ヒ
ータ配線、57……断熱材、60……プツシヤー
ベース、61……加熱ブロツク、62……Eリン
グ、63……ばね、64……ヒータ、65……ヒ
ータ配線、71……ICソケツトベース、72…
…接触子、73……加熱ブロツク、74……ばね
、75……ヒータ、76……ヒータ配線、80…
…IC、90……ハンド部ベース、91……加熱
ブロツク、92……ばね、93……ヒータ、94
……ヒータ配線、95……フインガー、96……
断熱材、94……開閉シリンダ、98……ナツト
。
スフアのハンド部の断面図、第2図a,bはコン
タクトユニツトのプツシヤー部とICソケツト部
の断面図、第3図はプツシヤー部がICソケツト
に対してコンタクトした時の断面図、第4図は実
施例2の測定部供給トランスフアのハンド部の断
面図、第5図は従来例の概略平面図、第6図は従
来例の概略側面図である。 1……供給部ローダ、2……トレー、3……空
トレー待機部ローダ・アンローダ、4……トレー
、5……供給・収納トランスフア、6……チヤツ
キング部、7……上下シリンダ、8……ブラケツ
ト、9……供給ビーム、9a……固定ビーム、9
b……可動ビーム、9c……支持部、10……測
定部供給トランスフア、11……チヤツキング部
、12……上下シリンダ、13……ブラケツト、
14……ICソケツト、15……テストボード、
16……コンタクトユニツト、17……上下シリ
ンダ、18……プツシヤー部、19……ブラケツ
ト、20……測定部収納トランスフア、21……
チヤツキング部、22……上下シリンダ、23…
…ブラケツト、24……収納ビーム、24a……
固定ビーム、24b……可動ビーム、24c……
支持部、25……良品収納部アンローダ、26…
…トレー、27……不良品収納部アンローダ、2
8……トレー、29……ハンドラベース、50…
…ハンド部ベース、51……吸着パツド兼加熱ブ
ロツク、52……吸着パツド支持部、53……ば
ね、54……配管、55……ヒータ、56……ヒ
ータ配線、57……断熱材、60……プツシヤー
ベース、61……加熱ブロツク、62……Eリン
グ、63……ばね、64……ヒータ、65……ヒ
ータ配線、71……ICソケツトベース、72…
…接触子、73……加熱ブロツク、74……ばね
、75……ヒータ、76……ヒータ配線、80…
…IC、90……ハンド部ベース、91……加熱
ブロツク、92……ばね、93……ヒータ、94
……ヒータ配線、95……フインガー、96……
断熱材、94……開閉シリンダ、98……ナツト
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 測定部へのICの供給を行なう搬送トランス
フアと測定部でのICをICソケツトにコンタク
トさせるコンタクトユニツトを持つICのハンド
リング装置において、測定部へのICの供給を行
なう搬送トランスフアのハンド部のチヤツキング
部と、ICソケツト部内と、コンタクトユニツト
のプツシヤー部とに加熱機構を有することを特徴
とするICの高温ハンドリング装置。 2 測定中のICに対して上下より直接加熱を行
なう加熱機構を有する請求項1記載のICの高温
ハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11097490U JPH0466589U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11097490U JPH0466589U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0466589U true JPH0466589U (ja) | 1992-06-11 |
Family
ID=31858383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11097490U Pending JPH0466589U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0466589U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008020257A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Fujitsu Ltd | 高温試験加熱構造 |
-
1990
- 1990-10-23 JP JP11097490U patent/JPH0466589U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008020257A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Fujitsu Ltd | 高温試験加熱構造 |
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